LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度，频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上，与标准AVI/LP系统结合使用在前馈回路中，以提高极低频时的隔振性能。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。下面的图显示了在AVI/LP系统上测量的垂直和水平隔离（可传输性），其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP进行测量，增益设置为128（V）和150（H）。输入电压：115/230VAC，50-60Hz功耗：蕞大20瓦频率范围：0.2-20Hz尺寸传感器：255x245x107mm（长x宽x高）电源尺寸：265x155x73mm（长x宽x高）重量传感器：5.9kg供电重量：1.6kg应用：室内防护等级：IP20温度范围：5°C-40°C相对湿度：10–90%（5–30°C）AVI系列可以在非常宽的频率范围内为激光干涉计、微检测设备等提供极好的隔振效果。隔离振动隔振台技术支持
AVI-400系列（负载：蕞多800kg）型号：AVI-400SLP，AVI-400MLP，AVI-400XLP系统形状：控制器与防振单元分离型主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接，前面的8个LED指示防振状态尺寸：190×396×190×720×220×856×控制器尺寸：241×287×142毫米承重*800kg单位重量：约13kg；约19公斤，联络我们电源电压：95-240VAC，50-60赫兹耗电量：通常为18W工作温度范围：5℃〜40℃工作湿度范围10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。SEM隔振台售后服务TS-140结合了久经考验的技术***性与优雅且对用户友好的设计。
TS-150安全守则只能将系统插入具有单独接地的插座。不要断开此连接通过插座或使用不接地的延长线接地。在打开本设备之前，请确保已将其连接到正确的电源电压。请勿卸下任何盖子或让任何金属物体进入设备的任何开口。请勿拆卸或尝试维修系统。这可能会导致电击或损坏到系统。卸下任何主机盖之前，请先断开电源。请把维修交给合格的人员。请勿在有BZ危险的环境中使用。请勿在顶板上钻任何孔。这会损坏系统。如果您怀疑系统有任何不安全之处，请拔下电源插头并防止可能发生的意外事故用法。请与您蕞近的服务中心联系。
AVI400-SAVI400-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元，最大负载为800公斤。通过增加紧凑型模块的数量，可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-S适应用户特定的应用，可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI400-S的隔离始于1,2Hz，超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI400-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI400-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI400-S紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单，友好的概念-因此，在装置上放置沉重的设备（例如SEM）时，避免了任何复杂的过程。技术指标：频率：1,2-200Hz负载范围：0-800公斤（单个）：400公斤Herz授权岱美仪器代理其生产的隔振台含AVI和TS系列。
水平X轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，蕞大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。水平Y轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，蕞大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。如果想要了解更多信息请联系我们岱美仪器。或者访问我们的官网。安装好后参数不需要调整。光刻机隔振台应用
必须改善测量环境，以发挥仪器的极大效能，达到比较好成果。隔离振动隔振台技术支持
AVI-产品参数：AVI-200系列（负载：蕞多800kg）型号：AVI-200SLP，AVI-200MLP，AVI-200XLP系统形状：控制器与防振单元分离型主动控制范围：被动隔振范围200Hz以上确认防振状态：使用控制器背面的BNC连接器，外部连接前面的8个LED指示防振状态尺寸：120×396×130×636×130×856×控制器尺寸：241×287×142毫米承重：400kg单位重量：约9kg联络我们电源电压：95-240VAC50-60赫兹耗电量：普通9W工作温度范围：5℃〜40℃工作湿度范围：10〜90％（5〜30℃）・10〜60％（30〜40℃）可选零件（1）装载板，石板，铸铁板*另行咨询选装（2）高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询。隔离振动隔振台技术支持
