与验证系统的测量结果相比，在每个位置进行了5次重复测量。但是，必须注意，验证系统只能测量4个自由度的几何误差（𝛿X，𝛿Y，ɛX和ɛY）。旋转轴。如图所示，所提出的测量系统和验证系统的测量曲线具有非常相似的形状。证明了所提出的测量系统的可行性。测量结果表明，X轴上的径向运动误差（𝛿X），Y轴上的径向运动误差（𝛿Y），倾斜角绕X轴（ɛX）的运动误差和绕Y轴（ɛY）的倾斜运动误差分别为±μm，±μm，±arcsec和±arcsec。以上结果表明，所提出的测量系统可以同时测量机床旋转轴的6DOF几何误差。注意，进行实验时，激光束的不稳定性和未对准可能会影响测量结果[32、33]。在实验中，将PSD的10s采样时间设置为平均，并减少了激光不稳定的影响。为了减少由于不对中导致系统误差，必须对每个组件进行调整，以确保所建议的测量系统的安装误差尽可能小。如图7（a）所示。使用三轴手动平台来对准精密的气缸规。但是，还有许多其他误差源（PSD灵敏度，组件位置误差，像差，量化误差和振动等）可能导致测量结果不完善。因此，将来必须考虑这些问题以提高所提出的测量系统的测量精度。图11.几何误差随位置变化的测量结果：（a）X轴上的径向运动误差，。HOMMEL霍梅尔光学机，到苏州雅顿机电试验室.***的测量方案，为您解决粗糙度难题！徐州专业HOMMEL霍梅尔光学机商家
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