2015-2026）中国生产发展现状及未来趋势（2015-2026）全球光学测量系统供需现状及预测（2015-2026）全球光学测量系统产能、产量、产能利用率及发展趋势（2015-2026）全球光学测量系统产量、表观消费量及发展趋势（2015-2026）中国光学测量系统供需现状及预测（2015-2026）中国光学测量系统产能、产量、产能利用率及发展趋势（2015-2026）中国光学测量系统产量、表观消费量及发展趋势（2015-2026）中国光学测量系统产量、市场需求量及发展趋势（2015-2026）2全球与中国主要厂商光学测量系统产量、产值及竞争分析全球市场光学测量系统主要厂商列表（2018-2020）全球市场光学测量系统主要厂商产量列表（2018-2020）全球市场光学测量系统主要厂商产值列表（2018-2020）2019年全球主要生产商光学测量系统收入排名全球市场光学测量系统主要厂商产品价格列表（2018-2020）中国光学测量系统主要厂商产量、产值及市场份额中国市场光学测量系统主要厂商产量列表（2018-2020）中国市场光学测量系统主要厂商产值列表。雅顿机电提供HOMMEL霍梅尔光学机，值得合作。南京正规HOMMEL霍梅尔光学机市场价
我们使用灵敏度分析来观察哪些错误会严重影响传感器的价值。表1列出了前导系数（Ai，Bi，Ci，Di，Ei和Fi，i=1、2、3、4、5和6）的所有分析结果。前导系数是相应线性和旋转运动误差的灵敏度，**每个线性和旋转运动误差对光点在PSD上的位置的贡献的权重。在不降低的情况下提高计算速度在计算精度上，我们去除了低灵敏度项，简化了整个数学模型，简化后的数学方程如下：通过光学仿真软件Zemax，可以分别以𝛿X，𝛿Y，ɛX，ɛY，𝛿Z和ɛZ的不同几何误差获得PSDs上光斑的图像质心坐标，然后分别输入到建议的数学模型中以获得计算的几何误差值。图6显示了输入到Zemax的理想几何误差与从所提出的数学模型计算出的几何误差之间的比较。可以看出，**大计算误差𝛿X，𝛿Y，ɛZ，ɛX，ɛY和𝛿Z分别为μm，μm，μm，arcsec，aresec和aresec。这些计算出的误差非常小。换句话说，数值结果证明所提出的数学模型对于机床应用是足够正确的。在本节中，将简要介绍数学模型推导及其特点。有关数学模型的更多信息，请参见我们以前的论文[31–35].图5.路径2的斜射线**和每个光学组件（i）。图6.根据数学模型计算出的几何误差：（a）X轴上的径向运动误差，（b）Y轴上的径向运动误差。南京正规HOMMEL霍梅尔光学机市场价HOMMEL霍梅尔光学机苏州雅顿机电科技有限公司提供.
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2015-2020）表39Zeiss公司简介及主要业务表40Zeiss企业**新动态表41Mitutoyo光学测量系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位表42Mitutoyo光学测量系统产品规格、参数及市场应用表43Mitutoyo光学测量系统产能（台）、产量（台）、产值（百万美元）、价格及毛利率（2015-2020）表44Mitutoyo公司简介及主要业务表45Mitutoyo公司**新动态表46NikonMetrology光学测量系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位表47NikonMetrology光学测量系统产品规格、参数及市场应用表48NikonMetrology光学测量系统产能（台）、产量（台）、产值（百万美元）、价格及毛利率（2015-2020）表49NikonMetrology公司简介及主要业务表50NikonMetrology企业**新动态表51TokyoSeimitsu光学测量系统生产基地、销售区域、竞争对手及市场地位表52TokyoSeimitsu光学测量系统产品规格、参数及市场应用表53TokyoSeimitsu光学测量系统产能（台）、产量（台）、产值（百万美元）、价格及毛利率。HOMMEL霍梅尔光学机代理。淮安销售HOMMEL霍梅尔光学机代理商
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与验证系统的测量结果相比，在每个位置进行了5次重复测量。但是，必须注意，验证系统只能测量4个自由度的几何误差（𝛿X，𝛿Y，ɛX和ɛY）。旋转轴。如图所示，所提出的测量系统和验证系统的测量曲线具有非常相似的形状。证明了所提出的测量系统的可行性。测量结果表明，X轴上的径向运动误差（𝛿X），Y轴上的径向运动误差（𝛿Y），倾斜角绕X轴（ɛX）的运动误差和绕Y轴（ɛY）的倾斜运动误差分别为±μm，±μm，±arcsec和±arcsec。以上结果表明，所提出的测量系统可以同时测量机床旋转轴的6DOF几何误差。注意，进行实验时，激光束的不稳定性和未对准可能会影响测量结果[32、33]。在实验中，将PSD的10s采样时间设置为平均，并减少了激光不稳定的影响。为了减少由于不对中导致系统误差，必须对每个组件进行调整，以确保所建议的测量系统的安装误差尽可能小。如图7（a）所示。使用三轴手动平台来对准精密的气缸规。但是，还有许多其他误差源（PSD灵敏度，组件位置误差，像差，量化误差和振动等）可能导致测量结果不完善。因此，将来必须考虑这些问题以提高所提出的测量系统的测量精度。图11.几何误差随位置变化的测量结果：（a）X轴上的径向运动误差，。南京正规HOMMEL霍梅尔光学机市场价
