杭州铝合金气体管道设计要求

实验室气体管道安全性，气体管道应使用耐腐蚀、耐压、无泄漏的材质。设计中应考虑防火、防爆措施，尤其是对于易燃、易爆气体。应有可靠的泄漏检测系统和应急预案，确保在气体泄漏时能够迅速采取措施。所有管道应清晰标识，包括气体名称、流向标记和安全警示。实验室气体管道功能性要求，管道设计应满足气体使用的流量和压力要求，保证实验过程中供气的稳定性。对于特殊气体，如高纯气体，管道内部应保持高度清洁，防止污染。应有适当的过滤和净化系统，以除去气体中的杂质和水分。氢气、氧气管道的末端和较高点宜设放空管。杭州铝合金气体管道设计要求

气路的布线：1.气瓶间内压力调节面板与实验室内的气路终端之间选用SS316LBA管进行连接，管道内表面光洁度为Ra<0.4umBA级管道。2.4N氮气主管线采用OD3/8”（6.35mm）的管道，0.5Mpa压力下的流量可达8M3/小时，完全满足常规用气需求，支线采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。3.5N氮气、氦气、预留气主管线采用OD1/4”（6.35mm）的管道，支线采用OD1/4”（6.35mm）的管道。用焊接三通分出支路来对设备进行供气。实验室气体管道设计要求严格，需要考虑多个因素，确保供应的气体能够满足实验室内不同设备和实验的需求。以下是实验室气体管道设计的一些基本要求。常州气体管道设计安装氢气管道与其它可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m。

近20年来，随着更复杂、更密集的大规模和超大规模集成电路的生产，对高纯气体洁净度的要求，已不亚于对纯度和干燥度的要求，凡工艺气体，无一不对其中的粒子提出限制。因此，对于高纯气体，纯度、干燥度、洁净度是三项重要的标度。由于高纯度气体的使用地点、性质、工况（如温度、压力等）都不完全一致，所以，如何确定高纯气体的“三度”（纯度、干燥度、洁净度），还没有一个严格而明确的概念。 对于纯度和干燥度的控制，我国CBJ73—84《洁净厂房设计规范》中指出，“高纯气体系指纯度大于或等于99.9995%，含水量小于5ppm气体。”

气瓶间布局，1.由于存放的气体由于有可燃性气体和助燃气体，按国家规定必须分库存放。分别放入不同的气瓶间内。2.气瓶间内设立一次调压面板，其中二托一面板带吹扫铜镀铬面板4套。3.压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。4.所有面板均配备吹扫阀，可实现对面板的清洗置换。5.压力调节器及相关管件均需牢固的固定在压力调节面板上，面板应设计的紧凑而合理，以尽量减少系统中的死体积。6.压力调节面板应采用全不锈钢材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全性。7.排空气路应分类收集、固定牢固并排放至室外安全地点。管道系统应有维护保养的方便性，包括检修口、阀门的可访问性和更换部件的便捷性。

外购气体供气，由集中制气工厂制取的液态气体由低温液态气体贮罐槽车运送至用气工厂，再使用工厂设置低温液态气体贮罐，将液态气体槽车中的液态气体抽送入液态气体贮罐贮存，根据工厂用气量，液态气体由贮罐送出经汽化器化为气体后，经由调压器组调压并经气体过滤器送去使用车间，若气体纯度或杂质含量不能满足使用要求，则需要再在车间内设置末端提纯装置，对气体进行提纯并去除杂质，同时为满足不同需求，还应在工厂使用车间末端或在车间内集中设置不同过滤精度的气体过滤器，示意图如下：根据用气设备的分布情况吗，高纯气体的管网大小长短应适宜，不宜过大或过长。江苏矿用气体管道设计精选厂家

应有适当的过滤和净化系统，以除去气体中的杂质和水分。杭州铝合金气体管道设计要求

高纯气体管路设计要点：01输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备临近处设末端气体提纯装置。02采样仪器及“采样口”，为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置必要的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。03确保气体纯度，在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了确保末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端高精度气体过滤器。杭州铝合金气体管道设计要求