我们使用灵敏度分析来观察哪些错误会严重影响传感器的价值。表1列出了前导系数（Ai，Bi，Ci，Di，Ei和Fi，i=1、2、3、4、5和6）的所有分析结果。前导系数是相应线性和旋转运动误差的灵敏度，**每个线性和旋转运动误差对光点在PSD上的位置的贡献的权重。在不降低的情况下提高计算速度在计算精度上，我们去除了低灵敏度项，简化了整个数学模型，简化后的数学方程如下：通过光学仿真软件Zemax，可以分别以𝛿X，𝛿Y，ɛX，ɛY，𝛿Z和ɛZ的不同几何误差获得PSDs上光斑的图像质心坐标，然后分别输入到建议的数学模型中以获得计算的几何误差值。图6显示了输入到Zemax的理想几何误差与从所提出的数学模型计算出的几何误差之间的比较。可以看出，**大计算误差𝛿X，𝛿Y，ɛZ，ɛX，ɛY和𝛿Z分别为μm，μm，μm，arcsec，aresec和aresec。这些计算出的误差非常小。换句话说，数值结果证明所提出的数学模型对于机床应用是足够正确的。在本节中，将简要介绍数学模型推导及其特点。有关数学模型的更多信息，请参见我们以前的论文[31–35].图5.路径2的斜射线**和每个光学组件（i）。图6.根据数学模型计算出的几何误差：（a）X轴上的径向运动误差，（b）Y轴上的径向运动误差。HOMMEL霍梅尔光学机，到苏州雅顿机电试验室内设有多款测量设备，检测准确快捷.代理HOMMEL霍梅尔光学机销售厂
工艺性好、容易加工、特别是凸次镜设计为球面，减少了加工和检验的难度，有利于实现光学系统装调。其中第二个设计实例，进一步优化结构和参数后，主镜和三镜的二次圆锥曲面系数均为零，只保留四次和六次高次项，主镜和三镜可在球面基础上进行加工，加工和装调的难度进一步降低。设计结果表明，传递函数在50lp/mm时都接近，Strechl比率由通常完善设计的。与常用离轴三反系统相比，相机加工公差和面形加工公差从原来的1/50放宽到1/40，主、次、三镜的装调公差放宽4倍，从而有助于系统实现衍射极限，为三反射光学系统的***应用提供了借鉴和实用参考。鉴于篇幅问题，本文*为节选（光学精密工程第19卷，第12期），全文内容可阅读原文下载PDF文档。此广告位可以出租↓扫一扫。淮安质量HOMMEL霍梅尔光学机市场价雅顿机电提供HOMMEL霍梅尔光学机，专业的技术，先进的设备，值得合作。
R）坐标系中每个光学分量（i）坐标系的传递矩阵，并且如下：图5示出了路径2的详细的偏斜射线追踪和每个光学组件（i）。如图5所示，光学组件的第i个表面可以表示为𝑃𝑖-1=[𝑃𝑖-1𝑥𝑃𝑖-1𝑦𝑃𝑖-1-1𝑇1]𝑇，并且激光束具有单位方向矢量𝓁𝑖-1=[𝓁𝑖-1𝑥𝓁𝑖-1𝑦𝓁𝑖-1𝑧0]𝑇。如果𝜆i是𝑃𝑖-1和Pi之间的距离，则Pi和𝜆i可以表示为：根据斯涅尔定律，反射射线的单位方向矢量𝓁i如下：通过上述方法，我们可以计算出光学组件表面的单位方向矢量，然后可以将三个PSD上光斑的位置表示为：其中，XPSDi（i=1、2和3）和YPSDi（i=1、2和3）分别是PSDi上光点在X方向和Y方向上的图像质心坐标。等式（5）–（10）描述了旋转轴的6个自由度几何误差（包括X方向的径向运动误差（𝛿X），Y方向的径向运动误差（𝛿Y），倾斜运动误差之间的关系。绕X轴（ɛX），绕Y轴的倾斜运动误差（ɛY），轴向运动误差（𝛿Z）和角度定位误差（ɛZ））以及PSD上光斑的位置。等式（5）–（10）是一系列非线性方程，机床旋转轴的6DOF几何误差非常小。因此，泰勒级数展开式可用于展开式。（5）–（10）为线性形式。在这里。
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