“黑科技”加持！安捷伦推出全新一代高真空涡轮分子泵TwisTorr704FS。近日，安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵TwisTorr704FS。作为一款加持了诸多“黑科技”的全新产品，TwisTorr704FS高真空涡轮分子泵在具有高性能、高可靠性的同时，还能做到更经济。首先，高真空涡轮分子泵是什么?涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵，典型的工作压力是、，但在极限状态下，可以通过它实现(大气压的十万亿分之一)的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如GC/MS、LC/MS、ICP/MS、TOF)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器，高能物理实验装置、粒子加速器、高真空实验装置等诸多应用。高真空涡轮分子泵内有一个高速旋转(每分钟几万转)的转子，转子上有涡轮和拖动级进行抽气。随着技术的不断进步，市场不仅对泵性能的要求越来越高，更对其小型化、高可靠性、维护方便性及灵活易用性等都提出了更高的要求。下面就来看看，为了满足这些要求，安捷伦**新的高真空涡轮分子泵都“加持”了哪些“黑科技”吧。“黑科技”TwisTorr拖动技术通常的分子泵拖动级采用圆柱螺旋形的沟槽，而安捷伦TwisTorr技术把拖动级放在了薄薄的圆盘上。分子涡轮泵能获得超高真空。吉林标准分子涡轮泵固定
CFD法：CFD法是一种模拟粘性流体运动的一种传统方法，广泛应用于CVD工艺模拟，透平机械设计，热传导分析，以及与流体运动的相关问题。这种方法的主要贡献在于它可以提供流体运动的详细流场，对于工程设计来讲具有足够的精度。便于进行多种方案的比较，可以节省样机的开发成本。它适用于计算粘滞流的问题，而稀薄气体的流动不适用。
DSMC法：（1）Bird的模型是一种可以用于非定常流的过渡流场计算的方法，称为直接模拟蒙特卡罗法。这种方法可以有效地用于模拟稀薄气体的流动问题。 吉林标准分子涡轮泵固定惰性气体比耐腐蚀的泵油的消耗便宜。
显然用户会选择涡轮分子泵用于高分辨率质谱仪，分子束外延设备及超高真空分析仪器等设备上的。(5)高压力下性能良好有些涡轮分子泵的入口压力可在10-1～10-3Torr（即Pa～mPa）之间运行。在这个压力范围内，离子泵不能应用，对于低温泵需要节流抽速或经常再生，对扩散泵的工作也会变得不稳定。(6)循环的时间短多数涡轮分子泵，尤其小一些的，要达到正常的运行速度的时间，一般需要1～3min。对于不同品种和型号的泵有所不同。并且能立即关闭，并可暴露大气。这种快速循环特性在样品输入系统中很有用，尤其对手提式氦检漏仪有用。(7)正常使用时间长在某些应用中，涡轮分子泵的正常使用时间要比其它泵优越。因为在重气体负荷和阀门漏气的情况下，会引起低温泵经常不定时的再生或离子泵经常修复，而涡轮分子泵使用还能消除因泵油对真空室的污染。2、缺点任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。下面介绍它存在的一些缺点。(1)设备费用高在抽速大于1000L/s的涡轮分子泵要比扩散泵和低温泵的设备投资大。然而涡轮分子泵在由于工艺气体或其它原因而不能使用扩散泵和低温泵的特殊场合下它是很好用的。若与小型或中型扩散泵相比，小涡轮分子泵是相当贵的。
模拟分子的位置和速度都是连续分布的，并且在计算机循环误差范围内，质量，动量和能量是守恒的。DSMC法适用范围很广。由于要求分子混沌的假设，因而适用于分子间的平均距离远大于分子直径的所有流体力学问题。它的计算机时正比于模拟分子数。当Bird***在解决均匀气体中的流动松弛问题获得成功后，把它扩展到多维流动，混合气体，多自由度内部流动和化学反应气体流动等方面。
2.NAanbu的模型：1980-1991年Nanbu发表了很多关于DSMC法的论文，Nanbu的模型与Bird的模型同属DSMA法，其不同点在于对分子碰撞模型的处理。 涡轮分子泵损坏**严重的故障是高速旋转的叶片或转子筒的断裂。
泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108～109；对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限真空度为10-9帕，工作压力范围为10-1～10-8帕，抽气速率为几十到几千升每秒(1升=10-3米)。涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面比较大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000～60000转/分的中频电动机直联驱动。对主轴轴承的外侧设置橡胶减振环可以减少分子涡轮泵在使用过程产生振动的现象。吉林标准分子涡轮泵固定
分子涡轮泵能抗各种射线照射。吉林标准分子涡轮泵固定
这可能会导致转子受损。使用干燥的气体，如氮气或无油空气，对泵进行排气，既可以防止污染，还可以恰当地对前级泵进行充气。以一定的速度使用排气阀、利用涡轮分子泵控制器，可对泵进行安全的排气。由于涡轮分子泵的压缩比还取决于速度，因此**优初始排气速度应该为额定速度的50%，且应该以**近速度的20%开始。除了出厂设置以外，现代电子技术允许排气速度具有一定的灵活性。在适当的排气后，使用球轴承涡轮分子泵还能够保护***免受污染。存在这样一些过程，在其中，与泵无关的排气要优先于控制系统。这将导致与泵速有关的重要连接受损。当对泵的控制器进行排气时，无需对泵速进行额外监控。在排气时，泵的内表面**燥的氮气覆盖，这将***缩短排放时间，因为不存在难以去除的气体或水聚集在表面。排气气体不可从前级侧进入，因为凝结物、颗粒甚至是油可能会被带入到高真空侧。在频繁出现停电现象的不稳定电网中，特别是在夏天因使用空调而出现超负荷时，**好使用所谓的断电排气阀，它在停电时可自动对泵进行排气，并恰当地将其关闭。频繁的排气，尤其是在高真空侧，将会导致泵过热，造成机械压力，且由于大量气体摩擦还会缩短轴承的使用寿命。吉林标准分子涡轮泵固定
