用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。上海正规四氟化碳销售价格
四氟化碳有以下用途:用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体,用于低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂;是微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体,四氟甲烷高纯气及四氟甲烷高纯气、高纯氧的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检验、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用;用作低温制冷剂及集成电路的等离子干法蚀刻技术。 直销四氟化碳价格走势以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。
随着半导体等现代行业的快速发展,四氟化碳由于其稳定的化学性质而被广泛应用,由于能够强烈的吸收红外辐射和极高的稳定性,使得四氟化碳成为一种全球变暖潜力值和生命周期极高的温室气体。具有低能耗和高效率的等离子体处理法被广泛应用于四氟化碳分解中,表面波等离子体的大面积、无极放电、放电容器形状多样等优点使其成为处理四氟化碳的良好方法。设计了一套大面积表面波等离子体反应器,在低气压下激发等离子体用于处理四氟化碳,考察了微波功率、气体流量、氧气比例等影响因素对分解率的影响。
质量指标纯度(%)≥99.99水份(PPm)≤10酸度(PPm)≤0.3蒸发残留物(PPm)≤100%物理性质分子量88.0沸点(1atm),℃-128临界温度,℃-45.67临界压力,kPa3740饱和蒸气压(25℃),kPa3650(-45.6℃)汽化热/蒸发潜热(沸点下,1atm),kJ/kg-破坏臭氧潜能值(ODP)0全球变暖潜能值(GWP,100yr)5700ASHRAE安全级别A1(无毒不可燃)化学性质相对分子量88.00。在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的易压缩性气体,挥发性较高,是**稳定的有机化合物之一,不易溶于水。在900℃时,不与铜、镍、钨、钼反应,*在碳弧温度下缓慢分解,微溶于水,在25℃及0.1Mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。与可燃性气体一起燃烧时,发生分解,产生的氧化物。
四氟化碳亦称全氟化碳、四氟甲烷、全氟化碳,为非腐蚀性气体,所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜,铝等金属材料都可以使用,但是含镁大于2%的合金不能用。在高温,一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下:因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。四氟化碳一般认为是惰性低毒物质,在高浓度下是窒息剂,其毒性不及四氯化碳。四氟化碳的溶氧性很好,因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。 性状:无色无味气体 2.熔点(℃):-183.6 3.沸点(℃):-127.8。镇江口碑好四氟化碳
四氟化碳不与铜、镍、钨、钼反应。上海正规四氟化碳销售价格
吸入四氟化碳的后果与浓度有关,包括头疼、恶心、头昏眼花及心血管系统的破坏(主要是心脏)。长时间接触会导致严重的心脏破坏。四氟化碳的密度比较高,可以塡满地面空间范围,在不通风的地方会导致窒息。在使用四氟化碳的同时,也要注意使用四氟化碳的注意事项,如在泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。上海正规四氟化碳销售价格