企业商机
四氟化碳基本参数
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  • 上海
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四氟化碳企业商机

作为关键性原材料,特种电子气体的产品质量对下游产业影响很大,例如对晶圆加工生产商而言,若生产用的气体产品发生质量问题,将导致整条生产线产品报废,造成巨额损失。因此,精密化程度非常高的大规模集成电路厂商对气体供应商的选择都会非常审慎和严格。国内外企业市场份额占比悬殊的主要缘由之一便是难以在短期内弥补的技术差距。特种电子气体生产是一个系统工程,涉及到气体的深度提纯技术、痕量杂质分析检测技术、气瓶的内表面处理技术、尾气的处理技术等。


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四氟化碳是目前微电子工业中用量比较大的等离子蚀刻气体,也可以广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,铝合金门窗制造、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。同时,由于四氟化碳的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、聚氨基甲酸乙酯。

      华东优良四氟化碳价格便宜常温常压下比较稳定,但是需要避免接触强氧化剂、易燃或可燃物。

对于混合气而言,配比的精度是参数,随着产品组分的增加、配制精度的上升,客户常要求气体供应商能够对多种ppm(partpermillion,百万分之)乃至ppb(partperbillion,十亿分之)级浓度的气体组分进行精细操作,其配制过程的难度与复杂程度也增大。此外,气瓶处理、气体分析检测、气体配送等环节亦对生产企业提出了较高的技术要求作为关键性材料,特种气体的产品质量对下游产业的正常生产影响巨大。如果晶圆加工环节所使用的气体发生质量问题,将导致整条生产线产品报废,造成巨额损失

    四氟化碳的合成方法:由碳与氟反应,或一氧化碳与氟反应,或碳化硅与氟反应,或氟石与石油焦在电炉里反应,或二氟二氯甲烷与氟化氢反应,或四氯化碳与氟化银反应,或四氯化碳与氟化氢反应,都能生成四氟化碳。四氯化碳与氟化氢的反应在填有氢氧化铬的高温镍管中进行,反应后的气体经水洗、碱洗除去酸性气体,再通过冷冻,用硅胶除去气体中的水分,经精馏而得成品;预先称取5~10g的碳化硅粉末和,置于镍盘中,使硅和碳化硅充分接触后,将镍盘放入蒙乃尔合金反应管中,向反应管内通入氟气,氟气先和单质硅反应,反应放热后,氟开始和碳化硅进行反应,通入等体积的干燥氮气以稀释氟气,使反应继续进行,生成气体通过液氮冷却的镍制捕集器冷凝,然后慢慢地气化后,将其通过装有氢氧化钠溶液的洗气瓶除去四氟化硅,随后通过硅胶和五氧化二磷干燥塔得到产品;以活性炭与氟为原料经氟化反应制备。在装有活性炭的反应炉中,缓缓通入高浓氟气,并通过加热器加热、供氟速率和反应炉冷却控制反应温度。产品经除尘,碱洗除去HF、CoF2、SiF4、CO2等杂质、再经脱水可获得含量约为85%的粗品。将粗品引入低温精馏釜中进行间歇粗馏,通过控制精馏温度,除去O2、N2、H2,得到高纯CF4。 所以在电子行业中制作线路板蚀刻过程中,需要使用四氟化碳。

关于呼吸液体的研究早在20世纪初就开始了,但一直到上世纪40年代的“曼哈顿项目”期间、人们合成了四氟化碳之后,相关研究才开始快速发展。科学家当时正在寻找能够承受铀化合物辐射的物质,结果无意中发现了四氟化碳。这种物质*由碳和铀构成,不易发生化学反应,无色无味,也不会对人体造成明显伤害,更重要的是,气体在其中的溶解度极高,能够吸收的氧气和二氧化碳比血液还要多。这令科学家想到,动物能否在四氟化碳中呼吸呢?在探索这种可能性的早期实验中,研究人员将小鼠和猫浸没在四氟化碳中,结果发现它们能顺利存活数周之久。


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