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磁控镀膜机基本参数
  • 品牌
  • 无锡光润真空科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 包装材料
  • 其他
  • 包装类型
  • 其他
磁控镀膜机企业商机

磁控溅射工艺可沉积元素有很多,常见的有:Ag、Au、C、Co、Cu、Fe、Ge、Mo、Nb、Ni、Os、Cr、Pd、Pt、Re、Rh、Si、Ta、Ti、Zr、SiO、AlO、GaAs、U、W、SnO等。磁控溅射是众多获得高质量的薄膜技术当中使用较普遍的一种镀膜工艺,采用新型阴极使其拥有很高的靶材利用率和高沉积速率,真空磁控溅射镀膜工艺现已普遍用于大面积基材的镀膜当中。该工艺不只用于单层膜的沉积,还可镀制多层的薄膜,此外,还用于卷绕工艺中用于包装膜、光学膜、贴膜等膜层镀制。磁控光学镀膜设备,配备公自转旋转系统,在线监测膜厚。完美解决了膜层附着力、硬度、耐脏污、耐摩擦性、耐溶剂性、耐老化、耐水泡及水煮等性能问题。磁控溅射具有镀膜温度低、可任意位置安放多个靶连续镀多层膜。温州磁控镀膜机

中频磁控溅射:这种镀膜方法是将磁控溅射电源由传统的直流改为中频交流电源。在溅射过程中,当系统所加电压处在交流电负半周期时,靶材被正离子轰击而溅射,而处于正半周期时,靶材表面被等离子体中的电子轰击而溅射,同时靶材表面累积的正电荷被中和,打弧现象得到压制。中频磁控溅射电源的频率通常在10一80 kHz之间,频率高,正离子被加速的时间就短,轰击靶材时的能量就低,溅射沉积速率随之下降。中频磁控溅射系统一般有两个靶,这两个靶周期性轮流作为阴极和阳极,一方面减小了基片溅伤;另一方面也消除了打弧现象。温州磁控镀膜机教程实际上,这种工艺可以沉积任何氧化物、碳化物以及氮化物材料的薄膜。

为了解决缺陷,人们在20世纪70年代替开发出了直流磁控溅射技术,它有效地克服了阴极溅射速率低和电子使基片温度升高的弱点,因而获得了迅速发展和普遍应用。 其原理是:在磁控溅射中,由于运动电子在磁场中受到洛仑兹力,它们的运动轨迹会发生弯曲甚至产生螺旋运动,其运动路径变长,因而增加了与工作气体分子碰撞的次数,使等离子体密度增大,从而磁控溅射速率得到很大的提高,而且可以在较低的溅射电压和气压下工作,降低薄膜污染的倾向;另一方面也提高了入射到衬底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的质量。同时,经过多次碰撞而丧失能量的电子到达阳极时,已变成低能电子,从而不会使基片过热。因此磁控溅射法具有“高速”、“低温”的优点。该方法的缺点是不能制备绝缘体膜,而且磁控电极中采用的不均匀磁场会使靶材产生明显的不均匀刻蚀,导致靶材利用率低,一般只为20%-30%。

真空电源,国产电源和进口电源的差距还是比较明显,当然价格也比较优惠,一台国产的20KW中频电源在8万左右,一台进口的中频电源在20万,进口电源的性能和可靠性,稳定性会更好,国产电源由于产地就在国内,可能在服务上要好于进口电源。 控制系统,现在很多的真空镀膜机都采用全自动控制,但是在自动控制中的区别还是很大的,大多数还是在半自动的状态,真正能够实现全自动控制的,一键式操作的镀膜设备还不多,而且在自动控制中是否给操作中足够的安全互锁,功能模块也是区别很大的。磁控溅射工艺可以很好地控制膜层成分、膜厚、膜厚均匀性和膜层机械性能等。

镀膜主要是为了减少反射。为了提高镜头的透光率和影像的质量,在现代镜头制造工艺上都要对镜头进行镀膜。镜头的镀膜是根据光学的干涉原理,在镜头表面镀上一层厚度为四分之一波长的物质(通常为氟化物),使镜头对这一波长的色光的反射降至低。显然,一层膜只对一种色光起作用,而多层镀膜则可对多种色光起作用。多层镀膜通常采用不同的材料重复地在透镜表面镀上不同厚度的膜层。多层镀膜可大幅度提高镜头的透光率,例如,未经镀膜的透镜每个表面的反射率为5%,单层镀膜后降至2%,而多层镀膜可降至0.2%,这样,可大幅度减少镜头各透镜间的漫反射,从而提高影像的反差和明锐度。中国真空镀膜机械行业,经过了几十年发展,形成了门类齐全、布局合理。温州磁控镀膜机教程

镀膜常用在相机镜头、近视、远视、老花镜等矫正眼镜上使用。温州磁控镀膜机

在使用真空设备过程中,其零部件还会受污染。不过这种来源的污染主要是使用条件、真空泵两方面造成的。 1、真空规管的灯丝在高温条件下蒸发,将导致陶瓷绝缘子上形成一层薄膜,对其绝缘强度有一定的损坏,对其测量的准确性也有一定的影响; 2、由于高温蒸发,会使真空中的电子的灯丝附近表面形成一层金属膜; 3、由于工件溅射,离子束刻蚀设备的内壁会被溅散物所污染; 4、真空蒸发镀膜设备的内壁会被其蒸镀靶材材料污染; 5、经常使用真空干燥系统,该系统会受蒸发出来的物质所污染; 6、真空镀膜设备中的扩散泵油、机械泵油等更是一大主要污染来源,镀膜机长期工作后,设备内部可能会形成一层油膜。温州磁控镀膜机

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