磁控溅射镀膜技术的发展: 近年来磁控溅射技术发展非常迅速,代表性方法有平衡平衡磁控溅射、反应磁控溅射、中频磁控溅射及高能脉冲磁控溅射等等。 平衡磁控溅射:即传统的磁控溅射技术,将永磁体或电磁线圈放到在靶材背后,在靶材表面会形成与电场方向垂直的磁场。在高压作用下氩气电离成等离子体,Ar+离子经电场加速轰击阴极靶材,靶材二次电子被溅射出,且电子在相互垂直的电场及磁场作用下,被束缚在阴极靶材表面附近,增加了电子与气体碰撞的几率,即增加了氩气电离率,使氩气在低气体下也可维持放电,因而磁控溅射既降低了溅射气体压力,同时也提高了溅射效率及沉积速率。但传统磁控溅射有一些缺点,比如:低气压放电产生的电子和溅射出的靶材二次电子都被束缚在靶面附近大约60 mm的区域内,这样工件只能被安·放在靶表面50一100 mm的范围内。这样小的镀膜区间限制了待镀工件的尺寸,较大的工件或装炉量不适合传统方法。磁控溅射工艺特别适合用于多层膜结构的沉积。丽水磁控镀膜机系统
光学真空镀膜机采用的镀膜技术,一般大家都成为光学镀膜,光学镀膜技术的常用方法是通过真空溅射在玻璃基板上涂覆薄膜,光学镀膜通常用于控制基板对入射光束的反射率和透射率,以满足不同的需求。为了消除光学部件表面上的反射损失并改善图像质量,涂覆了一层或多层透明介电膜,称为抗反射膜或抗反射膜。 光学镀膜随着激光技术的发展,对薄膜的反射率和透射率提出了不同的要求,促进了多层高反射膜和宽带减反射膜的发展。对于各种应用需求,使用高反射膜来制造偏振反射膜,分色膜,冷光膜,干涉滤光片等。丽水磁控镀膜机系统溅射产额随入射离子能量变化的简单示意图,简称溅射曲线。
日常我们也会见到磁控溅射真空镀膜机镀膜薄膜出现不均匀的问题,一般我们处理方法,时首先是要尽量保证磁场的均匀性和方向一致性,形成一个相对均匀的空间磁场。然后,要尽量保证气压上下的均匀性,真空腔体设计时,要考虑真空泵的安装位置,和工艺气体进气方式以及腔体内工艺气管的布局。后由于磁场和气压都不可能相对理想,那么就可以通过气压的不均匀来补偿磁场不均匀,让终薄膜均匀一致。后,靶基距也是影响溅射镀膜薄膜均匀性的重要因素
高真空离子镀是常见的塑胶产品电镀技术中的目前市场新兴兴起的一种技术。高真空离子镀,又称高真空镀膜加工。如今高真空电镀的做法现在是一种相来说比较盛行的一种做法,做出来的商品金属质感强,表面亮度高.而相对别的的镀膜法来说,成本较低,对环境的污染小,可选择原料种类多,这也是近年来一些电镀加工厂比较推崇的镀膜电镀技术。 高真空离子镀适用范围比较广,如ABS料、ABS+PC料、PC料的商品。传统水电镀技术流程杂乱、环境污染大、设备成本高、对作业人员身体伤害大,电镀出来产品外观损坏大,产品稳定性差。而高真空离子镀它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,也就是我们俗称的真空镀膜。真空蒸镀是将工件装入电镀机内,然后将室内空气抽走,达到一定的真空度后,将室内的钨丝通电加热。
为什么要在真空镀膜工艺之前在基材表面先喷一层底漆呢?因为塑料基材外表可能不平滑,如果没有先喷底漆直接使用高真空镀膜的话,如果客人要求很高,产品可能会因为工件外表不光滑,而使加工出来的产品光泽度相对会低一点,金属质感相对也会有所下降,如果基料有气泡,水泡这状况更高明显,就无法满足前端客人需求。喷上一层底漆往后,会构成一个光滑平坦的外表,而且杜绝了塑料自身存在的气泡水泡的发生,使得电镀的作用得以展现.真空电镀可分为通常真空电镀、UV真空电镀、真空电镀格外。 电镀按技术分类可分为蒸镀、溅镀、色等,水电镀因技术较简略,从设备到环境得要求均没有真空离子镀苛刻,然后被普遍使用。但水电镀有个缺陷,只能镀ABS料和ABS+PC料(此料镀的效果也不是很理想).而ABS料耐温只需80℃,这使得它的使用规划被约束了,而真空电镀可达200℃分配,这对运用在高温的部件就可以进行电镀处理了.像风嘴、风嘴环运用PC料,这些部件均要求耐130℃的高温,通常要求耐高温的部件,做真空电镀都要在毕竟喷一层UV油,这么使得商品外表既有光泽、有能耐高温、同时又加强其附着力。溅射镀膜过程中溅射出的粒子的能量很低,导致成膜速率不高。上海磁控镀膜机原理
完美解决了膜层附着力、硬度、耐脏污、耐摩擦性、耐溶剂性、耐老化、耐水泡及水煮等性能问题。丽水磁控镀膜机系统
磁控溅射镀膜技术由于其明显的优点已经成为制备薄膜的主要技术之一。非平衡磁控溅射改善了等离子体区域的分布,明显提高了薄膜的质量。中频溅射镀膜技术的发展有效克服了反应溅射过程中出现的打弧现象,减少了薄膜的结构缺陷,明显提高了薄膜的沉积速率。高速溅射、高能脉冲磁控溅射镀膜技术为溅射镀膜开辟了崭新的研究领域。在未来的研究中,新溅射技术向生活领域的推广、磁控溅射镀膜技术与计算机的结合都将成为研究热点,利用计算机模拟镀膜时的磁场、电场、温度场、以及等离子体的分布,必将能给溅射镀膜技术的发展提供巨大的扩展空间,推动磁控溅射镀膜技术向工业及生活领域转化。丽水磁控镀膜机系统