企业商机
激光干涉仪基本参数
  • 品牌
  • 千宇光学
  • 型号
  • 可定制
  • 类型
  • 光学仪器
  • 规格
  • 可定制
激光干涉仪企业商机

计量检测,光学镜片检测、光学组件检测,手机背板和相机镜头检测,半导体晶圆检测,LED衬底蓝宝石检测,安防镜头和车载镜头检测,航空航天成像系统检测,超精密机械件检测,光学成像系统和衍射元件检测,纳米器件和MEMS检测,科研和高等教学仪器等众多领域。平面类(平面平晶、窗口玻璃、光学平面玻璃、金属平面、陶瓷平面等)光滑表面面形测量、一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量,90°直角棱镜和角锥测量;球面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量;柱面类(凸面、凹面、不同F数)光滑表面面形测量;非球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量;光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。激光干涉仪测试项目:平行度。湖南通用激光干涉仪推荐咨询

激光干涉仪小科普:经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。安徽柱面激光干涉仪报价表应用领域:计量领域(平面平晶检测),半导体工业(晶片检测),手机工业背板检测。

激光干涉仪测量利用的是迈克尔逊干涉原理:(1)从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束(圆偏振光)通过分光镜后,将分成两束激光(线偏振光);(2)两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光(红色线条)返回,通过分光镜后进行叠加,由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定,即满足干涉条件;(3)角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离,将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。

用稳频的氦氖激光器作为光源,由于它的相干长度很大,干涉仪的测量范围可以**的扩展;而且由于它的光束发散角小,能量集中,因而它产生的干涉条纹可以用光电接收器接收,变为电讯号,并由计数器一个不漏的记录下来,从而提高了测量速度和测量精度,比如说我国自行设计与制造的以氦氖激光器作为光源的光电光波比长仪,可以在20分钟之内把1米线纹尺上1001条刻线依次自动鉴定完毕,精度达到±0.2μm,这就是激光干涉仪的成功例证。但是这种单频的激光仪并非完美,它的一个根本弱点就是受环境影响严重,在测试环境恶劣,测量距离较长时,这一缺点十分突出。其原因在于它是一种直流测量系统,必然具有直流光平和电平零漂的弊端。激光干涉仪可动反光镜移动时,光电接收器会输出信号,如果信号超过了计数器的触发电平则就会被记录下来,而如果激光束强度发生变化,就有可能使光电信号低于计数器的触发电平而使计数器停止计数,使激光器强度或干涉信号强度变化的主要原因是空气湍流,机床油雾,切削屑对光束的影响,结果光束发生偏移或波面扭曲。通用组合水平式干涉仪具有良好的抗振性能,可以在有空气扰动,轻微振动的环境下检测。

激光干涉仪激光束路径与被测轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异,此误差被称为余弦误差。

死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差,在正常状况下,死程误差并不大,而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息,基于Edlen公式计算空气折射率,以此对激光波长进行补偿。同时环境补偿单元中材料温度探头能实时高精度测量被测设备温度,对其进行温度补偿。但是往往因为操作人员将材料温度探头放置在错误的位置,致使采集的数据不能真实反映被测物体温度状态,从而增大测量误差。 激光干涉仪重复性:λ/50 P。浙江通用水平式激光干涉仪品牌排行

航空航天成像系统检测,超精密机械件检测,科研和高等教学仪器等众多领域。湖南通用激光干涉仪推荐咨询

单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做,但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因,两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上,双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造,直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频(两个频率)。历史上,双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪,自从发明了双折射-塞曼双频激光器,双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米,与单频激光器看齐了。湖南通用激光干涉仪推荐咨询

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