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磁控镀膜机基本参数
  • 品牌
  • 无锡光润真空科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 包装材料
  • 其他
  • 包装类型
  • 其他
磁控镀膜机企业商机

可用磁控溅射方法在柔性基材上镀制各种介质膜,如SiO2、Si3N4、Al2O3、SnO2、ZnO、Ta2O5等;金属和合金膜如Al、Cr、Cu、Fe、Ni、SUS、TiAl等;用ITO、AZO等陶瓷靶可镀透明导电膜;用多层光学膜结构镀AR减反膜、HR高反膜、AR+ITO高透导电膜、低辐射Low-E和阳光控制膜等。主要用于汽车、火车、轮船等前挡及玻璃门窗的贴膜,建筑门窗及幕墙贴膜,防静电和电磁贴膜,装饰贴膜和包装膜、太阳能暖房贴膜,电加热器膜,防霜雾透明膜,FPD平板显示用透明电极膜,在金属带上镀光学多层膜做薄膜太阳能电池等。如ITO透明导电膜可以作为冷发光材料,在棉布表面镀上SiO2可制成防电磁辐射的防护服,镀Ni的海绵绕制后可做镍氢电池,镀上多种材料的基材可做电子书、柔性显示器件等。电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。丽水磁控镀膜机定制公司

真空磁控溅射镀膜技术是通过真空磁控溅射镀膜机实现的,镀膜机内由不同级别的真空泵抽气,在系统内营造出一个镀膜所需的真空环境,真空度要达到镀膜所需的本底真空,一般在(1~5)×10-8 Pa。 在真空环境中向靶材(阴极)下充入工艺气体氩气(Ar),氩气在外加电场(由直流或交流电源产生)作用下发生电离生成氩离子(Ar+),同时在电场E的作用下,氩离子加速飞向阴极靶并以高能量轰击靶表面,使靶材产生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子(或分子)沉积在PET基片上形成薄膜。 同时被溅射出的二次电子在阴极暗区被加速,在飞向基片的过程中,落入设定的正交电磁场的电子阱中,直接被磁场的洛伦兹力束缚,使其在磁场B的洛伦兹力作用下,以旋轮线和螺旋线的复合形式在靶表面附近作回旋运动。电子e的运动被电磁场束缚在靠近靶表面的等离子区域内,使其到达阳极前的行程大幅度增长,大幅度增加碰撞电离几率,使得该区域内气体原子的离化率增加,轰击靶材的高能Ar+离子增多,从而实现了磁控溅射高速沉积的特点。淮安磁控镀膜机生产厂家磁控溅射工艺的主要优点是可以使用反应性或非反应性镀膜工艺来沉积这些材料的膜层。

窗膜用磁控溅射镀膜设备与离线LOW-E磁控镀膜设备的生产原理是一样的,且都是在70年代开始投入应用的。差别是一种镀在薄膜上,一种镀在玻璃上。一种是卷对卷式镀膜,一种是平板是镀膜,甚至所镀的原料都是一样的。早期的平板镀膜设备是多腔室单独控制的,一个腔室镀完,再到下个腔室。每经过一种镀层都要抽真空,充氩气的过程,效率极低。而窗膜用磁控溅射镀膜设备是是在一个真空腔体中通过卷对卷的方式完成所有镀层。效率想对较高。在早期,卷式镀膜比平板镀膜还是有效率上的优势的。后来由于玻璃行业的快速发展,连续式平板磁控镀膜设备开始出现,效率大幅度提高。也随着玻璃行业的大规模应用,各种配套、技术也相需成熟,生产成本也大幅降低。在PET薄膜上能做到的隔热性能、参数在玻璃上也都可以做到。因为窗膜终应用还是在玻璃上,目前卷式镀膜对比平板式镀膜已失去价格优势。

为了解决缺陷,人们在20世纪70年代替开发出了直流磁控溅射技术,它有效地克服了阴极溅射速率低和电子使基片温度升高的弱点,因而获得了迅速发展和普遍应用。 其原理是:在磁控溅射中,由于运动电子在磁场中受到洛仑兹力,它们的运动轨迹会发生弯曲甚至产生螺旋运动,其运动路径变长,因而增加了与工作气体分子碰撞的次数,使等离子体密度增大,从而磁控溅射速率得到很大的提高,而且可以在较低的溅射电压和气压下工作,降低薄膜污染的倾向;另一方面也提高了入射到衬底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的质量。同时,经过多次碰撞而丧失能量的电子到达阳极时,已变成低能电子,从而不会使基片过热。因此磁控溅射法具有“高速”、“低温”的优点。该方法的缺点是不能制备绝缘体膜,而且磁控电极中采用的不均匀磁场会使靶材产生明显的不均匀刻蚀,导致靶材利用率低,一般只为20%-30%。在磁控溅射过程中,具体工艺过程对薄膜性能影响很大。

观察真空离子镀膜机靶阴极电弧的燃烧情况,每当电弧熄灭前,总是发现电弧弧斑极为粗糙。有时甚至出现堆团状弧斑。熄灭后观察靶面已发红,靶表面温度很高。粗糙弧斑的出现,使弧电流较集中于靶面一点,导致了弧斑下靶面斑点电流过于集中,使弧斑下的靶面温度更高而产生大量的热电子发射。靶面局部大量的热电子发射的结果,一方面中和了大量的空间电荷,使阴极表面上的电场成为减速场,甚至导致阴极表面上的电场等于零。另一方面,大量的热电子发射对阴极表面产生相当大的冷却作用。结果既没有空间电荷产生的强大电场来维持表面发射,也不具备极高的表面温度来产生热电子发射,导致电弧的熄灭。所以在真空镀膜机多弧靶源的设计中,应注意给阴极靶以充分的冷却,好采用直接水冷,间接水冷时,阴极座等相邻部件应选用导热性能良好的材料(如铜、铝等)磁控镀膜机可镀各种硬质膜、金属膜、合金、化合物、半导体、陶瓷膜、介质复合膜和其他化学反应膜。淮安磁控镀膜机生产厂家

磁控溅射工艺非常适合一些不太耐高温的塑料基材镀膜。丽水磁控镀膜机定制公司

一般情况下,系统一个部分功能的增强会带来整体功能的增强,同时降低系统对某些部分的依赖,或者可以理解为:系统两个必要因素有机结合为一个部分。建立综合设计系统有助于研究系统内各个部分内在的逻辑关系。大面积溅射镀膜综合设计系统可分为三大部分:镀膜设备的T程设计、镀膜工艺的设计及各个过程的计算机数值仿真设计,参照图l。每一部分又分为若千方面,且部分之间相互影响。因为系统比较复杂,所以系统初级阶段的建立应该尽量简化设计参数以提高其实用性。对于溅射镀膜来说,可以从真空系统,电磁场,气体分布,热系统等几个方面进行没计,机械制造和控制贯穿整个工程设计过程。丽水磁控镀膜机定制公司

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