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可在光学近场尺度范围内直接写入表面特征。从这些纳米尺寸孔径射出的光会严重发散高达几十纳米，因此必须精确控制掩模和基板之间的间隙，使其维持在几十纳米之内，这对于确保工艺性能至关重要。图4：近场扫描光刻设备图5：带蝴蝶结形孔的NSOL掩模（底视图）通过用激光依次扫过每个孔，可以直接在基板上构建图像。多轴压电平台用于相对于掩模定位基板。这些平台的位置编码器反馈需要保持在亚纳米级分辨率范围内，因此激光干涉仪型系统更适合进行更精细的调整。传统的高性能光栅可以用于粗调直线电机平台的换向。高精度运动平台的重要性光掩模运动平台是光刻设备的**技术之一，这些先进的运动平台使用包括音圈电机(VCM)在内的多种不同类型的电机执行粗略(>100mm)运动控制和更精细(<2mm)的运动控制。运动命令模式通常是“加速—匀速—减速”类型。典型的掩模平台通常具有六个自由度，要用到多根需要高精度位置反馈的驱动轴。高分辨率、高速度和低延迟的位置编码器是动态平台定位的关键，因为它们可以尽可能增加带宽并降低不稳定性。在这些应用中，编码器的选择至关重要。编码器的周期误差低，则对伺服回路的输入负载干扰较小，从而实现更精细的速度控制。盐城质量雷尼绍测针系列测针RENISHAW 雷尼绍苏州雅顿机电科技有限公司江苏.
他们设计出一款完美适合我们的ILM25和ILM38电机尺寸的传感器，从而为框架式空心轴电机和无框伺服套件提供了一个完整的驱动解决方案。他们完美地满足了我们的要求。——TQ-RoboDrive（德国）背景▼▼RLS，它与德国TQ-RoboDrive公司（TQ集团的下属企业之一）有多年的密切合作伙伴关系。TQ-RoboDrive生产多种用于协作机器人的无框空心轴定子-转子套件（ILM系列），有效载荷高达20kg。还生产各种框架式空心轴和实心轴伺服电机，这些电机结合了TQ-RoboDrive无框伺服套件的***电机设计与空间优化的外壳。RLS向TQ-RoboDrive提供AksIM™***式离轴（空心轴）磁编码器，以及OnAxis™磁编码器。同雷尼绍联手，RLS成功调整AksIM™编码器满足了TQ-RoboDrive更加严苛的尺寸和性能要求，助力其打造先进的协作机器人。展示的TQ-RoboDrive无框伺服套件解决方案挑战▼▼TQ-RoboDrive电机重量轻、扭矩大，这种特性在外骨骼机器人和协作机器人应用中非常重要。正是高扭矩、重量轻（即高转矩密度）的优点使TQ-RoboDrive电机系统从众多其他电机制造商的产品中脱颖而出。TQ-RoboDrive公司工业驱动产品部负责人UlrichKerber解释说：“我们一直在思考未来机器人技术将如何发展。
XK10可以安装在直线导轨上，确保导轨的直线度、垂直度、平面度和机器调平，以及评估机器旋转部件的主轴方向和同轴度。借助XK10的实时显示功能，用户在机器装配过程中便可对这些误差进行测量和校直。XK10还是一款功能强大的诊断工具，用于在发生碰撞后或者对机器进行定期维护期间识别误差源。除了XK10激光校准仪外，雷尼绍的XM-60激光测量系统也备受关注，他只需一次设定即可沿线性轴同时测量6个自由度的误差，同时它也具有强大的诊断工具，通过一次采集就可以测量轴的所有几何误差。生产车间自动制程控制展区零部件在机床加工完成后，如何才能有效监控所有机床在生产时保持一致的准确度及稳定度？雷尼绍Equator™比对仪正是将机外精密测量带到制造车间的合适方案。Equator比对仪通过在车间现场提供高重复性、无温度要求、多用途并且可重新编程的比对测量方案，实现智能化制程控制。借助雷尼绍推出的智能化制程控制软件，用户可以通过任意一台Equator比对仪直接对数控机床执行自动制程控制和刀补修正。Equator比对仪可配置在车削和加工中心旁边，随生产过程同步提供高精度的尺寸检测数据，帮助制造企业提高生产线的产量和制程能力。测针RENISHAW 雷尼绍苏州雅顿机电科技有限公司提供.
CobraAero，位于美国密歇根州工程技术领域的跨国公司雷尼绍与位于美国密歇根州的发动机制造公司CobraAero合作，双方联手优化了飞机和摩托车发动机的设计流程。与雷尼绍一起合作开发了创新制造流程之后，CobraAero投资购入了AM400系统，以增强自身的增材制造(AM)能力。CobraAero的增材制造零件测试设施为优化发动机气缸设计，CobraAero向雷尼绍寻求增材制造专业技术支持。CobraAero访问了雷尼绍在美国的增材制造解决方案中心，并且与雷尼绍的工程师一起采用增材制造技术优化了无人机(UAV)的气缸设计。借助增材制造技术，CobraAero不仅设计出一种网状结构以增加空气流量，而且制成一个一体式轻量化零件。“掌握**的制造工艺对于CobraAero非常重要，”CobraAero总裁SeanHilbert表示。“投资购入增材制造系统后，我们针对许多高价值、小批量应用开发了多种工具和新型产品，不仅加快了制程，而且能够将传统切削式加工技术无法实现的设计制成实物。”Hilbert先生继续说道：“鉴于气缸对于发动机的重要性，我们决定重新设计气缸。由于气缸的设计变更必须快速，而且它是一个高价值零件，因此我们决定采用增材制造技术制造气缸。气缸性能改进将进而提高发动机的整体性能。苏州雅顿测针RENISHAW 雷尼绍苏州.南京原装雷尼绍测针系列
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StankoMachComplex是一家成功的机床制造商，随着该公司的机床产品种类日益丰富，其市场需求也迅速增长，而严格的产品测试工艺却形成了生产瓶颈。这家机床制造商不仅要提升测试效率，同时也要提高精密测量的精度。-挑战-▼StankoMachComplex在市场上的成功源于其生产实力。在20年的时间里，该公司生产了4,000多台车床和铣床。在这期间，随着需求增长，产量提高，以及机床产品范围迅速扩大，公司严格的精密测试工艺面临的压力越来越大。公司服务部主管Korobeynikov先生说：“**开始，*测量一台机床的定位精度就可能需要花费5-7小时。时间长了，肯定会对我们的生产效率造成不利影响。为了保证机床的质量和精度，我们必须找到更现代、精度更高的测量设备来帮助我们提高测试效率。”-解决方案-▼“为了给机床厂采购新的测量系统，我们进行了深入的市场调查。我们很快发现，许多国际**的机床制造商都在使用雷尼绍校准解决方案。显而易见，这是一个久经检验的解决方案，可为公司检测工艺带来重大变革。”Korobeynikov先生说。StankoMachComplex与雷尼绍合作的第一阶段是采购了QC20-W球杆仪和XL-80激光干涉仪。XL-80系统用于检查机床的移动此精度，在每个轴上分别进行测试。宿迁销售雷尼绍测针方案设计
