广东超精密飞秒激光抛光

飞秒激光技术几乎无限的材料普适性可加工材料清单几乎不受限：金属、合金、半导体、聚合物、陶瓷、玻璃、晶体、钻石。只需调整激光参数（能量、脉冲数、波长），即可找到合适的加工窗口。精密加工中的关键工艺参数为了实现比较好加工效果，必须精确：脉冲能量：决定单次烧蚀的强度和深度。重复频率：决定加工速度和热积累程度（高重复频率下仍需注意热管理）。脉冲持续时间：更短的脉宽通常意味着更小的热影响。扫描速度与策略：影响加工效率和表面质量。光束质量与聚焦系统：决定小的可加工特征和加工精度。环境：有时需要在真空或特定气体中进行，以避免等离子体效应或氧化。飞秒激光钻孔技术还被运用到透明材料内部的三维微孔加工中，这种制造技术将有利于制造光电传感器设备。广东超精密飞秒激光抛光

能量在时间上高度集中：脉冲极短，即使单个脉冲能量不高，其瞬时峰值功率也可轻易达到太瓦（10¹² 瓦）甚至拍瓦（10¹⁵ 瓦）级别，足以击穿任何材料。“冷加工”机制：能量在极短时间内注入，远快于热量向周围材料扩散的时间（通常为皮秒量级）。材料被直接电离成等离子体并瞬间消散，几乎不产生热影响区，避免了熔化、微裂纹和形变。非线性吸收：其极高的光强使得材料同时吸收多个光子，才能发生电离。这种效应具有明确的功率阈值，只在焦点中心极小的体积内发生，实现了突破衍射极限的纳米级精度。宽光谱：超短脉冲意味着极宽的频率带宽，可用于产生超连续谱（白光激光）和精密光谱测量。北京半导体飞秒激光超精细由于能量沉积时间极短，因此飞秒激光可以在没有热效应的情况下进行加工。

飞秒激光的强大能力源于其极短的脉冲时间和极高的峰值功率。超高峰值功率：虽然单个脉冲的能量可能不高（毫焦耳量级），但由于能量被压缩在极短的时间内释放，其瞬时功率（峰值功率）可以轻松达到太瓦（10¹² 瓦）甚至拍瓦（10¹⁵ 瓦），相当于全球电网总功率的数百倍。超快相互作用：脉冲作用时间远小于材料中能量扩散（热传导、等离子体扩散等）所需的时间（皮秒-纳秒量级）。非线性效应主导：极高的光强使得激光与物质的相互作用从常见的线性吸收（如热效应）转变为多光子吸收、隧道电离等非线性过程。

这是飞秒激光技术应用的基石：多光子吸收/电离：在极高的光场强度下，材料同时吸收多个光子，跳过中间能级，直接发生电离或激发。这使得透明材料（如玻璃）也能被加工。雪崩电离：初始的自由电子通过逆韧致吸收激光能量，加速并碰撞其他原子，产生更多自由电子，形成雪崩式电离。电子被迅速剥离形成等离子体，留下的带正电离子因强烈库仑斥力而发生飞散。整个过程发生在皮秒量级内，远快于热扩散的时间（微秒量级），因此实现了“冷”烧蚀。飞秒激光切割可直接对玻璃、硅片、不锈钢等材料做激光划线、刻槽、刻蚀等处理，至小线宽小于10微米。

飞秒激光技术是一项通过“锁模”产生并利用“啁啾脉冲放大”提升能量的方法，创造出持续时间极短、峰值功率极高的光脉冲，并利用其与物质发生的超快、非线性、非热学相互作用，从而实现极限精度的测量、加工与操控的光电系统工程技术。 它不仅是工具，更是推动物理学、化学、工程学前沿探索的“探针”与“利刃”。技术特点总结极限的时间把控：主动操控飞秒量级的光脉冲。极限的空间精度：通过非线性效应，将加工区域限制在焦点体积内，实现亚波长尺度加工。极限的峰值功率：能产生地球上强的光电场，用于研究极端物理条件。材料普适性：通过多光子过程，可处理从金属到透明介质的各类材料。高度的灵活性：脉冲能量、重复频率、波长、脉冲形状均可根据应用进行定制。飞秒激光几乎可以加工任何材料，但受到激光发射器功率的限制，激光工艺可加工的材料以非金属材料为主。广东韩国加工飞秒激光钻孔

对于飞秒激光而言，脉冲作用时间已经实际小于1 ps，电子没有足够的时间将能量传递给晶格。广东超精密飞秒激光抛光

飞秒激光之所以能大量渗透，根源在于其超短脉冲（10⁻¹⁵秒）特性所带来的根本性优势：突破衍射极限的精度：通过多光子非线性效应，加工区域可远小于光斑尺寸，实现纳米级精度。真正的“冷加工”：能量在热量扩散前瞬间沉积，材料直接气化，几乎无热影响区、无熔渣、无微裂纹。普适性材料加工：对几乎任何材料（金属、玻璃、陶瓷、蓝宝石、塑料、）都有用，尤其擅长加工传统方法难以处理的高硬度、高脆性、高熔点材料。三维内部加工：在焦点处产生非线性效应，可在透明材料内部进行三维选择性改性、雕刻与存储。广东超精密飞秒激光抛光