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与验证系统的测量结果相比,在每个位置进行了5次重复测量。但是,必须注意,验证系统只能测量4个自由度的几何误差(𝛿X,𝛿Y,ɛX和ɛY)。旋转轴。如图所示,所提出的测量系统和验证系统的测量曲线具有非常相似的形状。证明了所提出的测量系统的可行性。测量结果表明,X轴上的径向运动误差(𝛿X),Y轴上的径向运动误差(𝛿Y),倾斜角绕X轴(ɛX)的运动误差和绕Y轴(ɛY)的倾斜运动误差分别为±μm,±μm,±arcsec和±arcsec。以上结果表明,所提出的测量系统可以同时测量机床旋转轴的6DOF几何误差。注意,进行实验时,激光束的不稳定性和未对准可能会影响测量结果[32、33]。在实验中,将PSD的10s采样时间设置为平均,并减少了激光不稳定的影响。为了减少由于不对中导致系统误差,必须对每个组件进行调整,以确保所建议的测量系统的安装误差尽可能小。如图7(a)所示。使用三轴手动平台来对准精密的气缸规。但是,还有许多其他误差源(PSD灵敏度,组件位置误差,像差,量化误差和振动等)可能导致测量结果不完善。因此,将来必须考虑这些问题以提高所提出的测量系统的测量精度。图11.几何误差随位置变化的测量结果:(a)X轴上的径向运动误差,。HOMMEL霍梅尔光学机,到苏州雅顿机电试验.扬州进口HOMMEL霍梅尔光学机厂家报价
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