泵的排气压力与进气压力之比称为压缩比。压缩比除与泵的级数和转速有关外，还与气体种类有关。分子量大的气体有高的压缩比。对氮(或空气)的压缩比为108～109；对氢为102～104；对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限真空度为10-9帕，工作压力范围为10-1～10-8帕，抽气速率为几十到几千升每秒(1升=10-3米)。涡轮分子泵必须在分子流状态(气体分子的平均自由程远大于导管截面比较大尺寸的流态)下工作才能显示出它的优越性，因此要求配有工作压力为1～10-2帕的前级真空泵。分子泵本身由转速为10000～60000转/分的中频电动机直联驱动。涡轮分子泵损坏的原因可分为设计上的和使用上的两方面的原因造成的。进口标准分子涡轮泵价格
涡轮分子泵的抽气原理是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。分子泵输送气体应满足二个必要条件：1).涡轮分子泵必须在分子流状态下工作。因为当将一定容积的容器中所含气体的压力降低时，其中气体分子的平均自由程则随之增加。在常压下空气分子的平均自由程只有μm，即平均看一个气体分子只要在空间运动μm，就可能与第二个气体分子相碰。而在时，分子间平均自由程可达。若平均自由程增加到大于容器壁间的距离时，气体分子与器壁的碰撞机会将大于气体分子之间的碰撞机会。在分子流范围内，气体分子的平均自由程长度远大于分子泵叶片之间的间距。当器壁由不动的定子叶片与运动着的转子叶片组成时，气体分子就会较多地射向转子和定子叶片，为形成气体分子的定向运动打下基础。2).分子泵的转子叶片必须具有与气体分子速度相近的线速度。具有这样的高速度才能使气体分子与动叶片相碰撞后改变随机散射的特性而作定向运动。分子泵的转速越高，对提高分子泵的抽速越有利。实践表明，对不同分子量的气体分子其速度越大，泵抽除越困难。分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度。湖北标准分子涡轮泵处理方法充入气体要选择合适的压力和供气量。
然而考虑到扩散泵系统需要阀门、挡板、阱、阀门控制器和管道等，总的花费来计算，二者的差别也就不大了，在某些情况下，涡轮分子泵还是便宜的选择。(2)对颗粒物或沉积物敏感若物体（螺钉、玻璃碎片、灯丝或硅片）落入正在运转的涡轮分子泵中，涡轮会遭到损坏，往往需返回制造厂进行维修。一旦出事故损坏就是严重的，不会有几件回用的。重修、更换零件是很贵的。为了工作安全起见，在泵入口处装上细孔眼的过滤网，以保护泵的正常运转。这种措施对泵的有效抽速损失较大。敷在叶片上厚的沉积物，会造成对叶片的磨损和通道堵塞，也会影响转子的不平衡。如果一些粒子进入轴承，造成磨损，能降低泵的工作寿命。因此在某些应用中，安装保护措施是必要的。(3)噪音与振动从使用经验来看，泵会出现振动和噪音问题，多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。在正常的工作中，泵处于平静的状态，比较大振幅在～μm(即100～1nm)之间,在某些精密设备上得到应用。而测不出易觉察的振动如图5所示。对涡轮分子泵（巴尔蔡司公司生产的330型涡轮分子泵）进行频谱分析。振动速度V的单位为μm/s，频率的单位为Hz，计算振幅可用公式：d=V/2πf，式中d为振幅μm，f为频率Hz，产生的比较大振幅＜μm。
且遗留下来的细微不平衡随着时间的推移会造成轴承故障，并会导致转子受损。保持涡轮分子泵平衡性可以确保低振动运转和**佳的轴承耐用性。在正常启动过程中，根据转子动力学，他们通过某种特定的共振频率。如果这些共振频率够刺激真空室、框架或整个系统的固有频率，他们就可以促进频率振幅的***提升;在这种频率下，泵开始剧烈振动并发出非常大的声音。频繁在这些共振频率区域运行会导致转子受损，且可能会导致设备或内置振动敏感元件损坏。即便是带有磁轴承的涡轮分子泵也不例外。因此，**好确定系统的固有频率，并就相关数值向制造商进行咨询。通过加固、增加额外重量或变换设计方案等可以避免振动的发生。4、安全连接高真空法兰/真空室涡轮分子泵，尤其是抽速在1000l/s以上、带有磁轴承和钟形转子的较大涡轮分子泵，在额定转速下具有较高的扭矩，在转子碰撞时，速度会以毫秒为单位降级。如果真空室布局不当且涡轮分子泵直接安装在其上时，则会发生真空室变形的情况，情况**严重时还会造成涡轮分子泵扭曲，甚至会与真空室法兰脱离。近年来，主要受到半导体工业的驱动，泵制造商已经通过碰撞实验和控制分析对泵壳和入口法兰上的力矩和受力进行了确定和测试。实验发现。在分子泵的四个支柱下装有四个橡胶垫可以减少分子涡轮泵在使用过程产生振动的现象。
分子涡轮泵的研究现状与进展。分子泵的现状：分子泵经过近100年的发展，在工程实际中分子泵得到广泛应用，主要是由于它对分子量大的气体有较高的压缩比，能获得清洁的真空环境，在某些要求清洁度较高的真空系统中，油扩散泵已被涡轮分子泵代替。分子泵作为一种非常重要的半导体以及液晶显示设备的子系统，被广泛应用于刻蚀，低压化学气相沉积，金属有机物化学气相沉积，离子注入以及溅射工艺。TMP的主要问题是，在入口压力为1.33Pa量级时，其有效抽速会明显降到70%-80%。此外，由于涡轮分子泵前级压力低，前级泵的油蒸气返油率高，影响了分子泵入口的清洁度，故出现了复合分子泵。涡轮分子泵的轴承由有油润滑的滚动轴承和滑动轴承向完全非接触式的空气轴承和磁轴承方向发展。西藏进口标准分子涡轮泵
泵的特点是级数多，转速高、间隙小、精度高。进口标准分子涡轮泵价格
如果是黄灯说明真空系统转速以达到80%，软件未连接ms，打开软件即可，软件连接后变为绿色。质谱端分子涡轮泵不启动可能的原因有离子源系统漏气、机械泵的问题、分子涡轮泵本身的问题以及电源的问题。如果是离子源系统漏气，通过检查真空系统的密封圈是否安装好，此外可以取下密封圈用凡士林均匀涂抹，再安装上，检查是否为密封圈的问题。如果是机械泵的原因，可能是机械泵的机油不够，以及机械泵本身故障，通过开启质谱仪，机械泵开启如果能抽真空即真空系统侧板不能拉开，说明机械泵没有问题，可以排除机械泵故障。电源的问题可能涉及到供电以及排风扇，开启质谱电源后，电源排风扇及分子涡轮泵风扇启动说明电源的风扇没有故障，不过风扇不启动，则可断定是由于风扇的原因导致分子涡轮泵不能启动。如果以上都不能解决，只能说明分子涡轮泵出了问题，只能更换分子涡轮泵。进口标准分子涡轮泵价格
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