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真空镀膜设备基本参数
  • 品牌
  • 无锡光润真空科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
真空镀膜设备企业商机

真空镀膜机非平衡磁控溅射的出现部分克服了以上缺点,将阴极靶面的等离子体引到溅射靶前200~300 mm 的范围内,使基体沉浸在等离子体中,溅射出来的原子和粒子沉积在基体表面形成薄膜,另一方面,等离子体以一定的能量轰击基体,起到离子束辅助沉积的作用,大幅度的改善了膜层的质量,非平衡磁控溅射系统有两种结构,一种是其芯部磁场强度比外环高,磁力线没有闭合,被引向真空室壁,基体表面的等离子体密度低,因此该方式很少被采用。另一种是外环磁场强度高于芯部磁场强度,磁力线没有完全形成闭合回路,部分外环的磁力线延伸到基体表面,使得部分二次电子能够沿着磁力线逃逸出靶材表面区域,同时再与中性粒子发生碰撞电离,等离子体不再被完全限制在靶材表面区域,而是能够到达基体表面,进一步增加镀膜区域的离子浓度,使衬底离子流密度提高,通常可达5 mA/cm2 以上。这样溅射源同时又是轰击基体表面的离子源,基体离子束流密度与靶材电流密度成正比,靶材电流密度提高,沉积速率提高,同时基体离子束流密度提高,对沉积膜层表面起到一定的轰击作用在真空离子镀膜设备工作中,所选用不同气体所生产出来的,液态气体色泽也会不一样。扬州真空镀膜设备报价多少钱

真空镀膜设备的正常工作条件: 1、环境温度:10~30℃ 2、相对湿度:不大于70% 3、冷却水进水温度:不高于25℃ 4、冷却水质:城市自来水或质量相当的水 5、供电电压:380V,三相50Hz或220V,单相50Hz(由所用电器需要而定),电压波动范围342~399V或198V~231V,频率波动范围49~51Hz; 6、设备所需的压缩空气、液氮、冷热水等压力、温度、消耗量均应在产品使用说明书上写明。 7、设备周围环境整洁、空气清洁,不应有可引起电器及其他金属件表面腐蚀或引起金属间导电的尘埃或气体存在。真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染,可采用在泵的排气口上面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法,将气体排出室外扬州真空镀膜设备报价多少钱真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。

真空镀膜设备维护和保养: 1、真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上,应清洁工作室一次。方法是:用烧碱(NaOH)饱和溶液反复 擦洗真空室内壁,( 注意人体皮肤不可以直接接触烧碱溶液,以免灼伤)目的是使镀上去的膜料铝(AL)与NaOH发生反应,反应后膜层脱落,并释放出氢气。再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽阀内的污垢。 2、当粗抽泵(滑阀泵,旋片泵)连续工作一个月(雨季减半),需更换新油。方法是:拧开放油螺栓,放掉旧油,再将泵启动数秒,使泵内的旧油完全排放出来。拧回放油螺栓,加入新油至额定量(油视镜观察)。连续使用半年以上,换油时应将油盖打开,用布擦干净箱内污垢。

在真空离子镀膜设备工作中,所选用不同气体所生产出来的,液态气体色泽也会不一样,氩气一般用作创造镀膜的环境镀钛和铬时,工业气体充入氮气可生产出银色和黄色的产品而想要生产出黑色或灰色的产品,则需要加入乙炔气体加入氧气则生产蓝色的产品。除了气体外所生产出的产品颜色还受压力、温度、时间等条件影响。 真空电镀是利用的什麽原理? 在高真空度的条件下,高纯度的镀层金属(如铝)在高温下蒸发后会自由地飞散开并沉降在工件表面,形成镀层。氩气为保护性气体,防止氧化反应影响镀层质量。 氩气在电镀过程中有何用? 氩气不参与反应,只是增加气压,改善镀膜时靶的放电条件,氩气不是用于镀膜,主要用于创造镀膜的环境。氮气和氩气都是惰性气体,冲进去以后,一 可以排除氧气,防止氧化,二更具氮气和氩气在扩散泵内的含量比例不同,可以镀膜出不同的颜色.主要是为了改变镀膜出来产品的色彩.在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。

如果是说镀膜时为了调节压力使用的气体 个人认为如下:氩气如果只是节压力,一次压可以不计,但是二次压要小于0.5个大气压。氮气也是,主要是因为如果大了,会导致真空仓内的压力变化太剧烈,导致误差。如果是使用离子源,那么氩气入气量不宜过大的,大了导致离子量过大,烧坏部件。压力和上边没什么差别。 任何固体材料在大气环境下都会溶解和吸附一些气体,当材料置于真空状态时就会因为脱附、解析而出气。出气的速率与材料中的气体含量成正比。不同的材料解析的气体成分及解析的温度及时间是不同的。由于真空镀膜设备要在真空条件下工作,因此该设备要满足真空对环境的要求。泰州真空镀膜设备批发商

PVD镀膜已经成为五金行业表面处理的发展方向。扬州真空镀膜设备报价多少钱

扩散泵连续使用6个月以上,抽速明显变慢,或操作失当,充入大气,拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,真空镀膜设备无法进入工作状态。 扬州真空镀膜设备报价多少钱

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