角系数法:角系数法是原苏联学者提出的方法,角系数实际上一个 几何因子,*由几何特征决定,为了强调说明引入的角系数与任何其他参量无关,也把它称为几何因子。它利用了麦克斯韦扩散分子反射定律和麦克斯韦分布函数。这种方法先计算和测试角函数,然后解决边界值的问题。
模拟方法的选择:根据克努曾数的大小,流体在涡轮分子泵中可以是粘滞流,滑移流,过渡流,或者是自由分子流。当流体出于自由分子流时,已经提出了许多计算方法,如随机统计模拟法,积分方程法。对于分子牵引泵的过渡流范围内,Helmer和Levi提出了一个新模型代替Gaede的方程。 G2589-89061标准分子涡轮泵。天津正规标准分子涡轮泵杭州瑞特世科技有限公司
8、磁场与辐射磁场会对运行中的涡轮分子泵的转子上产生涡电流,这会加热转子并使其迅速过热。所需能量来自电子设备,并导致电机中电流的***上升,这**了转子的直接加热值。mT(毫特斯拉)中规定的**大允许磁场值在泵生厂商操作说明书中进行了说明。如果这些值过高,则必须对泵进行屏蔽。如果已知磁场的分布情况,则必须对其进行重新部署。在粒子加速器附近存在着不同强度和持续时间的中子和伽马辐射。这种辐射破坏安装在泵上的电子驱动器和变频器,两者都具有非常敏感的功率晶体管和二极管。在这种情况下,必须使用连接电缆将电子驱动器安装在远离辐射的安全距离上。这同样适用于测量设备。必须避免有源传感器,因为传感器电子元件同样会受到射线的破坏。9、工艺适应性确保涡轮分子泵适合于工艺过程,这很重要。泵制造商的详细建议和有关工艺过程与其特点的准确信息是操作员所必需的。目前这两方面都有待改进。对于腐蚀过程,特别是在半导体行业中,有必要使用密封气体操作泵,针对滚珠球轴承分子泵使用合成的PFPE油,以及使用抗腐蚀材料(如镍或陶瓷涂料)制作转子。密封的气体,如干氮,能够在这些与迷宫密封相连接的滚珠轴承外部形成一层非常好的防腐蚀和防尘保护膜。天津标准分子涡轮泵名称涡轮分子泵转子叶片与被抽气体分子摩擦生热,使高速回转的转子和泵体之间产生温升。
涡轮分子真空泵涡轮分子真空泵是指有一高速旋转的叶轮,当气体分子与高速旋转的涡轮叶片相碰撞时就被驱向出气口再由前级泵抽除。他的优点:(1)清洁,无油蒸汽返流涡轮分子真空泵可不用任何阱,按操作规程工作,就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境,且不含有任何碳氢化合物。由于现代的涡轮分子泵除大泵外很少用油润滑的了,对于小泵多用油脂润滑,也有用空气轴承的,但磁悬浮轴承用得较多。近几年来也有不少干式前级泵出现,使涡轮分子泵系统不存在油蒸汽返流,使它真正成为一种清洁的干式高真空泵。(2)使用方便在许多应用中,涡轮分子真空泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮,泵便能开始工作。从大气压力可降至极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽,可一直加速到工作速度为止。这样就可以不用阀门、管道、阱、阀门控制器等真空元件。同时也消除了这些元件所带来的故障。因此涡轮分子泵系统所占的空间小,而且涡轮分子泵的安装方向不受限制,可在任意方向安装(用油润滑的泵除外,它只能在垂直±5°范围内工作)。这个特点,可用于安装位置受限制的地方。(3)气体输送能力强大多数涡轮分子真空泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。
突然断电对分子蜗轮泵的影响讨论:我们使用的分子蜗轮泵一直都很好,我想问下如果质谱的UPS不工作了,断电后分子涡轮泵会不会有问题?断电对分子涡轮泵的影响当然是非常巨大的了,处于高速运转的叶片突然失去动力停下来,很容易并打碎的。尽量避免突然断电吧!断电没什么大问题,不会引起大的气流冲击,所以叶片不会。没你说的***吧,那停机时也是供分子涡轮泵电源断掉瞬间挺得阿,不是电压一点一点变小的。停电时分子涡轮泵不会立即停下,也是慢慢的转速变慢的。停机时,先停分子涡轮泵,等它停止运转后,相应的风扇等辅助系统然后才停止。正常关机时你可以看到不管是GC/MS或者LC/MS,真空泵都是花了一定时间停下来的,慢慢的降低它的转速,而且当然是保证仪器的正常供电了。否则怎么叫正常关机呢?照你怎么说,质谱还有电压调节器之类的设备了?关机时,电压慢慢变小了。像电风扇关掉时由于惯性,是慢慢停下来的。质谱正常关机时,是先让分子涡轮泵停电,慢慢停下来,然后才停相应的辅助系统。保证分子涡轮泵优先。很少有分子泵叶片的,大部分都是轴承磨损。你们谁换过润滑脂,分子泵每工作5,000~10,000小时(一年)就要专门做一次维护,你们谁做过?每工作50。在分子泵的四个支柱下装有四个橡胶垫可以减少分子涡轮泵在使用过程产生振动的现象。
使用涡轮分子泵时**常见问题及如何避免涡轮分子泵是高或超高真空泵,主要由转子和定子两个部分组成。一个旋转的转子盘和一个静止的定子盘组成了一个泵级,泵级产生一个特定的压缩比。通过连续开启增加压缩效果的多个泵级,可以获得高达1013的压缩比。例如,现代真空泵在后侧使用霍尔维克级(Holweck),减少了涡轮级的数量而不影响压缩效果。与此同时,一些生产商可能将允许的前级管道压力增加至30hPa以上,极大减小了前级泵的尺寸,并可***使用隔膜泵。无额外压缩级的涡轮泵可用于易凝结、升华以及形成颗粒的过程,因为狭窄的缝隙可导致沉积、机械损伤或堵塞。1、前级真空压力对于带有额外压缩级的涡轮分子泵,其前真空压力可以上升至30hPa以上。对于带有纯涡轮级的分子泵,**大前真空压力为2-3hPa,但是这取决于抽送气体的种类,如氮气为2hPa,氢气为hPa。由于泵的过热,超过生产商指定的**大压力会导致轴承受损,情况严重的甚至会导致彻底失效。气体摩擦上升过高,且额外产生的压缩热无法消散。对于轴承和转子温度未受监测的泵,这尤其重要,且在很多情况下,是不可避免的。通过使用**终压力为2-5hPa的隔膜泵,操作员就可这带动设备的运行。除了隔膜泵。分子涡轮泵污染很少。天津正规标准分子涡轮泵杭州瑞特世科技有限公司
尽可能提高零部件的加工精度可以减少分子涡轮泵在使用过程产生振动的现象。天津正规标准分子涡轮泵杭州瑞特世科技有限公司
分子涡轮泵的研究现状与进展。分子泵的现状:分子泵经过近100年的发展,在工程实际中分子泵得到广泛应用,主要是由于它对分子量大的气体有较高的压缩比,能获得清洁的真空环境,在某些要求清洁度较高的真空系统中,油扩散泵已被涡轮分子泵代替。分子泵作为一种非常重要的半导体以及液晶显示设备的子系统,被广泛应用于刻蚀,低压化学气相沉积,金属有机物化学气相沉积,离子注入以及溅射工艺。TMP的主要问题是,在入口压力为1.33Pa量级时,其有效抽速会明显降到70%-80%。此外,由于涡轮分子泵前级压力低,前级泵的油蒸气返油率高,影响了分子泵入口的清洁度,故出现了复合分子泵。天津正规标准分子涡轮泵杭州瑞特世科技有限公司