企业商机
四氟化碳基本参数
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  • 上海
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四氟化碳企业商机

四氟化碳,又称为四氟甲烷。它既可以被视为一种卤代烃、卤代甲烷、全氟化碳,也可以被视为一种无机化合物。所以在电子行业中制作线路板蚀刻过程中,需要使用四氟化碳。在蚀刻过程中,用四氟化碳将多余的铜皮腐蚀掉,附有油墨的电路上铜皮得以保留,之后再用四氟化碳进行清洗电路上的油墨再烘干,等工艺。在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于化学稳定性极强,CF4还可以用于金属冶炼和塑料行业等。

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四氟化碳和氧气瓶在高溫下不反映,四氟化碳是现阶段电子光学制造业中使用量较大的低温等离子蚀刻工艺汽体,其高纯度气及四氟化碳高纯度气配高纯氧气的混合体,可市场应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨塑料薄膜原材料的蚀刻工艺。针对硅和二氧化硅管理体系,选用CF4-H2反映正离子刻蚀时,根据调整二种汽体的占比,能够得到45:1的可选择性,这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅塑料薄膜时很有效。不良影响简述危险因素类型:GB2.2类不燃气体入侵方式:吸进身心健康伤害:吸进高浓的四氟化碳出現呼吸不畅、呕吐等室息病症。南通优良四氟化碳销售价格四氟化碳没有腐蚀性。

经过现场测试和**评审,**组认为,黎明院生产的高纯四氟化碳和六氟化硫产品满足国家重大专项/课题任务书研究内容和考核指标规定的技术要求。项目的验收完成,标志着黎明院开发的高纯度含氟电子气体四氟化碳和六氟化硫产品,能够满足极大规模集成电路行业所需的高纯度气体需求,也标志着极大规模集成电路行业用高纯度四氟化碳和六氟化硫电子气体实现了国产化。‘高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试’子项目,通过了国家重大专项项目组的现场测试与评审。相关产品已提交客户使用,市场应用效果良好。”

电子气体的技术壁垒极高,的技术是气体提纯技术。此外超高纯气体的包装和储运也是一大难题。在半导体制造中,电子气体纯度每提升一个数量级,都会促进器件性能的有效提升。

为了得到超高纯气体,气体制造需要进行以下几个步骤:气体分离:气体的分离方法有精馏法、吸附法和膜分离法。精馏法是应用的方法,可分为连续精馏法和间歇精馏法。连续精馏法操作时原料液连续地加入精馏塔内,再沸器取出部分液体作为塔底产品;间歇精馏法原料液一次加入精馏釜中,因而间歇精馏塔只有精馏段而无提馏段。气体提纯:气体制造通常是先将气体进行粗分离,再通过气体提纯技术来提高其纯度。气体提纯技术主要有化学反应法、选择吸附法、低温精馏法和薄膜扩散法等。气体纯度检验:得到提纯后的气体,需对气体进行检测来验证其纯度。随着电子气体纯度越来越高,纯度检验也越来越重要。气体中杂质含量检测从10-6(ppm)级、到10-9(ppb)级甚至10-12(ppt)级。气体的充装与运输:超高纯气体对充装和运输都有特别的要求,要求使用特殊的储运容器、特殊的气体管道及阀门接口等,避免二次污染。 四氟化碳的化学性质稳定,在通常情况下,它与硅直接接触,也不会发生化学反应。

关于呼吸液体的研究早在20世纪初就开始了,但一直到上世纪40年代的“曼哈顿项目”期间、人们合成了四氟化碳之后,相关研究才开始快速发展。科学家当时正在寻找能够承受铀化合物辐射的物质,结果无意中发现了四氟化碳。这种物质*由碳和铀构成,不易发生化学反应,无色无味,也不会对人体造成明显伤害,更重要的是,气体在其中的溶解度极高,能够吸收的氧气和二氧化碳比血液还要多。这令科学家想到,动物能否在四氟化碳中呼吸呢?在探索这种可能性的早期实验中,研究人员将小鼠和猫浸没在四氟化碳中,结果发现它们能顺利存活数周之久。


四氟化碳是目前微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体。南京原装四氟化碳价格走势

四氟化碳可用于金属冶炼。直销四氟化碳价格走势

电子气体是集成电路、平板显示、分立器件、光伏、光纤等电子工业生产不可或缺的重要原材料。电子气体种类众多,在半导体制造中,广泛应用作保护气体、载气以及用于外延、扩散、掺杂、蚀刻、CVD、清洗等工艺当中。

中国产业发展早期,在技术、工艺、设备等各方面与全球**企业存在较大差距。在电子气体领域,空气化工、林德-普莱克斯、液化空气、大阳日酸等国际气体公司占据着中国绝大部分电子气体市场。国内本土气体企业的市场份额不到20%。 直销四氟化碳价格走势

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