使用说明书
解锁系统后，将设备放置在平坦且坚固的桌子上或地下。
调整负载补偿:
将负载放在**上面，并使用以下三个调整负载补偿侧面的车轮到外壳和顶板之间的距离为2mm。
沿+方向旋转轮子以增加负载补偿方向旋转车轮以减少负载补偿
按下并检查每个角是否有约0.5mm的自由移动。轻轻地上下拉顶板！
更改负载后，检查每个角是否自由移动！
将电源插头连接到背面的输入电源插座。
按下背面的电源按钮打开设备“ POWER” LED将点亮，而“ ACTIVE” LED开始闪烁。
大约30秒钟后，“活动” LED将保持点亮状态，并且系统现在可以使用了。
您可以通过按“启用”按钮来打开和关闭活动隔离。
AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。AVI-400MLP隔振台推荐厂家
水平X轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
水平Y轴方向上的振动传递衰减，在承重时10hz的频率以上时，比较大可以达到-40dB的衰减。隔振效率可以达到99%以上的效果。10Hz以上的频率正常情况下是30dB到40dB的衰减。
AVI系列产品在振动加速度上的隔振效果。
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台阶仪隔振台干扰仪防震台应用所有范围内为±5％。控制单元必须与相应的测量头一起使用！
使用AVI系统时，系统只能插入单独接地的插座。无论是在插座处，还是使用未接地的延长电缆，都不要断开此接地。如果您怀疑系统以任何方式不安全，请拔下插头并防止任何可能的意外使用。联系**近的服务中心。在打开此设备之前，请确保它连接到正确的电源电压。不要取下任何盖子或让任何金属物体进入通风槽。在取下任何盖子之前，断开电源。请向合格人员咨询服务。不要在可能的环境中使用。保险丝位于控制单元后侧的电源插座中。未先拔下电源线，不要试图更换保险丝。只能更换类型正确的保险丝。不要试图绕过保险丝。确保控制单元中的通风缝没有被覆盖，并且空气可以自由循环。堵塞狭缝可能导致过热，从而引发火灾。对于控制单元和隔离元件之间的连接，*使用提供的D-Sub 15电缆（m/f）。
支撑面测试
在系统运行时，推动支撑表面。 灯不亮，除了可能会大力推动。 如果可以轻松使灯点亮，则支撑表面刚度不足以获得充分的性能。 确定支撑表面是否起反应对水平或垂直力施加更大的作用，并尝试适当地使结构变硬。请注意，该系统将在任何支撑表面上运行，但会产生共振的柔软结构放大某些建筑物的振动频率，因此这些振动频率会降低隔离的。
桌面选择
桌面必须足够坚硬，以防止两个隔离单元相对旋转他们的长横轴。 蜂窝面包板或30mm厚的铝板会产生比较好的结果，但是可以使用石板甚至是实心木板。 对于的位置固定孔，请参阅本文档末尾的钻孔计划。注意，也可以将隔离单元直接连接到支持的设备上。 在这坚固的安装是***必要的。 我们很乐意为您提供比较好安装建议方法。
Table Stable生产的主动式微振动控制系统AVI是一款多功能的主动式防振系统，具有**的防振单元和控制器。
1、使用2 mm内六角扳手（包括在内）拆下模块端板。
2、根据扫描电镜的重量调整模块。
在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙，允许每侧大约有2mm的行程。
B、使用M6活动扳手（包括）转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙（在**止动螺母和横撑之间）。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。
C、计算每个螺母的圈数；尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。
D、不要转动螺母太远，否则可能损坏系统。在任何情况下，外露螺纹不得超过10mm
3.装回模块上的端板 LFS-3性能使用测振仪的H-1档并有50公斤的重量下测试的。光刻机隔振台应用
Table Stable通过在发展主动隔振系统的同时补充了被动系统。AVI-400MLP隔振台推荐厂家
AVI主动隔震台
AVI应用于扫描电镜
1、如有可能，拆下扫描电镜柱的侧板。
2、使用扫描电镜找平脚将立柱抬离地面至少6“。如有必要，在水平尺下放置木块以增加高度。
3、拆下主销后倾角和主销后倾角螺栓（如有必要）。
4、将***个铝制安装板放在扫描电镜下的地面上。前后各27.5英寸，左右各27英寸。用水平仪确保盘子坐平。按下所有角落，确保其与地面齐平。如果不水平或不齐平，则使用垫片确保水平，并在各侧均匀地放置在地面上。
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岱美仪器技术服务（上海）有限公司是一家磁记录、半导体、光通讯生产及测试仪器的批发、进出口、佣金代理（拍卖除外）及其相关配套服务，国际贸易、转口贸易，商务信息咨询服务 的公司，是一家集研发、设计、生产和销售为一体的专业化公司。岱美中国深耕行业多年，始终以客户的需求为向导，为客户提供***的半导体工艺设备，半导体测量设备，光刻机 键合机，膜厚测量仪。岱美中国始终以本分踏实的精神和必胜的信念，影响并带动团队取得成功。岱美中国始终关注仪器仪表行业。满足市场需求，提高产品价值，是我们前行的力量。
