FAI微光显微镜提供的另一项技术-Moire Thermal Analysis(温度波纹分析),比其它技术具有较低的热分辨率,是用于背面热像分析的技术(而FMI和Liquid crystal不能达到)。 我们同样很自豪的为客户提供合理的产品解决方案,并不是基于现在在这个行业热门的东西来操作。我们所提供的解决方案旨在解决客户在日复一日,年复一年失效分析中碰到的难题。 FAI为所有类型的客户提供智能解决方案,从简单应用测试到完整的一套测试平台,如探针台,InGaAs探测器,激光诱导,荧光微热成像以及屏蔽黑匣子安装等。 FAI微光显微镜不但具备了漏电的基本检测,它也实现了各种短路的全检测,真正实现了一机多用,比较大限度的帮助客户实现了元件多种失效状态下的分析检测。正规失效定位信赖推荐
EMMI可搭配激光诱导 OBIRCH(光束诱导电阻变化) 光诱导电阻变化(OBIRCH)模式能快速准确的进行IC中元件的短路、布线和通孔互联中的空洞、金属中的硅沉积等缺点。其工作原理是利用激光束在恒定电压下的器件表面进行扫描,激光束部分能量转化为热能,如果金属互联线存在缺点,缺点处温度将无法迅速通过金属线传导散开,这将导致缺点处温度累计升高,并进一步引起金属线电阻以及电流变化,通过变化区域与激光束扫描位置的对应,定位缺点位置。OBIRCH模式具有高分辨能力,其测试精度可达nA级。 PEM(Photo Emission Microscope) 光束诱导电阻变化(OBIRCH)功能与光发射(EMMI)常见集成在一个检测系统,合称PEM(Photo Emission Microscope),两者互为补充,能够很好的应对绝大多数失效模式。原装失效定位高性价比的选择
对于元件的失效分析而言,微光显微镜(Emission Microscope, EMMI)是一种相当有用且效率极高的分析工具。它主要用于侦测IC内部所放出光子。在IC元件中,EHP(Electron Hole Pairs) Recombination会放出光子(Photon)。举例说明:在P-N 结加偏压,此时N阱的电子很容易扩散到P阱,而P的空穴也容易扩散至N然后与P端的空穴(或N端的电子)做 EHP Recombination。 会产生亮点的缺点 - 漏电结(Junction Leakage); 接触毛刺(Contact spiking); (热电子效应)Hot electrons;闩锁效应( Latch-Up);氧化层漏电( Gate oxide defects / Leakage(F-N current));多晶硅晶须(Poly-silicon filaments); 衬底损伤(Substrate damage); (物理损伤)Mechanical damage等。原来就会有的亮点 - Saturated/ Active bipolar transistors; -Saturated MOS/Dynamic CMOS; Forward biased diodes/Reverse;biased diodes(break down) 等。 不会出现亮点的故障 - 欧姆接触;金属互联短路;表面反型层;硅导电通路等。亮点被遮蔽之情况 - Buried Junctions及Leakage sites under metal,这种情况可以采用backside模式,但是只能探测近红外波段的发光,且需要减薄及抛光处理。
针对元件的漏电失效模式,EMMI(微光显微镜)是必不可少的分析工具。器件在设计、生产制造过程中有绝缘缺点,或者经过外界静击穿穿,均会造成器件漏电失效。漏电失效模式的器件在通电状态下,内部形成流动电流,漏电位置的电子会发生迁移,形成电能向光能的转化,即电能以光能的方式释放,通过红外显微镜探测到这些释放出来的红外线,来定位件的漏电位置点。 微光显微镜是元器件分析过程中针对漏电失效模式,必不可少的分析工具。器件在设计、生产制造过程中有绝缘缺点,或者期间经过外界静击穿穿,均会造成器件漏电失效。漏电失效模式的器件在通电得状态下,内部形成流动电流,漏电位置的电子会发生迁移,形成电能向光能的转化,即电能以光能的方式释放,从而形成200nm~1700nm红外线。微光射显微镜主要利用红外线探测器,探测到这些释放出来的红外线,从而准确的定位件的漏电点。
苏州兰博斯特电子科技公司正式成立于2015年4月,位于风景秀丽的金鸡湖畔。 我们致力于引进欧美先进的电子技术、研发分析技术和**测试技术。我们代理和销售电子、半导体、新能源等行业的生产及测试设备,失效分析设备仪器。如:美国MACCOR电池测试仪,**测试仪,EMMI微光显微镜,热阻特性测试仪,激光开封机,化学开封机,机械开封机,桌面型温控仪等。 尤其在新能源测试和失效分析等方面,我们有着专业的销售和技术支持服务团队,相关产品遍布国内各大质量**企业和高等院校以及****、航空、航天等科研院所。 我们为广大客户提供着质量、快捷、专业的测试(ICT,**测试,FCT)、失效分析等解决方案及技术支持!赢得了广大客户的信赖和支持!**失效定位来电咨询
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案例分析: 背景: 器件检测后发现在VDD和ADIO引脚之间大约有2K的泄漏。 分析总结:在核实FAI参数界面的泄漏报告后,此器件通过使用几项分析技术确定原因和缺点状况。下面描述了三种测试技术。 InGaAs:在室温下检测到微小泄漏。获得的数据是热点而不是重组的。 FMI:用波长385纳米的紫外线光源。FAI参数界面提供失效点的完整图片。 SIFT:用1480纳米波长的光源扫描完整芯片,发现失效区域在芯片一角,定位在失效区域进一步扫描发现失效点。 结论:使用FMI, SIFT and Thermal IR明显的确认该部件有一个热的不稳定的短路点。基于FMI结果确定失效点位于表层下接近层金属。正规失效定位信赖推荐
苏州兰博斯特电子科技有限公司致力于仪器仪表,是一家服务型公司。苏州兰博斯特致力于为客户提供良好的电池测试系统,元件失效分析仪器设备,温度控制仪,**代测,一切以用户需求为中心,深受广大客户的欢迎。公司注重以质量为中心,以服务为理念,秉持诚信为本的理念,打造仪器仪表良好品牌。在社会各界的鼎力支持下,持续创新,不断铸造***服务体验,为客户成功提供坚实有力的支持。