湖北平面平晶检测激光干涉仪方案

双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、 三坐标测量机、光刻机和 加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度 直线度测量、平面度测量和小角度测量。

激光干涉仪应用 （1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度、球面测量、曲率半径测量、角锥角度、光学材质均匀性测量等 激光干涉仪：数字化动态分析。湖北平面平晶检测激光干涉仪方案

单频干涉仪能做的双频激光干涉仪都能做，但双频干涉仪能做的单频干涉仪不见得能做。由于历史、技术和商业原因，两种干涉仪都有着广泛应用。但在光刻机上，双频激光干涉仪独占市场。单频干涉仪不需要对市场上的氦氖激光器进行改造，直接可用。但双频激光干涉仪用的激光器需要附加技术使其产生双频（两个频率）。历史上，双频激光干涉仪测量位移的速度不及单频激光干涉仪，自从发明了双折射-塞曼双频激光器，双频激光干涉仪的测量速度也达到每秒几米，与单频激光器看齐了。陕西激光干涉仪型号柱面类（凸面、凹面、不同F数）光滑表面面形测量。

根据激光干涉仪的原理，我们可以清楚知道，激光干涉仪是用来检测设备的运动精度的，SJ6000激光干涉仪目前在机床、直线电机、滑台、模组、自动化设备、机器人等领域广泛应用。

白光干涉仪以白光干涉技术为原理，光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束，一束经被测表面反射回来，另外一束光经参考镜反射，两束反射光**终汇聚并发生干涉，显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号，通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

激光干涉仪小科普：两个透明玻璃条的一端夹着纸片，两块玻璃构成一个劈尖，二个表面间形成一层空气薄膜，然后用单色激光从劈尖上方垂直照射，于是下层玻璃的上表面会反射激光，入射光和反射光就会产生干涉现象。现在来观察条纹形状；若干涉条纹是均匀的、平行等间隔的直条纹，则说明两个玻璃片是平行的；若干涉条纹呈现弯曲，则从条纹变异的情况可以推知待测表面偏离平面的情况；还可以测出夹角，测出纸片厚度。光具有三个重要特性：·激光波长非常稳定，可以满足精密测量的要求。·激光波长非常短，可以用于高精度测量。·激光具有干涉特性。 光学组件和系统透射波前精度测量、光学系统的装调和校准等。

激光器输出的纵模间隔为：ΔVL=C/(2nL0)，式中C为光速，n为激光器腔内折射率，L0为激光器的腔长。选择激光器腔长，使其在多普勒带宽之内主要有二个纵模输出，可得到高频差的双频激光，例如选择腔长220mm，可得到频差为680MHz的双频激光。双纵模激光干涉仪采用等强度的稳频方法，由于频差大，原理上可以达到极高的测量速度，但是高频差也使光电接受、信号处理更为困难。激光干涉仪是以波长作为测量基准的，大频差造成的两束光的波长差别是不能忽略的，可以计算，在频差为680MHz时，可以引起的误差。因此必须确认产生多普勒频移的激光波长作为测量的基准。也由于此，双纵模激光干涉仪也难以应用在角度测量，直线度测量这样的利用差动原理的测量项目。激光干涉仪测试原理：斐索干涉原理。湖北球面检测激光干涉仪销售公司

平面平晶、窗口玻璃、光学平面、金属平面、陶瓷平面等光滑表面面形的高精度快速测量。湖北平面平晶检测激光干涉仪方案

激光干涉仪小科普：经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。湖北平面平晶检测激光干涉仪方案