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硅片切割加工过程中为了降低机械应力、热应力，保障线切割过程成为稳定的过程，需要加入大量的切割液，在加工过程中会产生大量的副产物。这种副产物的主要成分为大量有机物（即切割液的主要成分：乙二醇、多乙二醇、乙二醇单甲醚、表面活性剂的混合液），以及在使用该切割液时添加在其中的碳化硅（该碳化硅用作切割液的磨料），和在切割过程中产生的多晶硅（或单晶硅）颗粒。硅片切割加工副产物若处理不当，不仅会产生严重的环境污染，而且浪费了大量的资源。随着国家节能降耗，保护环境政策的实施，从硅片切割加工副产物中回收经济价值较高的碳化硅，可回用于硅片的切割加工过程，也可以用于商品碳化硅使用场合。

    FZ硅主要用于高压大功率可控整流器件领域，在大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品的芯片中普遍采用。当前FZ硅片直径可控制在3~6英寸之间。外延硅片主要用于晶体管和集成电路领域，如逻辑电路一般使用价格较高的外延片，因其在集成电路制造中有更好的适用性，并具有消除闩锁效应的能力。当前外延片的直径在3~12英寸之间。实际生产中是从成本和性能两方面考虑新用硅片的生产方法和规格的，当前仍是直拉法单晶硅材料应用**为***。硅片利用介绍硅片再利用是一种从废物中分离出来的有用物质经过物理或机械加工成为再利用的制品。如废玻璃、废金属、硅片，废电池片的回收再利用指以将再次生产的方式。硅片如何利用硅片如何利用流程具体介绍如下：切片：将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅片。此过程中产生的硅粉采用水淋，产生废水和硅渣都可以利用。退火：双工位热氧化炉经氮气吹扫后，用红外加热至300~500℃，硅片表面和氧气发生反应的材料，使硅片技术表面形成二氧化硅再次生产。倒角：将退火的硅片进行修整成圆弧形，防止硅片边缘破裂及晶格缺陷产生，增加磊晶层及光阻层的平坦度。此过程中产生的硅片废水和硅渣。 使得太阳能的利用率较低。

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