（c）Z轴上的轴向运动误差，（d）X轴的倾斜运动误差，（e）绕Y轴的倾斜运动误差，（f）角度定位误差。4.原型模型的实验表征如图所示。参照图7和8，通过实验室建造的原型证明了所提出的测量系统的有效性。所提出的测量系统的原型用于在工厂中同时测量五轴机床（NXV560A，YCM，中国台湾台中）的旋转轴（C轴）的6个自由度几何误差。实验是在温度受控的实验室中进行的，以减少环境误差，并且每次测量均向机床的旋转轴输入30°间隔的角位置指令。为了验证所建议的测量系统的可行性，使用了两个千分表（Mitutoyo：513–471–10E，分辨率为1μm），它们使用的是ISO230–7的测量方法，并且使用了精密的圆柱度表来测量几何尺寸。简单的三角方法得出旋转轴的误差。图9显示了包括两个千分表的验证系统。如图所示，L0表示精密圆筒形量规的底部和下部千分表之间的距离；L1是两个百分表之间的距离。当旋转轴产生角度误差（ɛ）和平移误差（𝛿）时，这两个百分表的读数值将发生变化。图10显示了验证系统的设置。图7.（a）实验室建造的原型的移动部分和（b）固定部分。图8.提出原型并测量五轴机床。图9.验证系统示意图。图10.验证系统的照片。图11显示了一系列的测量结果。雅顿机电提供HOMMEL霍梅尔光学机，专业的技术，先进的设备。南通原装HOMMEL霍梅尔光学机销售公司
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而特别适用于空间环境。因此，反射光学系统已经***应用于空间遥感器中。尤其是离轴三反光学系统（Three-mirrorAnastigmat，TMA）通过各反射面的非球面设计及其间隔等参数的调整，可以达到消像差和平像场的要求，而且系统的体积小、质量轻、热稳定性好且近年来加工和装调工艺日臻成熟，所以在空间遥感领域得到了***的应用。不过由于受到设计、加工和检测等方面的制约，离轴TMA系统的快速发展还是受到限制。如在抛光阶段必须通过补偿器和干涉仪控制其加工过程和**终检验，补偿器的加工和装调难度较大，尤其是凸非球面次镜的加工和检验更加困扰着科技工作者。若次镜材料为透射材料，可以采用背部检测，但对材料的应力均匀性、稳定性都要求极高。为了提高反射镜材料的性能，近年来都采用SiC材料，但SiC材料只能采用Hindle或衍射光学方法检测，而Hindle球不仅加工困难，而且成本很高，用Hindle球检测次镜的光路调整也较繁琐和困难。如果采用衍射光学方法检测，中心光轴的调整又是一大难题。不难看出，三反系统的设计和加工有待改进和提高，本文提出了改进的三反系统的光学设计方法，在保证成像质量达到衍射极限的同时，使得系统中3个反射镜的加工和检测难度都**降低。
该系统可以同时测量机床旋转轴的6个自由度几何误差，该系统使用圆锥透镜和多角镜作为其移动模块。建议的测量系统的数学模型是使用HTM和我们的研究小组开发的偏斜射线追踪方法建立的[31-35]。所提出的测量系统可以同时测量旋转轴的6个自由度几何误差。2.拟议测量系统的结构布局和测量原理结构布局如图1所示，所提出的测量系统的体系结构由两部分组成：一个固定部分和一个移动部分。固定部分由三个激光源，一个反射镜，一个分束器（BS），三个位置敏感检测器（PSD）和一些连接装置组成。活动部件包括一个锥形透镜，一个多角镜，一个精密的圆柱度仪和一些连接装置。精确的圆柱度计设计用于连接锥形透镜和多角镜。精密汽缸压力计的功能是验证所提出的测量系统的可行性。详细说明在第4节中介绍。使用多角镜的想法来自光学自动准直仪的测量方法，用于旋转轴的角度定位测量。由于其结构简单，所提出的测量系统具有成本低廉的优点。固定部分放置在旋转轴的外部，以避免旋转轴产生的振动误差，并接收从移动部分反射的光斑。另一方面，将运动部件放置在测量的机床旋转轴上。图1.建议的测量系统的结构。因此，这些激光源的激光束分别撞击运动部分并返回入射到PSD上。HOMMEL霍梅尔光学机，到苏州雅顿机电试验室内设有多款测量设备，检测准确快捷，满足您的测量.需求.
与验证系统的测量结果相比，在每个位置进行了5次重复测量。但是，必须注意，验证系统只能测量4个自由度的几何误差（𝛿X，𝛿Y，ɛX和ɛY）。旋转轴。如图所示，所提出的测量系统和验证系统的测量曲线具有非常相似的形状。证明了所提出的测量系统的可行性。测量结果表明，X轴上的径向运动误差（𝛿X），Y轴上的径向运动误差（𝛿Y），倾斜角绕X轴（ɛX）的运动误差和绕Y轴（ɛY）的倾斜运动误差分别为±μm，±μm，±arcsec和±arcsec。以上结果表明，所提出的测量系统可以同时测量机床旋转轴的6DOF几何误差。注意，进行实验时，激光束的不稳定性和未对准可能会影响测量结果[32、33]。在实验中，将PSD的10s采样时间设置为平均，并减少了激光不稳定的影响。为了减少由于不对中导致系统误差，必须对每个组件进行调整，以确保所建议的测量系统的安装误差尽可能小。如图7（a）所示。使用三轴手动平台来对准精密的气缸规。但是，还有许多其他误差源（PSD灵敏度，组件位置误差，像差，量化误差和振动等）可能导致测量结果不完善。因此，将来必须考虑这些问题以提高所提出的测量系统的测量精度。图11.几何误差随位置变化的测量结果：（a）X轴上的径向运动误差，。HOMMEL霍梅尔光学机，到苏州雅顿机电试验室内设有多款测量设备，检测准确.连云港专业HOMMEL霍梅尔光学机供应商
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