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磁控镀膜机基本参数
  • 品牌
  • 无锡光润真空科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 包装材料
  • 其他
  • 包装类型
  • 其他
磁控镀膜机企业商机

磁控溅射镀膜的产品特点: 1、磁控溅射所利用的环状磁场迫使二次电子跳栏式地沿着环状磁场转圈.相应地,环状磁场控制的区域是等离子体密度的部位.在磁控溅射时,可以看见溅射气体——氩气在这部位发出强烈的淡蓝色辉光,形成一个光环.处于光环下的靶材是被离子轰击严重的部位,会溅射出一条环状的沟槽.环状磁场是电子运动的轨道,环状的辉光和沟槽将其形象地表现了出来.磁控溅射靶的溅射沟槽一旦穿透靶材,就会导致整块靶材报废,所以靶材的利用率不高,一般低于40%;2、等离子体不稳定; 3、不能实现强磁性材料的低温高速溅射,因为几乎所有的磁通都通不过磁性靶子,所以在靶面附近不能加外加强磁场.由于采用高速磁控电极,可获得的离子流很大,有效提高了此工艺镀膜过程的沉积速率和溅射速率。安徽磁控镀膜机厂家排名

高能脉冲磁控溅射:自瑞典科学家采用高能脉冲作为磁控溅射的供电模式并沉积了Cu薄膜后,HPPMS自以其较高的金属离化率在近几年受到普遍关注,高能脉冲磁控溅射技术是利用较高的脉冲峰值功率和较低的脉冲占空比来产生高溅射金属离化率的一种磁控溅射技术,由于脉冲作用时间短,其平均功率不高,这样阴极不会因过热而增加靶冷却的要求。它的峰值功率是普通磁控溅射的100倍,约为1000- 3000 W/cm2,等离子体密度可以高达1018 m-3数量级,溅射材料离化率极高,溅射Cu靶可达70%,且这个高度离子化的束流不含大颗粒,生成的薄膜致密,性能优异。绍兴磁控镀膜机制造厂不但运动路径长,还是被电磁场理论束缚在靠近靶表面的等离子体区域范围内。

真空镀膜机阴极靶温度对电弧影响是非常大的,温度控制的是否及时与合理,直接影响着基材镀膜效果,以及生产效率,因此,一般厂家操作真空镀膜机都一般要请有经验懂镀膜技术的专业人员,这样既能控制成本,又能提高效率。那么真空镀膜机阴极靶温度对电弧有那些影响呢。靶源的阴极电弧放电燃烧的稳定性依赖于阴极表面的蒸发温度,降低阴极表面温度,会带来很高的电弧燃烧稳定性。同时降低阴极蒸发表面的温度,也会导致金属蒸气中的大的粒子数和大的溅射物降低。

磁控溅射镀膜技术的发展: 近年来磁控溅射技术发展非常迅速,代表性方法有平衡平衡磁控溅射、反应磁控溅射、中频磁控溅射及高能脉冲磁控溅射等等。 平衡磁控溅射:即传统的磁控溅射技术,将永磁体或电磁线圈放到在靶材背后,在靶材表面会形成与电场方向垂直的磁场。在高压作用下氩气电离成等离子体,Ar+离子经电场加速轰击阴极靶材,靶材二次电子被溅射出,且电子在相互垂直的电场及磁场作用下,被束缚在阴极靶材表面附近,增加了电子与气体碰撞的几率,即增加了氩气电离率,使氩气在低气体下也可维持放电,因而磁控溅射既降低了溅射气体压力,同时也提高了溅射效率及沉积速率。但传统磁控溅射有一些缺点,比如:低气压放电产生的电子和溅射出的靶材二次电子都被束缚在靶面附近大约60 mm的区域内,这样工件只能被安·放在靶表面50一100 mm的范围内。这样小的镀膜区间限制了待镀工件的尺寸,较大的工件或装炉量不适合传统方法。伴随碰撞频次的增多,电子能量会逐渐变弱,电子也慢慢远离靶面。

在对光学部件的表面进行涂层之后,光学镀膜在涂层上多次反射和透射,从而形成多光束干涉。控制涂层的折射率和厚度可以获得不同的强度分布。这是干涉镀膜的基本原理。 光学真空镀膜机镀膜的光学性质,例如折射率,吸收率和激光损伤阈值,主要取决于镀膜的微观结构。薄膜材料,残余气压和基材温度都可能影响薄膜的微观结构。如果在基材表面上气相沉积的原子的迁移率较低,则镀膜将包含微孔。当薄膜暴露于潮湿空气中时,这些孔逐渐被水蒸气填充。如柱面镜。在磁场的洛仑兹力影响之下,呈现螺旋线状与摆线的复合形式在靶表面作一系列圆周运动。绍兴磁控镀膜机制造厂

电子在电场的作用下加速飞向基片的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子飞向基片。安徽磁控镀膜机厂家排名

磁控溅射卷绕镀膜是采用磁控溅射(直流、中频、射频)的方法把各种金属、合金、化合物、陶瓷等材料沉积到柔性基材上,进行单层或多层镀膜。 磁控溅射卷绕镀膜设备与蒸发卷绕镀膜设备相比,生产效率较低、设备成本高,这是由镀膜原理所决定的。但磁控溅射具有镀膜温度低、可任意位置安放多个靶连续镀多层膜、镀膜材料适应范围宽、膜层厚度可控、细腻、均匀、附着牢固等优点。 磁控溅射卷绕镀膜技术由于覆盖领域普遍,虽然比蒸发卷绕镀膜技术起步晚,但发展极为迅速,在未来的高科技领域和环保节能领域将大有可为。安徽磁控镀膜机厂家排名

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