（c）Z轴上的轴向运动误差，（d）X轴的倾斜运动误差，（e）绕Y轴的倾斜运动误差，（f）角度定位误差。4.原型模型的实验表征如图所示。参照图7和8，通过实验室建造的原型证明了所提出的测量系统的有效性。所提出的测量系统的原型用于在工厂中同时测量五轴机床（NXV560A，YCM，中国台湾台中）的旋转轴（C轴）的6个自由度几何误差。实验是在温度受控的实验室中进行的，以减少环境误差，并且每次测量均向机床的旋转轴输入30°间隔的角位置指令。为了验证所建议的测量系统的可行性，使用了两个千分表（Mitutoyo：513–471–10E，分辨率为1μm），它们使用的是ISO230–7的测量方法，并且使用了精密的圆柱度表来测量几何尺寸。简单的三角方法得出旋转轴的误差。图9显示了包括两个千分表的验证系统。如图所示，L0表示精密圆筒形量规的底部和下部千分表之间的距离；L1是两个百分表之间的距离。当旋转轴产生角度误差（ɛ）和平移误差（𝛿）时，这两个百分表的读数值将发生变化。图10显示了验证系统的设置。图7.（a）实验室建造的原型的移动部分和（b）固定部分。图8.提出原型并测量五轴机床。图9.验证系统示意图。图10.验证系统的照片。图11显示了一系列的测量结果。雅顿机电提供HOMMEL霍梅尔光学机，专业的技术，先进的设备。徐州经营HOMMEL霍梅尔光学机供应商
工艺性好、容易加工、特别是凸次镜设计为球面，减少了加工和检验的难度，有利于实现光学系统装调。其中第二个设计实例，进一步优化结构和参数后，主镜和三镜的二次圆锥曲面系数均为零，只保留四次和六次高次项，主镜和三镜可在球面基础上进行加工，加工和装调的难度进一步降低。设计结果表明，传递函数在50lp/mm时都接近，Strechl比率由通常完善设计的。与常用离轴三反系统相比，相机加工公差和面形加工公差从原来的1/50放宽到1/40，主、次、三镜的装调公差放宽4倍，从而有助于系统实现衍射极限，为三反射光学系统的***应用提供了借鉴和实用参考。鉴于篇幅问题，本文*为节选（光学精密工程第19卷，第12期），全文内容可阅读原文下载PDF文档。此广告位可以出租↓扫一扫。HOMMEL霍梅尔光学机厂家报价雅顿机电提供HOMMEL霍梅尔光学机，值得合作。
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我们使用灵敏度分析来观察哪些错误会严重影响传感器的价值。表1列出了前导系数（Ai，Bi，Ci，Di，Ei和Fi，i=1、2、3、4、5和6）的所有分析结果。前导系数是相应线性和旋转运动误差的灵敏度，**每个线性和旋转运动误差对光点在PSD上的位置的贡献的权重。在不降低的情况下提高计算速度在计算精度上，我们去除了低灵敏度项，简化了整个数学模型，简化后的数学方程如下：通过光学仿真软件Zemax，可以分别以𝛿X，𝛿Y，ɛX，ɛY，𝛿Z和ɛZ的不同几何误差获得PSDs上光斑的图像质心坐标，然后分别输入到建议的数学模型中以获得计算的几何误差值。图6显示了输入到Zemax的理想几何误差与从所提出的数学模型计算出的几何误差之间的比较。可以看出，**大计算误差𝛿X，𝛿Y，ɛZ，ɛX，ɛY和𝛿Z分别为μm，μm，μm，arcsec，aresec和aresec。这些计算出的误差非常小。换句话说，数值结果证明所提出的数学模型对于机床应用是足够正确的。在本节中，将简要介绍数学模型推导及其特点。有关数学模型的更多信息，请参见我们以前的论文[31–35].图5.路径2的斜射线**和每个光学组件（i）。图6.根据数学模型计算出的几何误差：（a）X轴上的径向运动误差，（b）Y轴上的径向运动误差。HOMMEL霍梅尔光学机苏州雅顿有货.连云港专业HOMMEL霍梅尔光学机
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