自动化探针台搭配测试机能够对出厂晶圆片的电气参数、光学参数进行测试,根据测试结果评定上一道工序的工艺质量,并指导下一道工序。从全球市场看,半导体探针台设备行业集中度较高,目前主要由国外厂商主导,行业呈现较高垄断的竞争格局。鉴于自动化探针台是光、机、电高度一体化的产品,国内在这一方向研究几乎为零,市场主要被一些国外的大公司垄断。2017年投... 【查看详情】
需要注意的是,光学平台尽管提供了相对稳定的环境,但不能完全阻止来自桌面本身的振动,从而影响桌面上的其他设备。光学元件的形变是系统不稳定的第二大来源。即使将光学平台视作刚体,该刚体的固有振动依然会触发光学调整架的自然振动,导致光路不稳定。为了定量模拟光学调整架在典型实验室环境中可能产生的位移,我们将1英寸调整架固定于6英寸镜柱上,并在光学平... 【查看详情】
随着时间的延续,不规则温度变化会造成渐渐的结构弯曲。减小温度效应的关键在于控制环境减少温度变化。例如,避免在平台下放置散热设备,隔绝热源设备和硬件,如光源、火焰等。良好的热传导性可起到作用,然而,在极端特殊的应用中,选用不随温度变化而改变外形尺寸的特殊材料是必要的。例如超不胀钢,具有极小的热膨胀系数。一米长的超不胀钢在温度变化1K时膨胀长... 【查看详情】
气垫式隔振支架是利用气垫的原理,将光学平台架在气垫上以达到隔振的效果。特点是:隔振效果好。但是造价较高,使用和维护繁琐。针对维护繁琐的情况又出现了自平衡(主动隔振)系统。原理是利用各种传感器提供的平台平衡状况,通过控制系统调节各个隔振支撑的气压来达到平衡的目的。光学平台重要的两个参数是平台本身的平面度与隔振性能。平面度是主要是由材料、加工... 【查看详情】
挠度是指结构构件的轴线或中面由于弯曲引起垂直于轴线或中面方向的线位移。对于细长物体或薄物体,挠度是在受力后弯曲变形程度的度量。细长物体(如梁或柱)的挠度是指在变形时其轴线上各点在该点处轴线法平面内的位移量。薄板或薄壳的挠度是指中面上各点在该点处中面法线上的位移量。通俗地讲,挠度就是构件的竖向变形。挠度系数同刚性系数、抗拉强度、杨氏弹性模量... 【查看详情】
简单的光学平台保养说明书?1.光学玻璃防雨罩使用时应每年检查周围空气、温度、湿度,及时补充;2.材料缺陷和老化是平面显微镜对运动目标的光学缺陷检测很大的困难之一,受压力改变形状引起窗口模板反应灵敏变形和关断的迟钝及其他其他缺陷;3.硬质打磨主要是为了更加精细的修整和使用方便,但过大的打磨力会破坏平面显微镜,因为平面显微镜的刚度需要很高;4... 【查看详情】
精密光学平台的桌腿中装有气动单元,它与平台的材料及设计相结合可以减少环境中的物体(例如人员走动、建筑物内其它设备以及行驶的汽车等)造成的大幅度低频振动。这些外部力会使平台发生刚体运动,这种运动本质上是2维的并且对大多数光学实验不会造成影响。在千赫兹频段的高频振动也不会明显地影响平台的稳定性。然而,造成精密光学平台表面弯曲的中频共振及弯曲振... 【查看详情】
优良平台和面包板应具有全钢结构,包括厚5毫米的顶板和底板,以及厚0.25毫米的精密加工的焊接钢制蜂窝芯。蜂窝芯通过精确的压膜工具制成,通过焊接平垫片保证其几何间距。平台和面包板中的蜂窝芯结构从顶板一直延伸到底板,中间无过渡层,从而构成更加坚固、热稳定性更强的平台产品。热稳定性的关键之处在于各轴方向上都具有对称、各向均匀的钢制结构。钢制部件... 【查看详情】
对于平台上的光学元件来说,平面度引起的高度差,通常可以忽略不计,若确有必要考虑高度差,则完全可以通过卓立精密调整的位移台来实现。综上所述,光学平台的平面度,同光学平台的隔振性能不相关,只能做为光学平台的一个辅助指标,供参考。振动物体离开平衡位置的大距离叫振动的振幅。振幅在数值上等于大位移的大小。对于光学平台系统,台面受外力作用时,离开平衡... 【查看详情】