工艺性好、容易加工、特别是凸次镜设计为球面，减少了加工和检验的难度，有利于实现光学系统装调。其中第二个设计实例，进一步优化结构和参数后，主镜和三镜的二次圆锥曲面系数均为零，只保留四次和六次高次项，主镜和三镜可在球面基础上进行加工，加工和装调的难度进一步降低。设计结果表明，传递函数在50lp/mm时都接近，Strechl比率由通常完善设计的。与常用离轴三反系统相比，相机加工公差和面形加工公差从原来的1/50放宽到1/40，主、次、三镜的装调公差放宽4倍，从而有助于系统实现衍射极限，为三反射光学系统的***应用提供了借鉴和实用参考。鉴于篇幅问题，本文仅为节选（光学精密工程第19卷，第12期），全文内容可阅读原文下载PDF文档。此广告位可以出租↓扫一扫。HOMMEL霍梅尔光学机，到苏州雅顿机电试验室.徐州HOMMEL霍梅尔光学机销售公司
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机床旋转轴六自由度几何误差测量系统的设计Chien-ShengLiua,∗,Hung-ChuanHsub,Yu-XiangLin摘要：本文提出了一种新型的非接触式光学测量系统，该系统结合了多角镜和圆锥透镜，以达到同时测量机器旋转轴的六自由度（6DOF）以及机床的几何误差。在开始时，我们使用Zemax软件构建建议的光学结构，并观察探测器上光斑的变化。然后，我们利用偏光线**法在Matlab软件上建立了所提出的光学结构，该光学结构用于呈现光斑变化的实际情况并与仿真结果进行比较。然后，我们设计了合适的固定装置，以将系统结构放置在实验室环境中的旋转轴上。完成实验室建造的原型后，我们分析了机床旋转轴不同角度位置上不同几何误差对探测器的影响。拟议的测量系统同时测量了6个自由度的旋转轴几何误差，并使用ISO230-7的测量方法将实验结果与两个百分表的测量结果进行了比较。实验结果表明，X轴上的径向运动误差，Y轴上的径向运动误差，X周围的倾斜运动误差和Y周围的倾斜运动误差的**大偏差范围为±μm，±μm，±分别为arcsec和±arcsec。1.引言机床的加工技术已经发展了很多年。随着工件精度的要求，几何误差测量技术变得越来越重要。
而特别适用于空间环境。因此，反射光学系统已经***应用于空间遥感器中。尤其是离轴三反光学系统（Three-mirrorAnastigmat，TMA）通过各反射面的非球面设计及其间隔等参数的调整，可以达到消像差和平像场的要求，而且系统的体积小、质量轻、热稳定性好且近年来加工和装调工艺日臻成熟，所以在空间遥感领域得到了***的应用。不过由于受到设计、加工和检测等方面的制约，离轴TMA系统的快速发展还是受到限制。如在抛光阶段必须通过补偿器和干涉仪控制其加工过程和**终检验，补偿器的加工和装调难度较大，尤其是凸非球面次镜的加工和检验更加困扰着科技工作者。若次镜材料为透射材料，可以采用背部检测，但对材料的应力均匀性、稳定性都要求极高。为了提高反射镜材料的性能，近年来都采用SiC材料，但SiC材料只能采用Hindle或衍射光学方法检测，而Hindle球不仅加工困难，而且成本很高，用Hindle球检测次镜的光路调整也较繁琐和困难。如果采用衍射光学方法检测，中心光轴的调整又是一大难题。不难看出，三反系统的设计和加工有待改进和提高，本文提出了改进的三反系统的光学设计方法，在保证成像质量达到衍射极限的同时，使得系统中3个反射镜的加工和检测难度都**降低。雅顿机电提供HOMMEL霍梅尔光学机专业。
（c）Z轴上的轴向运动误差，（d）X轴的倾斜运动误差，（e）绕Y轴的倾斜运动误差，（f）角度定位误差。4.原型模型的实验表征如图所示。参照图7和8，通过实验室建造的原型证明了所提出的测量系统的有效性。所提出的测量系统的原型用于在工厂中同时测量五轴机床（NXV560A，YCM，中国台湾台中）的旋转轴（C轴）的6个自由度几何误差。实验是在温度受控的实验室中进行的，以减少环境误差，并且每次测量均向机床的旋转轴输入30°间隔的角位置指令。为了验证所建议的测量系统的可行性，使用了两个千分表（Mitutoyo：513–471–10E，分辨率为1μm），它们使用的是ISO230–7的测量方法，并且使用了精密的圆柱度表来测量几何尺寸。简单的三角方法得出旋转轴的误差。图9显示了包括两个千分表的验证系统。如图所示，L0表示精密圆筒形量规的底部和下部千分表之间的距离；L1是两个百分表之间的距离。当旋转轴产生角度误差（ɛ）和平移误差（𝛿）时，这两个百分表的读数值将发生变化。图10显示了验证系统的设置。图7.（a）实验室建造的原型的移动部分和（b）固定部分。图8.提出原型并测量五轴机床。图9.验证系统示意图。图10.验证系统的照片。图11显示了一系列的测量结果。HOMMEL霍梅尔光学机苏州雅顿机电科技有限公司代理.上海经营HOMMEL霍梅尔光学机商家
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