当测得的旋转轴开始旋转时,检测器上的光斑信号会由于其几何误差而发生变化,并且可以将变化量输入到建议的数学模型中,以计算出测得的6个自由度几何误差旋转轴。测量原理所提出的测量系统可以分为具有三个激光源和三个PSD的三个光路,如图1所示。在***光路(路径1)中,激光穿过BS并撞击移动部分的多角镜。对于PSD1,角度定位误差(ɛZ)和绕Y轴的倾斜运动误差(ɛY)具有较高的灵敏度,与PSD1的其他四个错误相比,它们具有更好的性,并且它们影响PSD1上的光点在X方向上的图像质心坐标的变化,并且分别为Y方向。这种设计可以减少其他四个错误与PSD1的错误串扰。在第二和第三光路(路径2和路径3)中,两个激光束穿过移动部分的圆锥透镜,并且彼此正交。预期角度定位误差,其他5个自由度几何误差将导致路径2和路径3发生变化。图2a–c分别显示了光路的变化,其中X轴和Y轴上有径向运动误差,X轴周围有倾斜误差,而轴向运动有误差。当运动部件随旋转轴移动时,所有6个自由度中的误差将同时引起PSD上光斑位置的变化。换句话说,PSD上的光斑位置包含6个自由度耦合的几何误差。为了高效,准确地分析单个6自由度几何误差与光点位置信息之间的关系。HOMMEL霍梅尔光学机苏州雅顿机电科技现货.常州原装HOMMEL霍梅尔光学机
与验证系统的测量结果相比,在每个位置进行了5次重复测量。但是,必须注意,验证系统只能测量4个自由度的几何误差(𝛿X,𝛿Y,ɛX和ɛY)。旋转轴。如图所示,所提出的测量系统和验证系统的测量曲线具有非常相似的形状。证明了所提出的测量系统的可行性。测量结果表明,X轴上的径向运动误差(𝛿X),Y轴上的径向运动误差(𝛿Y),倾斜角绕X轴(ɛX)的运动误差和绕Y轴(ɛY)的倾斜运动误差分别为±μm,±μm,±arcsec和±arcsec。以上结果表明,所提出的测量系统可以同时测量机床旋转轴的6DOF几何误差。注意,进行实验时,激光束的不稳定性和未对准可能会影响测量结果[32、33]。在实验中,将PSD的10s采样时间设置为平均,并减少了激光不稳定的影响。为了减少由于不对中导致系统误差,必须对每个组件进行调整,以确保所建议的测量系统的安装误差尽可能小。如图7(a)所示。使用三轴手动平台来对准精密的气缸规。但是,还有许多其他误差源(PSD灵敏度,组件位置误差,像差,量化误差和振动等)可能导致测量结果不完善。因此,将来必须考虑这些问题以提高所提出的测量系统的测量精度。图11.几何误差随位置变化的测量结果:(a)X轴上的径向运动误差,。南通代理HOMMEL霍梅尔光学机供应商家HOMMEL霍梅尔光学机苏州雅顿机电科技有限公司江苏代理.
系统的装调也更加方便,从而为三反光学系统的***应用提供了借鉴和实用参考。2光学系统参数的确定在空间光学遥感领域中,为了更多和清晰地获取地物信息,需要进一步提高光学系统的地面覆盖范围和地元分辨率。光学系统的地元分辨率与其角分辨率和卫星高度成比例。卫星的高度一定,增大光学系统的角分辨率就可以有效地提高地元分辨率;保持相对孔径一定,增长焦距使入瞳直径增大,从而提高地元分辨率。另一方面,光学系统的地面覆盖范围与卫星高度和视场角成比例,卫星高度一旦确定,增大光学系统的视场角可以使地面覆盖范围扩大。遥感相机的地元分辨率由光电传感器的像元尺寸,轨道高度及光学系统的焦距决定,如下式所示:GSD=Ha/f'(1)式中:GSD为地元分辨率;H为轨道高度;f'为光学系统焦距;a为传感器的像元尺寸。由瑞利判据可得,光学系统的艾利斑由光学系统的F#决定,即......图1.光学系统简图图2.离轴系统1的性能曲线图图3.离轴系统2的性能曲线图......6结论本文基于离轴三反光学系统的一般设计方法,讨论了设计要点,并给出了两个设计实例。系统采用离轴的方法,避开了中心遮拦,可以取得较好的像质。两个设计实例都含有球面。
(c)Z轴上的轴向运动误差,(d)X轴的倾斜运动误差,(e)绕Y轴的倾斜运动误差,(f)角度定位误差。4.原型模型的实验表征如图所示。参照图7和8,通过实验室建造的原型证明了所提出的测量系统的有效性。所提出的测量系统的原型用于在工厂中同时测量五轴机床(NXV560A,YCM,中国台湾台中)的旋转轴(C轴)的6个自由度几何误差。实验是在温度受控的实验室中进行的,以减少环境误差,并且每次测量均向机床的旋转轴输入30°间隔的角位置指令。为了验证所建议的测量系统的可行性,使用了两个千分表(Mitutoyo:513–471–10E,分辨率为1μm),它们使用的是ISO230–7的测量方法,并且使用了精密的圆柱度表来测量几何尺寸。简单的三角方法得出旋转轴的误差。图9显示了包括两个千分表的验证系统。如图所示,L0表示精密圆筒形量规的底部和下部千分表之间的距离;L1是两个百分表之间的距离。当旋转轴产生角度误差(ɛ)和平移误差(𝛿)时,这两个百分表的读数值将发生变化。图10显示了验证系统的设置。图7.(a)实验室建造的原型的移动部分和(b)固定部分。图8.提出原型并测量五轴机床。图9.验证系统示意图。图10.验证系统的照片。图11显示了一系列的测量结果。HOMMEL霍梅尔光学机苏州雅顿有货.
图像或相机上的强度分布形成一个规则的圆锥体,因此在不同的应用中也可以看到几个所谓的V-SPOT。用亚像素精度(峰谷比小于1/50像素,偏离平方平均值1/100)计算V-SPOT的精确位置。在此基础上,确定高达三维(自由度)和同时高达3个位置自由度的对应角度。借助于获得**的渐晕方法,霍夫鲍尔公司是世界上***能够克服传统自动准直方法问题的公司,即使在非常大的角度(1000秒=17mm/m)下,也能以角秒精度测量超过100m的长度并根据倾斜方法对其进行评估。测量技术用户可以使用两种可能的测量方法:使用倾斜法,将位于镜座或直线导轨的导轨架上的测量镜以同样大的步骤引至试样上方,并测量倾斜的变化。直线度是通过测定的部分截面高度差的总和(积分)来确定和显示的。用这种方法,可以在**低的测量不确定度下达到**高的精度。或者,根据应用情况,高度法也可用于测量。反射器还通过合适的底座或直线滑轨或可移动轴(工作台、横梁等)连接,并可定位在路径上的任何点。与理想直线(光轴)的偏差可立即直接测量并显示。优点是:可以直接执行调整过程。相机型号根据客户的应用,ELWIMAT-GER3000每个uEye相机系列都包含一台工业相机。各种型号都具有GigE或USBGen1接口。HOMMEL霍梅尔光学机,到苏州雅顿机电试验室内设有多款测量设备,检测准确.常州正规HOMMEL霍梅尔光学机
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ZnO是一种重要的II-VI族半导体材料。它拥有高达60meV的激子结合能,以及25meV的热***能。ZnO纳米线可以被用于制造导波管,纳米激光器,光探测器,以及发光二极管。在这些光学应用中,激子与纵向光学声子(LO)之间的耦合特性一直是研究者们讨论的重点。这种耦合特性往往与晶格结构以及应力产生的缺陷有关。结合原位透射电子显微镜光学-光电测量系统(ZepToolsTechnologyCo.,Ltd.),研究者在TEM中原位测量施加了不同应力ZnO纳米线的阴极发光谱(CL),揭示了该材料结构特性与这种耦合特性之间的联系。相关研究成果发表在《APPLIEDPHYSICSLETTERS》上。图1:(a)原位透射电子显微镜光学-光电测量系统应用原理图;(b)单根ZnO纳米线的TEM图像,电子束被聚焦在纳米线的末端。(c)图解ZnO纳米线的发光机制;(d)典型的CL谱。ZnO纳米线被安置于原位TEM光学-光电测量样品杆上,一个2mm直径的光纤通过一个可以三维操纵的纳米操纵探针引到样品处。纳米操纵探针不仅可以辅助找准测试位置,还可以用于选择和操纵单根纳米线。单色仪和CCD与光纤接口连接并用于接收信号。图2:改变电子束聚焦在纳米线上的位置,可以得到不同的CL谱。图3:使用纳米操纵探针给纳米线施加不同的应力。常州原装HOMMEL霍梅尔光学机