当测得的旋转轴开始旋转时，检测器上的光斑信号会由于其几何误差而发生变化，并且可以将变化量输入到建议的数学模型中，以计算出测得的6个自由度几何误差旋转轴。测量原理所提出的测量系统可以分为具有三个激光源和三个PSD的三个光路，如图1所示。在***光路（路径1）中，激光穿过BS并撞击移动部分的多角镜。对于PSD1，角度定位误差（ɛZ）和绕Y轴的倾斜运动误差（ɛY）具有较高的灵敏度，与PSD1的其他四个错误相比，它们具有更好的性，并且它们影响PSD1上的光点在X方向上的图像质心坐标的变化，并且分别为Y方向。这种设计可以减少其他四个错误与PSD1的错误串扰。在第二和第三光路（路径2和路径3）中，两个激光束穿过移动部分的圆锥透镜，并且彼此正交。预期角度定位误差，其他5个自由度几何误差将导致路径2和路径3发生变化。图2a–c分别显示了光路的变化，其中X轴和Y轴上有径向运动误差，X轴周围有倾斜误差，而轴向运动有误差。当运动部件随旋转轴移动时，所有6个自由度中的误差将同时引起PSD上光斑位置的变化。换句话说，PSD上的光斑位置包含6个自由度耦合的几何误差。为了高效，准确地分析单个6自由度几何误差与光点位置信息之间的关系。HOMMEL霍梅尔光学机苏州雅顿机电科技有限公司江苏代理.江苏原装HOMMEL霍梅尔光学机价格
主机包括安装在机壳内部的控制组件（**控制板）、测量组件（含光学测量部件）、基准组件（惯性测量部件）。主机安装工艺保证了惯性测量部件的航向轴方向与光学测量部件的光轴方向保持一致；**适配器（含基准平面镜）安装在待校准轴上，使得基准平面镜的法线与待校准轴的方向平行。测量组件中的光学测量部件包括光源、聚焦透镜组和在聚焦透镜组焦点设置的图像传感器，光源经过聚焦透镜组发出平行光束，经过基准平面镜反射后聚焦成像在图像传感器上形成像点，图像处理单元对图像传感器的图像进行数据处理，得到轴向偏差角；控制组件根据基准组件测量出的角度数据和经图像处理的轴向偏差角数据，计算得到待校准轴的姿态角参数，测量结果可在触摸屏上显示亦可上传至**显示眼镜上，方便操作员读数记录。八、技术指标（1）环境温度工作温度：－40℃～＋50℃存储温度：－55℃～＋65℃（2）重量主机（含电池）≤10kg**适配器≤5kg（3）系统测量精度基准组件-惯导部件≤°/h测量组件-光学测量部件≤′（4）部件尺寸≤448mm×261mm×135mm(含转运包装箱)（5）防护等级测控主机IP65九、推广应用该校准系统采用了系列化、通用化和模块化设计方法。上海原装HOMMEL霍梅尔光学机“HOMMEL霍梅尔光学机满足您的测量需求.
我们使用灵敏度分析来观察哪些错误会严重影响传感器的价值。表1列出了前导系数（Ai，Bi，Ci，Di，Ei和Fi，i=1、2、3、4、5和6）的所有分析结果。前导系数是相应线性和旋转运动误差的灵敏度，**每个线性和旋转运动误差对光点在PSD上的位置的贡献的权重。在不降低的情况下提高计算速度在计算精度上，我们去除了低灵敏度项，简化了整个数学模型，简化后的数学方程如下：通过光学仿真软件Zemax，可以分别以𝛿X，𝛿Y，ɛX，ɛY，𝛿Z和ɛZ的不同几何误差获得PSDs上光斑的图像质心坐标，然后分别输入到建议的数学模型中以获得计算的几何误差值。图6显示了输入到Zemax的理想几何误差与从所提出的数学模型计算出的几何误差之间的比较。可以看出，**大计算误差𝛿X，𝛿Y，ɛZ，ɛX，ɛY和𝛿Z分别为μm，μm，μm，arcsec，aresec和aresec。这些计算出的误差非常小。换句话说，数值结果证明所提出的数学模型对于机床应用是足够正确的。在本节中，将简要介绍数学模型推导及其特点。有关数学模型的更多信息，请参见我们以前的论文[31–35].图5.路径2的斜射线**和每个光学组件（i）。图6.根据数学模型计算出的几何误差：（a）X轴上的径向运动误差，（b）Y轴上的径向运动误差。
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