许多研究人员开发了多种方法来测量机床线性轴和旋转轴的多自由度几何误差[6]。前者开发得很好[7-10]，并将线性轴的6DOF几何误差分为水平直线度误差，垂直直线误差，定位误差，侧倾误差，俯仰误差和偏航误差[11，12]。尽管后者的研究文献少于线性轴，但是**近它也开始发展[13]。例如，村上等。提出了一种新型的主轴误差测量系统，该系统结合了圆柱透镜和球面透镜作为它们的运动模块，可以测量5自由度的几何误差[14]。他等。用两个激光位移计和自行设计的夹具测量机床旋转轴的6个自由度几何误差[15]。Li等。利用单模光纤耦合激光器和两个后向反射器作为他们测量旋转轴5自由度几何误差的新方法[16]。单模光纤的应用不仅提高了空间稳定性，而且显着提高了测量激光束的能量分布。其他类型的测量设备，例如激光示踪剂和激光扫描仪，也可以测量旋转轴的多自由度几何误差[17-19]。研究人员还可以使用具有均匀传递矩阵（HTM）方法的多体系统构建整个机床，以进行误差建模和误差补偿[20-22]。另一方面，干涉测量法的应用可以用来测量相关误差[23-26]。一些研究人员对传感器和机床的不确定性进行了研究[27-30]。在本文中，我们提出了一种新颖的光学测量系统。HOMMEL霍梅尔光学机苏州雅顿机电科技有限公司有现货.上海供应HOMMEL霍梅尔光学机厂家报价
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机床的几何误差测量技术传统上可以分为接触式和非接触式两种前者具有成本低，精度高的特点，但必须逐点接触探针以接触机床的量规表面，这不仅要花费大量时间，而且会消耗探针[1,2]。因此，过一会儿需要对探头进行半径补偿，否则会影响测量精度。在非接触式测量技术中，激光干涉仪是使用*****的测量仪器。但是，干涉仪价格昂贵，并且一次只能测量机床的一自由度（1DOF）几何误差。如果要测量不同的自由度几何误差，则必须使用不同的反射镜组和实验设置。结果，测量效率明显较低，并且在较长的测量期间内，测量环境可能会发生变化，从而影响测量精度[3,4]。由于切削工具，旋转轴，线性工作台等的原因，机床中存在各种几何误差源。在本文中，我们*讨论来自机床旋转轴的几何误差源。对象的运动自由度可以定义为6DOF，包括分别沿X，Y和Z轴移动的三个线性运动，以及分别围绕X，Y和Z轴的三个旋转运动。机床的旋转轴还具有6个自由度几何误差，即X方向上的径向运动误差（𝛿X），Y方向上的径向运动误差（𝛿Y），X轴周围的倾斜运动误差（ɛX），倾斜运动误差绕Y轴（ɛY），轴向运动误差（𝛿Z）和角度定位误差（ɛZ）[5]。近年来。
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当测得的旋转轴开始旋转时，检测器上的光斑信号会由于其几何误差而发生变化，并且可以将变化量输入到建议的数学模型中，以计算出测得的6个自由度几何误差旋转轴。测量原理所提出的测量系统可以分为具有三个激光源和三个PSD的三个光路，如图1所示。在***光路（路径1）中，激光穿过BS并撞击移动部分的多角镜。对于PSD1，角度定位误差（ɛZ）和绕Y轴的倾斜运动误差（ɛY）具有较高的灵敏度，与PSD1的其他四个错误相比，它们具有更好的性，并且它们影响PSD1上的光点在X方向上的图像质心坐标的变化，并且分别为Y方向。这种设计可以减少其他四个错误与PSD1的错误串扰。在第二和第三光路（路径2和路径3）中，两个激光束穿过移动部分的圆锥透镜，并且彼此正交。预期角度定位误差，其他5个自由度几何误差将导致路径2和路径3发生变化。图2a–c分别显示了光路的变化，其中X轴和Y轴上有径向运动误差，X轴周围有倾斜误差，而轴向运动有误差。当运动部件随旋转轴移动时，所有6个自由度中的误差将同时引起PSD上光斑位置的变化。换句话说，PSD上的光斑位置包含6个自由度耦合的几何误差。为了高效，准确地分析单个6自由度几何误差与光点位置信息之间的关系。HOMMEL霍梅尔光学机，到苏州雅顿机电试验室内设有多款测量设备，检测准确.盐城代理HOMMEL霍梅尔光学机销售厂
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