如果是黄灯说明真空系统转速以达到80%，软件未连接ms，打开软件即可，软件连接后变为绿色。质谱端分子涡轮泵不启动可能的原因有离子源系统漏气、机械泵的问题、分子涡轮泵本身的问题以及电源的问题。如果是离子源系统漏气，通过检查真空系统的密封圈是否安装好，此外可以取下密封圈用凡士林均匀涂抹，再安装上，检查是否为密封圈的问题。如果是机械泵的原因，可能是机械泵的机油不够，以及机械泵本身故障，通过开启质谱仪，机械泵开启如果能抽真空即真空系统侧板不能拉开，说明机械泵没有问题，可以排除机械泵故障。电源的问题可能涉及到供电以及排风扇，开启质谱电源后，电源排风扇及分子涡轮泵风扇启动说明电源的风扇没有故障，不过风扇不启动，则可断定是由于风扇的原因导致分子涡轮泵不能启动。如果以上都不能解决，只能说明分子涡轮泵出了问题，只能更换分子涡轮泵。对电动机主轴及涡轮转子等旋转零部件进行严格的动平衡试验可以减少分子涡轮泵在使用过程产生振动的现象。内蒙古标准分子涡轮泵维修
分子涡轮泵的研究现状与进展。分子泵的现状：分子泵经过近100年的发展，在工程实际中分子泵得到广泛应用，主要是由于它对分子量大的气体有较高的压缩比，能获得清洁的真空环境，在某些要求清洁度较高的真空系统中，油扩散泵已被涡轮分子泵代替。分子泵作为一种非常重要的半导体以及液晶显示设备的子系统，被广泛应用于刻蚀，低压化学气相沉积，金属有机物化学气相沉积，离子注入以及溅射工艺。TMP的主要问题是，在入口压力为1.33Pa量级时，其有效抽速会明显降到70%-80%。此外，由于涡轮分子泵前级压力低，前级泵的油蒸气返油率高，影响了分子泵入口的清洁度，故出现了复合分子泵。内蒙古标准分子涡轮泵维修G2589-89061标准分子涡轮泵洁净度很好。
因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中，抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵，被抽气体可穿膛而过，不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。(4)适于超高真空应用一台密封和除气良好的涡轮分子真空泵，配以性能良好的双级旋片泵（或同样性能的干式前级泵），其极限真空一般可达到10-9～10-10Torr（即～）之间。若一台涡轮分子泵再串一台涡轮分子泵，用金属密封并除气良好的泵，一般其极限压力在1×10-10～1×10-11Torr（即～）之间。而且不像低温泵或离子泵那样，涡轮分子泵在超高真空条件下能满抽速运转。这些性能再加上它有良好的清洁性（测不到碳氢化合物），显然用户会选择涡轮分子泵用于高分辨率质谱仪，分子束外延设备及超高真空分析仪器等设备上的。(5)高压力下性能良好有些涡轮分子真空泵的入口压力可在10-1～10-3Torr（即～）之间运行。
涡轮分子真空泵的工作原理及结构：涡轮分子真空泵是一种对各种气体的抽速差别不大的真空泵。它由一系列高速旋转动片和固定的静片组成，动片和静片构成相间排列。气体分子与高速旋转动片相碰撞，就可获得沿运动表面方向的速度分量，通过系列动片和静片的组合，使气体分子沿一定方向运动，从而产生抽气效果和压缩气体作用。涡轮分子泵的压缩比与气体分子量的平方根成正比关系，由于碳氢化合物的分子量较大，因此对碳氢化合物具有净化作用。涡轮分子泵通常选择几何尺寸不同的动片和静片组成三个抽气段，即高、中、低抽气段。高段对叶列片的参数选择主要是为了提高抽气速率，低段对叶列片的参数选择则主要考虑提高压缩比，而中段是过渡阶段，要统筹兼顾考虑过渡过程以达到合理匹配。涡轮分子泵通常选用中频电机，因此要采用中频电源来驱动。由于旋转动片需要高速运转，旋转动片的轴承就需润滑剂来润滑以达到延长使用寿命。涡轮分子泵需采用循环水冷却。对主轴轴承的外侧设置橡胶减振环可以减少分子涡轮泵在使用过程产生振动的现象。
这可能会导致转子受损。使用干燥的气体，如氮气或无油空气，对泵进行排气，既可以防止污染，还可以恰当地对前级泵进行充气。以一定的速度使用排气阀、利用涡轮分子泵控制器，可对泵进行安全的排气。由于涡轮分子泵的压缩比还取决于速度，因此**优初始排气速度应该为额定速度的50%，且应该以**近速度的20%开始。除了出厂设置以外，现代电子技术允许排气速度具有一定的灵活性。在适当的排气后，使用球轴承涡轮分子泵还能够保护***免受污染。存在这样一些过程，在其中，与泵无关的排气要优先于控制系统。这将导致与泵速有关的重要连接受损。当对泵的控制器进行排气时，无需对泵速进行额外监控。在排气时，泵的内表面**燥的氮气覆盖，这将***缩短排放时间，因为不存在难以去除的气体或水聚集在表面。排气气体不可从前级侧进入，因为凝结物、颗粒甚至是油可能会被带入到高真空侧。在频繁出现停电现象的不稳定电网中，特别是在夏天因使用空调而出现超负荷时，**好使用所谓的断电排气阀，它在停电时可自动对泵进行排气，并恰当地将其关闭。频繁的排气，尤其是在高真空侧，将会导致泵过热，造成机械压力，且由于大量气体摩擦还会缩短轴承的使用寿命。充入气体要选择合适的压力和供气量。内蒙古标准分子涡轮泵维修
尽可能提高零部件的加工精度可以减少分子涡轮泵在使用过程产生振动的现象。内蒙古标准分子涡轮泵维修
这使转子的转速得到进一步提高。除此之外，近些年还出现了多种新型分子泵，如可有效抽取水分子的低温型分子泵，可在强磁场、强腐蚀条件下工作的陶瓷分子泵，以及可实现无接触支撑、高效率、高寿命的磁悬浮分子泵等。轴承的分类涡轮分子泵结构原理立式涡轮分子泵结构图卧式涡轮分子泵结构图工作原理涡轮分子泵的转子叶片具有特定的形状，在它以20000~30000r/min的高速旋转的同时，叶片将动量传给气体分子。叶片高速旋转，其周边的线速度一般200~300m/s，相当于空气分子平均速率的一半。为了获得高真空，涡轮分子泵中装有多级。上级叶片输送过来的气体分子又会收到下级叶片的作用继续被压缩到更下级。因此，涡轮分子泵的的一个特点是对一般气体的抽出极为有效。例如对于氮气，其压缩比可以达到109但是涡轮分子泵抽除分子质量较小的气体能力较差，例如氢气，其压缩比*有103。由于涡轮分子泵对于气体的压缩比很好，因此工作时油蒸汽的回流问题基本可以忽略不计。涡轮分子泵的极限真空度能达到10-8Pa的数量级，抽速可以达到1000L/s，达到**大抽速的压力区间是1~10-8Pa之间，因此在使用时要以旋片机械泵作为其前级泵。涡轮分子泵注意事项1、不能在前级泵工作时。内蒙古标准分子涡轮泵维修
