在使用过程中突然发现Agilent气质联用的真空度下降或者开机过程中分子涡轮泵不能启动的情况，分子涡轮泵不能启动或者不工作，软件将会报错，界面的真空控制界面无法打开。真空系统的问题通常会从以下几个方面分析：1、气相端问题还是质谱端问题在进行原因分析时，通常先将质谱端传输线的色谱柱取出，用实心石墨垫堵头堵住质谱端接口的方法来分开质谱端和气相端。2、气相端问题真空度下降或者分子涡轮泵不启动，可能是气相端漏气，如进样口漏气、色谱柱断了、质谱端色谱柱接口漏气等。色谱端漏气可以通过提高柱流量观察进样口的压力变化，如果流量变大压力能升到仪器计算值则说明色谱端不漏气，反之则漏气。**为常见的是进样口漏气，由于进样口隔垫多次进样以及长时间高温烘烤后出现老化现象，容易出现漏气现象，进样口漏气的解决方法是更换进样口隔垫。色谱柱一般不会断，除非碰到锋利的物体。质谱端色谱柱接口漏气，有可能是在多次高温低温循环后，石墨垫出现松动导致漏气，需要重新拧紧。如果质谱端使用的是梅花形螺母则不会出现这种问题。3、质谱端问题质谱启动时，可通过指示灯判断质谱状态，如果为红灯说明质谱真空系统未达到要求。为了防止分子泵在使用产生共振，确保泵安全运转，泵设计时，应使主轴的工作转速 n 在其各阶临界转速之外。黑龙江标准分子涡轮泵性价比
gb7774-87），并在涡轮分子泵中使用了磁悬浮轴承。中国制定了立式涡轮分子泵行业标准（JB/T9125-95）和涡轮分子泵性能侧面试验方法国家标准（gb7774-87），并在涡轮分子泵中使用了磁悬浮轴承。广东振华真空设备发现近十年来，由于轴承，高速旋转和数控加工技术的不断发展，世界涡轮分子泵的发展取得了长足的进步。抽速已从50L/s发展到25000l/S（日本）甚至40000L/S（俄罗斯）。在各种真空泵中，分子泵是一种结构精确，技术要求高的泵。泵的动叶片和静叶片的几何形状与抽速有很大关系。需要特殊处理以确保刀片的尺寸和准确性。同时，要求转子具有良好的动平衡，动叶片应具有较高的强度以承受高速旋转产生的离心力，以保证泵的可靠运行。分子泵由泵体内的中频电机直接驱动，涡轮转子为一体式结构。该泵对大分子气体具有较高的压缩比，中频电机置于前级空间，可获得高真空和超高真空进行清洁。其性能特点是：结构紧凑，工作压力范围宽，抽速稳定在10-1pa-10-7pa范围内。它运行稳定。由于采用了精密轴承，严格的动平衡过程和一系列减振措施，该泵振动小，噪音小，启动时间短，一般可在4min-15min内达到全抽速。标准化的法兰连接尺寸和垂直结构使其易于与真空系统连接。广东标准分子涡轮泵质量保证涡轮分子泵的轴承由有油润滑的滚动轴承和滑动轴承向完全非接触式的空气轴承和磁轴承方向发展。
干式泵没有任何出口阀门。如果前级泵发生故障，将从前级侧对处理室进行排气，而且，如果由此导致涡轮分子泵速度的下降并没有因前级压力的快速上升而引发自动排气过程。由于外壳中所谓的直升飞机效应，大型处理室的突然排气会导致涡轮分子泵转子受损。为保护涡轮分子泵不受损伤，生产商还提供了一个安全阀，在前级泵或前级真空失效的情况下，安全阀就会立即关闭处理室的排气装置。关闭时间必须相对较短。如可进行前级压力测量，真空技术网(/)认为可利用压力上升或前级泵故障信号来对安全阀进行控制和操作。2、标注排气管道的尺寸建议至少按照泵的标称尺寸安装排气管道和阀门，因为不良流导值会导致抽速***下降。以下是稍加夸大的案例，以说明在直径为25mm、长度为100mm的进气管内电导值损失所造成的影响。涡轮分子泵有效抽速与标称抽速：60l/s：10l/s5000l/s：14l/s由此可以看出，80倍大的涡轮分子泵*能产生40%以上的抽速。3、高真空和前真空连接如果分子泵的高真空法兰连接至接受器，则有必要让前级管道更为灵活。如果前级管道为固定连接，则泵壳受热后无法膨胀，导致不当的材料应力。在该固定连接中，转子无法自由移动。
1958年，联邦德国的W.贝克***提出有实用价值的涡轮分子泵，以后相继出现了各种不同结构的分子泵，主要有立式和卧式两种，图1为立式涡轮分子泵的结构图。涡轮分子泵主要由泵体、带叶片的转子(即动叶轮)、静叶轮和驱动系统等组成。动叶轮外缘的线速度高达气体分子热运动的速度(一般为150～400米/秒)。单个叶轮的压缩比很小，涡轮分子泵要由十多个动叶轮和静叶轮组成。动叶轮和静叶轮交替排列。动、静叶轮几何尺寸基本相同，但叶片倾斜角相反。图2为20个动叶轮组成的整体式转子。每两个动叶轮之间装一个静叶轮。静叶轮外缘用环固定并使动、静叶轮间保持1毫米左右的间隙，动叶轮可在静叶轮间自由旋转。分子涡轮泵能抗各种射线照射。
CFD法：CFD法是一种模拟粘性流体运动的一种传统方法，广泛应用于CVD工艺模拟，透平机械设计，热传导分析，以及与流体运动的相关问题。这种方法的主要贡献在于它可以提供流体运动的详细流场，对于工程设计来讲具有足够的精度。便于进行多种方案的比较，可以节省样机的开发成本。它适用于计算粘滞流的问题，而稀薄气体的流动不适用。
DSMC法：（1）Bird的模型是一种可以用于非定常流的过渡流场计算的方法，称为直接模拟蒙特卡罗法。这种方法可以有效地用于模拟稀薄气体的流动问题。 惰性气体比耐腐蚀的泵油的消耗便宜。广东标准分子涡轮泵质量保证
分子涡轮泵耐大气冲击。黑龙江标准分子涡轮泵性价比
使用涡轮分子泵时**常见问题及如何避免涡轮分子泵是高或超高真空泵，主要由转子和定子两个部分组成。一个旋转的转子盘和一个静止的定子盘组成了一个泵级，泵级产生一个特定的压缩比。通过连续开启增加压缩效果的多个泵级，可以获得高达1013的压缩比。例如，现代真空泵在后侧使用霍尔维克级(Holweck)，减少了涡轮级的数量而不影响压缩效果。与此同时，一些生产商可能将允许的前级管道压力增加至30hPa以上，极大减小了前级泵的尺寸，并可***使用隔膜泵。无额外压缩级的涡轮泵可用于易凝结、升华以及形成颗粒的过程，因为狭窄的缝隙可导致沉积、机械损伤或堵塞。1、前级真空压力对于带有额外压缩级的涡轮分子泵，其前真空压力可以上升至30hPa以上。对于带有纯涡轮级的分子泵，**大前真空压力为2-3hPa，但是这取决于抽送气体的种类，如氮气为2hPa，氢气为hPa。由于泵的过热，超过生产商指定的**大压力会导致轴承受损，情况严重的甚至会导致彻底失效。气体摩擦上升过高，且额外产生的压缩热无法消散。对于轴承和转子温度未受监测的泵，这尤其重要，且在很多情况下，是不可避免的。通过使用**终压力为2-5hPa的隔膜泵，操作员就可这带动设备的运行。除了隔膜泵。黑龙江标准分子涡轮泵性价比
