本文介绍一下EdwardsTIC涡轮分子泵站TIC涡轮分子泵站所有Edwards涡轮分子泵工作站都配有TIC涡轮和仪表控制器,可以从控制面板启动/停止系统,并可轻松集成Edwards有源真空计。TIC涡轮分子泵站的抽取速度范围为85l/s至400l/s,配有TIC控制器,可选搭油封或干式前级泵。我们所有的TIC涡轮分子泵站都配有市场**的nEXT涡轮分子泵,可靠性久经考验,且**终用户可维护。油封泵标配EMF油雾过滤器,nXDS干式涡旋泵标配有涡轮泵和前级泵之间的隔离阀。T-station85主要特点T-Station85——完备的泵送解决方案底板包括橡胶垫脚和设在侧面的手动断路器,设计紧凑但稳定,不会被撞翻全金属框架意味着坚固耐用,不会出现划痕或破损或XDD1大容量前级泵可提供油封泵或全干式直流隔膜泵两种选择集成空气冷却器可作为冷却内部电源,泵/控制器可安静运行,避免使用多个风扇客户集成的控制功能T-Station85——整装待发......一键启动和停止易于准确读取的显示屏安装TAV5排气阀时能够选择通风模式,以自动排气,无需用户干预还可提供NW40、ISO63或CF63入口法兰。分子涡轮泵污染很少。云南标准分子涡轮泵报价
在使用过程中突然发现Agilent气质联用的真空度下降或者开机过程中分子涡轮泵不能启动的情况,分子涡轮泵不能启动或者不工作,软件将会报错,界面的真空控制界面无法打开。真空系统的问题通常会从以下几个方面分析:1、气相端问题还是质谱端问题在进行原因分析时,通常先将质谱端传输线的色谱柱取出,用实心石墨垫堵头堵住质谱端接口的方法来分开质谱端和气相端。2、气相端问题真空度下降或者分子涡轮泵不启动,可能是气相端漏气,如进样口漏气、色谱柱断了、质谱端色谱柱接口漏气等。色谱端漏气可以通过提高柱流量观察进样口的压力变化,如果流量变大压力能升到仪器计算值则说明色谱端不漏气,反之则漏气。**为常见的是进样口漏气,由于进样口隔垫多次进样以及长时间高温烘烤后出现老化现象,容易出现漏气现象,进样口漏气的解决方法是更换进样口隔垫。色谱柱一般不会断,除非碰到锋利的物体。质谱端色谱柱接口漏气,有可能是在多次高温低温循环后,石墨垫出现松动导致漏气,需要重新拧紧。如果质谱端使用的是梅花形螺母则不会出现这种问题。3、质谱端问题质谱启动时,可通过指示灯判断质谱状态,如果为红灯说明质谱真空系统未达到要求。云南标准分子涡轮泵报价G2589-89061标准分子涡轮泵的正常使用时间长。
水环式真空泵/液环真空泵工作原理演示水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的,属于变容式真空泵。余摆线真空泵的工作原理与特点及应用余摆线真空泵的转子与泵腔的型线均为“余摆线”,本文讲述了余摆线真空泵的工作原理与特点及应用。无油涡旋真空泵的特点与应用领域清洁真空获得设备已经发展到冷凝泵、住赛泵、爪式泵、涡旋泵以及隔膜泵等多种产品.在现有的无油真空泵当中,无油涡旋真空泵与其他半导体工艺中应用干式真空泵的几种选择类型根据在机械结构设计上有明显差异,因此可以将干式真空泵归纳为以下几种类型:圆裂片式、爪式、组合式(罗茨+爪)、螺杆式,其中前罗茨转子取得比较大形状系数的通用判据研究为研究罗茨泵用转子取得比较大形状系数的几何特征,在定义转子主型线段的基础上,采用共轭几何上的欧拉-萨伐里方程法,并进而给出涡轮分子泵参数化设计软件对几种参数化设计方法进行了比较,根据涡轮分子泵的结构特点,开发了简便实用的涡轮分子泵参数化设计软件。[扩散泵]高真空油扩散泵冷却水管新型焊接工艺本文介绍了高真空油扩散泵一种新型的冷却水管与泵壁异种金属焊接工艺。
因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中,抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵,被抽气体可穿膛而过,不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。(4)适于超高真空应用一台密封和除气良好的涡轮分子真空泵,配以性能良好的双级旋片泵(或同样性能的干式前级泵),其极限真空一般可达到10-9~10-10Torr(即~)之间。若一台涡轮分子泵再串一台涡轮分子泵,用金属密封并除气良好的泵,一般其极限压力在1×10-10~1×10-11Torr(即~)之间。而且不像低温泵或离子泵那样,涡轮分子泵在超高真空条件下能满抽速运转。这些性能再加上它有良好的清洁性(测不到碳氢化合物),显然用户会选择涡轮分子泵用于高分辨率质谱仪,分子束外延设备及超高真空分析仪器等设备上的。(5)高压力下性能良好有些涡轮分子真空泵的入口压力可在10-1~10-3Torr(即~)之间运行。对电动机主轴及涡轮转子等旋转零部件进行严格的动平衡试验可以减少分子涡轮泵在使用过程产生振动的现象。
它只能在垂直±5°范围内工作)。这个特点,可用于安装位置受限制的地方。(3)气体输送能力强大多数涡轮分子泵对于输送轻气体(如氢、氦)的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程,氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵,适用于刻蚀、反应离子刻蚀,离子束加工,低压化学气相沉积,外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中,抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵,被抽气体可穿膛而过,不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。(4)适于超高真空应用一台密封和除气良好的涡轮分子泵,配以性能良好的双级旋片泵(或同样性能的干式前级泵),其极限真空度一般可达到10-9~10-10Torr(即~nPa)之间。若一台涡轮分子泵再串一台涡轮分子泵,用金属密封并除气良好的泵,一般其极限压力在1×10-10~1×10-11Torr(即~nPa)之间。而且不像低温泵或离子泵那样,涡轮分子泵在超高真空条件下能满抽速运转。这些性能再加上它有良好的清洁性(测不到碳氢化合物)。泵是由转子动片、定子静片、马达、轴承和外壳等部件组成。云南标准分子涡轮泵报价
涡轮分子泵转子叶片与被抽气体分子摩擦生热,使高速回转的转子和泵体之间产生温升。云南标准分子涡轮泵报价
“黑科技”加持!安捷伦推出全新一代高真空涡轮分子泵TwisTorr704FS。近日,安捷伦发布了全新一代高真空涡轮分子泵TwisTorr704FS。作为一款加持了诸多“黑科技”的全新产品,TwisTorr704FS高真空涡轮分子泵在具有高性能、高可靠性的同时,还能做到更经济。首先,高真空涡轮分子泵是什么?涡轮分子泵是一种用来获取高真空的真空泵,典型的工作压力是、,但在极限状态下,可以通过它实现(大气压的十万亿分之一)的超高真空。涡轮分子泵可以用于各类质谱仪(比如GC/MS、LC/MS、ICP/MS、TOF)、镀膜机、电子显微镜(SEM、TEM)、聚焦离子束系统(FIB)、表面分析仪器,高能物理实验装置、粒子加速器、高真空实验装置等诸多应用。高真空涡轮分子泵内有一个高速旋转(每分钟几万转)的转子,转子上有涡轮和拖动级进行抽气。随着技术的不断进步,市场不仅对泵性能的要求越来越高,更对其小型化、高可靠性、维护方便性及灵活易用性等都提出了更高的要求。下面就来看看,为了满足这些要求,安捷伦**新的高真空涡轮分子泵都“加持”了哪些“黑科技”吧。“黑科技”TwisTorr拖动技术通常的分子泵拖动级采用圆柱螺旋形的沟槽,而安捷伦TwisTorr技术把拖动级放在了薄薄的圆盘上。云南标准分子涡轮泵报价
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