（c）Z轴上的轴向运动误差，（d）X轴的倾斜运动误差，（e）绕Y轴的倾斜运动误差，（f）角度定位误差。4.原型模型的实验表征如图所示。参照图7和8，通过实验室建造的原型证明了所提出的测量系统的有效性。所提出的测量系统的原型用于在工厂中同时测量五轴机床（NXV560A，YCM，中国台湾台中）的旋转轴（C轴）的6个自由度几何误差。实验是在温度受控的实验室中进行的，以减少环境误差，并且每次测量均向机床的旋转轴输入30°间隔的角位置指令。为了验证所建议的测量系统的可行性，使用了两个千分表（Mitutoyo：513–471–10E，分辨率为1μm），它们使用的是ISO230–7的测量方法，并且使用了精密的圆柱度表来测量几何尺寸。简单的三角方法得出旋转轴的误差。图9显示了包括两个千分表的验证系统。如图所示，L0表示精密圆筒形量规的底部和下部千分表之间的距离；L1是两个百分表之间的距离。当旋转轴产生角度误差（ɛ）和平移误差（𝛿）时，这两个百分表的读数值将发生变化。图10显示了验证系统的设置。图7.（a）实验室建造的原型的移动部分和（b）固定部分。图8.提出原型并测量五轴机床。图9.验证系统示意图。图10.验证系统的照片。图11显示了一系列的测量结果。HOMMEL霍梅尔光学机，到苏州雅顿机电试验室内设有多款测量设备.扬州供应HOMMEL霍梅尔光学机
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R）坐标系中每个光学分量（i）坐标系的传递矩阵，并且如下：图5示出了路径2的详细的偏斜射线追踪和每个光学组件（i）。如图5所示，光学组件的第i个表面可以表示为𝑃𝑖-1=[𝑃𝑖-1𝑥𝑃𝑖-1𝑦𝑃𝑖-1-1𝑇1]𝑇，并且激光束具有单位方向矢量𝓁𝑖-1=[𝓁𝑖-1𝑥𝓁𝑖-1𝑦𝓁𝑖-1𝑧0]𝑇。如果𝜆i是𝑃𝑖-1和Pi之间的距离，则Pi和𝜆i可以表示为：根据斯涅尔定律，反射射线的单位方向矢量𝓁i如下：通过上述方法，我们可以计算出光学组件表面的单位方向矢量，然后可以将三个PSD上光斑的位置表示为：其中，XPSDi（i=1、2和3）和YPSDi（i=1、2和3）分别是PSDi上光点在X方向和Y方向上的图像质心坐标。等式（5）–（10）描述了旋转轴的6个自由度几何误差（包括X方向的径向运动误差（𝛿X），Y方向的径向运动误差（𝛿Y），倾斜运动误差之间的关系。绕X轴（ɛX），绕Y轴的倾斜运动误差（ɛY），轴向运动误差（𝛿Z）和角度定位误差（ɛZ））以及PSD上光斑的位置。等式（5）–（10）是一系列非线性方程，机床旋转轴的6DOF几何误差非常小。因此，泰勒级数展开式可用于展开式。（5）–（10）为线性形式。在这里。
图像或相机上的强度分布形成一个规则的圆锥体，因此在不同的应用中也可以看到几个所谓的V-SPOT。用亚像素精度（峰谷比小于1/50像素，偏离平方平均值1/100）计算V-SPOT的精确位置。在此基础上，确定高达三维（自由度）和同时高达3个位置自由度的对应角度。借助于获得**的渐晕方法，霍夫鲍尔公司是世界上***能够克服传统自动准直方法问题的公司，即使在非常大的角度（1000秒=17mm/m）下，也能以角秒精度测量超过100m的长度并根据倾斜方法对其进行评估。测量技术用户可以使用两种可能的测量方法：使用倾斜法，将位于镜座或直线导轨的导轨架上的测量镜以同样大的步骤引至试样上方，并测量倾斜的变化。直线度是通过测定的部分截面高度差的总和（积分）来确定和显示的。用这种方法，可以在**低的测量不确定度下达到**高的精度。或者，根据应用情况，高度法也可用于测量。反射器还通过合适的底座或直线滑轨或可移动轴（工作台、横梁等）连接，并可定位在路径上的任何点。与理想直线（光轴）的偏差可立即直接测量并显示。优点是：可以直接执行调整过程。相机型号根据客户的应用，ELWIMAT-GER3000每个uEye相机系列都包含一台工业相机。各种型号都具有GigE或USBGen1接口。雅顿机电提供HOMMEL霍梅尔光学机专业。
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