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磁控镀膜机基本参数
  • 品牌
  • 无锡光润真空科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 包装材料
  • 其他
  • 包装类型
  • 其他
磁控镀膜机企业商机

高真空离子镀是常见的塑胶产品电镀技术中的目前市场新兴兴起的一种技术。高真空离子镀,又称高真空镀膜加工。如今高真空电镀的做法现在是一种相来说比较盛行的一种做法,做出来的商品金属质感强,表面亮度高.而相对别的的镀膜法来说,成本较低,对环境的污染小,可选择原料种类多,这也是近年来一些电镀加工厂比较推崇的镀膜电镀技术。 高真空离子镀适用范围比较广,如ABS料、ABS+PC料、PC料的商品。传统水电镀技术流程杂乱、环境污染大、设备成本高、对作业人员身体伤害大,电镀出来产品外观损坏大,产品稳定性差。而高真空离子镀它是以真空技术为基础,利用物理或化学方法,并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术,为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说,在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射,使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法,也就是我们俗称的真空镀膜。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术。衢州磁控镀膜机工厂

磁控溅射真空镀膜机镀膜薄膜均匀性是一项重要指标,因此有必要研究影响磁控溅射均匀性的影响因素,以便更好的实现磁控溅射均匀镀膜。简单的说磁控溅射就是在正交的电磁场中,闭合的磁场束缚电子围绕靶面做螺旋运动,在运动过程中不断撞击工作气体氩气电离出大量的氩离子,氩离子在电场作用下加速轰击靶材,溅射出靶原子离子(或分子)沉积在基片上形成薄膜。所以要实现均匀的镀膜,就需要均匀的溅射出靶原子离子(或分子),这就要求轰击靶材的氩离子是均匀轰击的。由于氩离子是在电场作用下加速轰击靶材,所以要求电场均匀。但是实际的磁控溅射装置中,某些因素都是很难完全相对的均匀,这就有必要研究他们不均匀对成膜均匀性的影响。实际上磁场的均匀性和工作气体的均匀性是影响成膜均匀性的主要因素。磁场大的位置膜厚,反之膜薄,磁场方向也是影响均匀性的重要因素。气压方面,在一定气压条件下,气压大的位置膜厚,反之膜薄。衢州磁控镀膜机有什么作用随着技术的发展成熟,目前甚至可以在软性塑胶表面进行真空镀膜加工。

用真空镀膜技术代替传统的电镀工艺,不但能节省大量的膜材和降低能耗,而且还会消除湿法镀膜中所产生的环境污染。因此国外在钢铁零件涂镀防腐层和保护膜方面,已采用真空镀膜工艺来代替电镀工艺。在冶金工业中,为钢铁和带钢加镀铝防护层已很普遍;在机械制造业中,真空镀膜工艺用于改变改变某些加工工艺和节约贵重的原材料,如飞机涡轮发动机的叶片已经不用价格昂贵的耐高温金属制造,而是采用价格低廉易加工材料,成形后再用真空镀膜的方法在叶片表面上加镀耐高温,耐腐蚀的防护层。再如汽车制造业中采用塑料制品金属化零件代替各种金属零件,既减轻了汽车的重量又节约了燃油的消耗。在金属切削刀具上加镀TiN硬膜可使用刀具寿命提高3~6倍,从而节省了大量的高速钢材。塑料薄膜采用真空镀膜的方法加镀铝等金属膜,再进行染色,可得到用于工业中的装饰品薄膜。

间冷式的适合于气密性较差的靶材, 功率要小一些。靶内磁体目前更多采用的是钕铁硼永磁体, 只要保证磁场的均匀, 再在工作气体的布气装置上采用合理的方式, 在整个靶面的区域内, 实践证明均能获得均匀的溅射刻蚀。这是膜层横向均匀性的重要保证。考虑到靶的两端所产生的边缘效应, 为使基片的两端也获得与中间部分相同的膜厚, 靶的两端要伸出基片边缘足够的长度。高真空的背景是溅射沉积的必要条件, 所以溅射室对称设置有高真空机组。目前采用的大多是扩散泵机组。进口设备中, 配置涡轮分子泵的, 但维修麻烦, 更换轴承需由厂家进行;配置扩散泵的还加有液氮冷阱, 这样有更好的挡油效果, 但维持费用高。这种泵用于进片室可以免油蒸汽对基片的污染, 并可防止活性气体周期性的混入镀膜室内。磁控镀膜设备采用中频磁控溅射及多弧离子相结合技术,适用于塑胶、玻璃、陶瓷、五金等产品。

磁控溅射技术的工艺历史发展: 1852年,格洛夫发现了阴极溅射,由于该方法要求工作气压高、基体温升高和沉积速率低等,阴极溅射在生产中并没有得到普遍的应用。20世纪三十年代,J.Chapin发明了平衡磁控溅射,使高速、低温溅射成为现实,磁控溅射真正意义上发展起来。 上世纪五十年代Schneider等采用离化溅射和平衡磁控溅射制备氧化铝薄膜,当增加偏压后,薄膜硬度是未加偏压的2倍。 1981年Maniv等在基底和靶之间设置栅板,使反应气体和Ar气分隔两侧,极大地改善了迟滞。 上世纪九十年代,中国的牟宗信等采用非平衡磁控溅射技术在AZ31镁合金基底上制备氮化硅薄膜,试样表现出良好的耐腐蚀性能。 2008年Berg等通过建立模型分析发现,控制参数为反应气体时,将靶材溅射面积控制到一定数值以下,迟滞现象就会消失。真空磁控溅射镀膜特别适用于反应沉积镀膜。常州磁控镀膜机批发商

真空磁控溅射镀膜工艺现已用于大面积基材的镀膜当中。衢州磁控镀膜机工厂

在使用真空设备过程中,其零部件还会受污染。不过这种来源的污染主要是使用条件、真空泵两方面造成的。 1、真空规管的灯丝在高温条件下蒸发,将导致陶瓷绝缘子上形成一层薄膜,对其绝缘强度有一定的损坏,对其测量的准确性也有一定的影响; 2、由于高温蒸发,会使真空中的电子的灯丝附近表面形成一层金属膜; 3、由于工件溅射,离子束刻蚀设备的内壁会被溅散物所污染; 4、真空蒸发镀膜设备的内壁会被其蒸镀靶材材料污染; 5、经常使用真空干燥系统,该系统会受蒸发出来的物质所污染; 6、真空镀膜设备中的扩散泵油、机械泵油等更是一大主要污染来源,镀膜机长期工作后,设备内部可能会形成一层油膜。衢州磁控镀膜机工厂

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