光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位,其成本约占IC制造工艺的20-30%,光刻胶去胶效果太弱影响生产效率,去胶效果太强容易造成基底损伤,影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶,成本低效率高,但随着技术不断选代更新,越来越多IC制造商开始采用干法式去胶,干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺,它不需要浸泡化学溶剂,也不用烘干,去胶过程更容易控制,避免过多算上基底,提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶,其原理同等离子清洗类似,主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶,由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通过泵被真空抽走,完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的,主要的气体为氧气、氩气等,通过射频产生氧离子,轰击清洗物件,以获得表面光滑的较大化,并且结果是亲水性增大。常温等离子表面处理机能够用于材料的表面清洗、活化、改性等工艺中,处理金属、陶瓷、塑料等类型的材料。重庆半导体封装等离子清洗机售后服务
Plasma封装等离子清洗机,顾名思义,其主要在于利用等离子体(Plasma)这一高能态物质对材料表面进行深度清洁与改性。在真空环境下,通过高频电场激发工艺气体,使其电离形成等离子体。这些等离子体中的高能粒子、自由基等活性物质,能够迅速与材料表面的污染物发生反应,将其分解为挥发性物质并被真空泵抽走,从而实现表面的深度清洁。同时,等离子体还能与材料表面分子发生化学反应,引入新的官能团,实现表面改性。相比传统清洗方法,Plasma封装等离子清洗机具有无需化学溶剂、无废水排放、环保节能、处理速度快、效果明显等优势。江西国产等离子清洗机联系方式射频等离子清洗机以其高效、环保清洗的特点,成为了半导体、微电子、航空航天等行业的关键设备。
等离子清洗机应用领域1.汽车行业:点火线圈骨架表面活化、汽车门窗密封件的处理、控制面板在粘合前处理、内饰皮革包裹、内饰植绒前处理等等;2.医疗行业:培养皿表面活化、医疗导管粘接前处理、输液器粘接前的处理、酶标板的表面活化等等;3.新能源行业:新能源电池电芯的表面处理、电池蓝膜的表面处理、电池表面粘接前的处理等等;4.电子行业:芯片表面处理、封装前的预处理、各类电子器件粘接前处理、支架及基板的表面处理等等;等离子清洗机设计的行业非常的大,在用户遇到,表面粘接力、亲水性、印刷困难、涂覆不均匀等等问题,都可以尝试等离子清洗机的表面处理,通过表面活化、改性的方式解决问题。
复合材料边框的耐腐蚀能力较差,容易导致边框在长期使用过程中发生断裂或变形,影响光伏组件的整体结构稳定性和使用寿命。为了有效解决这一问题,可以使用等离子处理,活化复合材料边框表面,提高其表面能,从而提高密封胶点胶质量。经plasma等离子处理后能够在复合材料表面形成极性基团,提高其表面自由能,从而有助于增强其表面附着力,使其更容易与密封胶等粘合剂结合,显著提高密封胶的附着力,避免脱落等问题,从而确保光伏组件的密封性能,提高整体光伏系统的稳定性和可靠性。等离子体可以实现清洁、改性、刻蚀等目的。
等离子清洗是一种环保工艺,由于采用电能催化反应,同时利用低温等离子体的特性,可以提供一个低温环境,排除了湿式化学清洗所产生的危险和废液,安全、可靠、环保。与传统的溶剂清洗不同,等离子清洗无需水及溶剂添加,依靠等离子体的“活化作用”达到清洗材料表面的目的,清洗效果彻底并保证材料的表面及本体特性不受影响。等离子清洗技术容易实现智能化控制,可装配高精度的控制装置,控制时间,及等离子强度。更重要的是,等离子清洗技术不分处理对象的材料类型,对半导体、金属和大多数高分子材料均有很好的处理效果,可实现整体和局部以及复杂结构的精密清洗。plasma等离子清洗机活化可确保对塑料、金属、纺织品、玻璃、再生材料和复合材料进行特别有效的表面改性。河北等离子清洗机清洗原理
等离子清洗机处理后的时效性会因处理时间、气体反应类型、处理功率大小以及材料材质的不同而有所差异。重庆半导体封装等离子清洗机售后服务
在半导体制造行业,等离子清洗机被广泛应用于晶圆清洗、封装前处理等环节。通过去除芯片表面的微小颗粒、有机物残留和金属离子等污染物,确保芯片的纯净度和可靠性,提高成品率和性能。在精密机械领域,等离子清洗技术用于清洗精密零件表面,去除油渍、锈迹和氧化物等,改善零件的表面粗糙度和光洁度,提高机械配合精度和使用寿命。航空航天工业中,等离子清洗机用于处理飞行器部件的表面,去除涂层脱落、油漆残留等问题,同时增强涂层与基材之间的结合力,提高飞行器的安全性和耐久性。生物医药领域,等离子清洗技术被用于医疗器械、植入物、生物材料的表面清洁与改性,去除表面污染物,提高材料的生物相容性和细胞粘附性,促进伤口愈合和组织再生。这些应用案例充分展示了等离子清洗机在多个行业中的广适用性和重要作用。重庆半导体封装等离子清洗机售后服务