在真空电镀加工工作方式主要有两种,真空蒸镀与真空溅镀。下面简单介绍一下这两种方式。 真空蒸镀是将工件装入电镀机内,然后将室内空气抽走,达到一定的真空度后,将室内的钨丝通电加热。当达到一定的温度后,钨丝上所放置的金属丝气化,然后随着室内的工件的转动均匀的沉积在工件表面,形成金属膜。一般常见的电镀用金属有铝、镍、铜等等。但由于熔点,工艺控制等方面的原因,镀铝成为的做法。 真空溅镀主要利用辉光防电将ya气AR离子撞击靶材表面,靶材的原子被弹出而堆积在基板表面形成薄膜。溅镀薄膜的性质、均匀度都比蒸镀薄膜来得好,但是镀膜速度却比蒸镀慢的多。新型的溅镀设备几乎都是用磁铁将电子成螺旋状运动以加速靶材周围ya气离子化,造成靶与ya气离子间的撞击几率增加,提高溅镀速率。薄膜材料的发展和应用,带动控溅射沉积技术的飞速发展。浙江磁控镀膜机设计
磁控溅射镀膜注意事项: 1、辐射:有些镀膜要用到射频电源,如功率大,需做好屏蔽处理.另外,欧洲标准在单室镀膜机门框四周嵌装金属线屏蔽辐射;2、金属污染:镀膜材料有些(如铬、铟、铝)是对人体有害的,特别要注意真空室清理过程中出现的粉尘污染;3、噪音污染:如特别是一些大的镀膜设备,机械真空泵噪音很大,可以把泵隔离在墙外;4、光污染:离子镀膜过程中,气体电离发出强光,不宜透过观察窗久看.磁控溅射镀膜的适在 1、建材及民用工业中。 2、在铝合金制品装饰中的应用。 3、前端产品零/部件表面的装饰镀中的应用。 4、在不锈钢刀片涂层技术中的应用。 5、在玻璃深加工产业中的应用。金华磁控镀膜机采购磁控溅射具有镀膜温度低、可任意位置安放多个靶连续镀多层膜。
磁控溅射镀膜技术的发展: 近年来磁控溅射技术发展非常迅速,代表性方法有平衡平衡磁控溅射、反应磁控溅射、中频磁控溅射及高能脉冲磁控溅射等等。 平衡磁控溅射:即传统的磁控溅射技术,将永磁体或电磁线圈放到在靶材背后,在靶材表面会形成与电场方向垂直的磁场。在高压作用下氩气电离成等离子体,Ar+离子经电场加速轰击阴极靶材,靶材二次电子被溅射出,且电子在相互垂直的电场及磁场作用下,被束缚在阴极靶材表面附近,增加了电子与气体碰撞的几率,即增加了氩气电离率,使氩气在低气体下也可维持放电,因而磁控溅射既降低了溅射气体压力,同时也提高了溅射效率及沉积速率。但传统磁控溅射有一些缺点,比如:低气压放电产生的电子和溅射出的靶材二次电子都被束缚在靶面附近大约60 mm的区域内,这样工件只能被安·放在靶表面50一100 mm的范围内。这样小的镀膜区间限制了待镀工件的尺寸,较大的工件或装炉量不适合传统方法。
磁控溅射镀膜技术由于其明显的优点已经成为制备薄膜的主要技术之一。非平衡磁控溅射改善了等离子体区域的分布,明显提高了薄膜的质量。中频溅射镀膜技术的发展有效克服了反应溅射过程中出现的打弧现象,减少了薄膜的结构缺陷,明显提高了薄膜的沉积速率。高速溅射、高能脉冲磁控溅射镀膜技术为溅射镀膜开辟了崭新的研究领域。在未来的研究中,新溅射技术向生活领域的推广、磁控溅射镀膜技术与计算机的结合都将成为研究热点,利用计算机模拟镀膜时的磁场、电场、温度场、以及等离子体的分布,必将能给溅射镀膜技术的发展提供巨大的扩展空间,推动磁控溅射镀膜技术向工业及生活领域转化。溅射镀膜过程主要是将欲沉积成薄膜的材料制成靶材,固定在溅射沉积系统的阴极上。
控溅射真空镀膜机是目前一种镀膜产品,相比传统的水电镀来讲,磁控溅射镀膜设备无毒性,能够掩盖,弥补多种水电镀的缺陷。近年来磁控溅射镀膜设备技术得到了普遍的应用,现国内磁控溅射镀膜设备厂家大幅度小小的也非常多,但是专注于磁控溅射镀膜设备生产,经验丰富的却造磁控溅射镀膜设备厂家,就一定会有一定的规模,这类磁控溅射镀膜设备不像是小件的东西,磁控溅射镀膜设备其技术含量非常的高,选购磁控溅射镀膜设备时一定要先了解。 磁控溅射镀膜设备镀膜优势具有技术含量高,那么就一定要拥有一个非常强大的磁控溅射镀膜设备技术工程队伍,磁控溅射镀膜设备行业的**,磁控溅射镀膜设备可根据用户的产品工艺及物殊要求设计配置。降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。南通磁控镀膜机种类有哪些
磁控溅射所利用的环状磁场迫使二次电子跳栏式地沿着环状磁场转圈。浙江磁控镀膜机设计
膜层结合力强,在真空电镀加工过程中,有部分电子撞击到基材表面,表面原子,并且产生清洁的作用,而镀材通过溅射所获得的能量比蒸发所获得的能量高出1到2个数量级,带有如此高能量的镀材原子撞击到基材表面时,有更多的能量可以传递到基材上,产生更多的热能,使被电子的原子加速运动,与部分镀材原子更早互相溶合到一起,其他镀材原子紧随着陆续沉积成膜,加强了膜层与基材的结合力。镀材范围广,由于溅射镀膜是通过氩离子的高速轰击使镀材溅射出来的,当然这个厚度是在可允许的范围内,而且控制好电流,无论重复镀多少次,膜层厚度都不会变化,膜厚的稳定性可归结为膜厚良好的可控性和重复性。不像五金电镀加工由于熔点的原因而限制只能使用熔点比较低的镀材,而溅射镀膜固体的物质都可以成为镀材。浙江磁控镀膜机设计