西安精密激光干涉仪厂家

激光干涉仪的应用：几何精度检测。可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用激光干涉仪不只能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可比较大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到比较佳精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。用激光干涉仪对数控机床进行定位精度检测。西安精密激光干涉仪厂家

激光干涉仪引力波探测器对光学镜的要求：(1)体积和重量；激光干涉仪引力波探测器的臂长一般为千米量级,由于光束传播过程中的发散,光斑变大。为了避免边缘效应光学镜的直径都比较大,如LIGO镜子的直径是25cm。由于辐射压力噪声与镜子的质量成反比,为了降低这种噪声提高它的灵敏度,镜子的质量一般为20kg左右。(2)热传导及热噪声；当激光干涉仪引力波探测器运行时,臂上法布里-珀罗腔内的激光功率非常强,例如高级LIGO达到800kW以上,因此,镜子要有很好的散热性,而且镜子内部不能有结构上的缺陷。为减小由于局部发热而产生的热噪声和避免镜面的热损伤,镜子材料一般为熔硅。西安精密激光干涉仪厂家随着双频激光干涉仪的出现，具有性能稳定、检测精度高及数据可靠性好等优点。

激光干涉仪有单频的和的两种。单频激光干涉仪：从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。

数控机床设备在维修维保或机床设备大修之后，使用雷尼绍XL-80激光干涉仪来实现线性数控轴直线度、垂直度、平行度、平面度等几何参量的高精度测量，把检测的数据值通过数控系统参数补偿进入数控系统，利用数控系统消除数控轴的正常磨损误差，利用球杆仪检测数控轴联动加工的真圆度，不但可以提高相关联的几个数控轴联动加工的精度等级，还保证了数控轴的精度、延长数控轴的寿命。保证数控机床更高的定位精度、更小的公差及更高的进给率。它是一种精密测量仪器，对数控机床设备进行精度的再校准。雷尼绍激光干涉仪为机床检定提供一种高精度标准，它具备自动线性误差补偿功能，可以方便恢复机床精度。激光干涉仪是一种高精度位移传感器。

随着高精度数控机床行业的快速发展，激光干涉仪在机床行业的使用越来越普遍，然而其在使用过程中对激光光路的准直调整却一直是困扰广大激光干涉仪用户的一大问题，因为激光干涉仪在使用过程中光路准直调整占用了很大一部分时间。目前大多数生产企业的激光干涉仪操作人员的校准方法都是凭经验，来回反复调整，也有人提出“高处动尾部，低处动整体”的方法。其实后一种方法只是对前者的一种方法的经验总结，后一种方法是从整体上把握了调整的方向，可以让操作人员少走弯路，但并未提出一种定量的调整方法，所以在光路大体调整好后，还是靠经验感觉反复进行进一步精调，所以光路准直工作的效率还是亟待提高。激光干涉仪在相关软件的配合下，还可以对数控机床进行动态性能检测。科研开发激光干涉仪安装

激光干涉仪配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、平行度和垂直度等测量工作。西安精密激光干涉仪厂家

激光干涉仪以干涉技术为关键，其光波可直接对米进行定义。采用激光双纵模热稳频技术，可实现高精度、抗干扰能力强、长期稳定性好的激光频率输出；采用高精度环境补偿模块，可实现激光波长和材料的自动补偿；干涉镜与主机分离设计，避免干涉镜受热影响，保证干涉光路稳定可靠。功能广；可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量；可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等；可实现龙门机床双轴同步测量；可实现对机床回转轴的测量与校准。西安精密激光干涉仪厂家