不同主泵配置的前级泵不同： （1）蒸汽流泵前级配置泵。包括扩增泵、油扩散喷射泵、油扩散泵等。 在主泵排气口的较大允许压力下，要求将主泵产生的较大气体量排出。 （2）罗茨泵串联机组。此类前级泵配置方式有两种类别：一个是罗茨泵加罗茨泵加机械泵；另一个是罗茨泵加罗茨泵加水环泵。不同的两种方式都是以罗茨泵为主泵，另一罗茨泵为前级泵的配置方式。 （3）其它常见的前级泵配置有：罗茨泵以油封机械泵为前级泵、罗茨泵前级配置水环泵以及涡轮分子泵的前级配置泵等。 只有满足了真空镀膜设备对环境的要求，才能使该设备正常运转。泰州真空镀膜设备教程
由于真空镀膜设备要在真空条件下工作，因此该设备要满足真空对环境的要求。我国制定的各类真空镀膜设备的行业标准（包括真空镀膜设备通用技术条件、真空离子镀膜设备、真空溅射镀膜设备、真空蒸发镀膜设备）都要对环境要求作了明确规定。只有满足了真空镀膜设备对环境的要求，才能使该设备正常运转，加上正确的镀膜工艺，方能生产出合格的镀膜产品。工业环境中的粉尘是以状体、烟雾体、粉尘来区分的。粉状体是粉末或固体颗粒的集中或分散状态的物质。所谓粉末是指微笑的固体颗粒的几何，而颗粒是指能够一个一个技术的微小物质。烟雾体是以固体或液体的微小颗粒呈浮状态存在于气体中的物质体系。物质无论是固体或液体，凡是呈颗粒状态均可统称为尘粒。以尘粒直径的大小来确定空气清洁度的标准，从而制订出洁净室的等级。不只适合于有洁净要求的工业部门，也适合于真空对洁净环境的要求。泰州真空镀膜设备教程真空设备的真空室或装入里面的零件是否清洗，又直接影响设备的性能。
磁控溅射真空镀膜机的主要用途有各种功能性的薄膜镀膜。所镀的膜一般能够吸收、透射、反射、折射、偏光等效果。时装装饰领域的应用，比如说各种全反射镀膜以及半透明镀膜，可适用在手机外壳、鼠标等产品上。微电子行业领域中，其是一种非热式镀膜技术，主要应用在化学气象沉积上。在光学领域中用途巨大，比如说光学薄膜(如增透膜)、低辐射玻 璃和透明导电玻璃等方面得到应用。在机械行业加工中，其表面功能膜、超硬膜等等。其作用能够提供物品表面硬度从而提高化学稳定性能，能够延长物品使用周期。
如果是说镀膜时为了调节压力使用的气体 个人认为如下：氩气如果只是节压力，一次压可以不计，但是二次压要小于0.5个大气压。氮气也是，主要是因为如果大了，会导致真空仓内的压力变化太剧烈，导致误差。如果是使用离子源，那么氩气入气量不宜过大的，大了导致离子量过大，烧坏部件。压力和上边没什么差别。 任何固体材料在大气环境下都会溶解和吸附一些气体，当材料置于真空状态时就会因为脱附、解析而出气。出气的速率与材料中的气体含量成正比。不同的材料解析的气体成分及解析的温度及时间是不同的。真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。
真空镀膜设备是由许多精密的零部件所组成的，这些零部件均经过许多机械加工流程而制作出来，如焊接、磨、车、刨、镗、铣等工序。正因为有了这些工作，导致设备零部件表面不可避免地会沾染一些加工带来的油脂、油垢、金属屑、焊剂、抛光膏、汗痕等污染物。这些污染物在真空条件下易挥发，从而对设备的极限真空造成影响。此外，这些机械加工带来的真空污染物在大气压环境中吸附大量的气体，而到了真空状态下，这些原先吸附的气体也会被再次释放出来，成为限制真空系统的极限真空的一大主要因素。为此，在真空镀膜机零件组装之前，必须先将污染物去除掉。首饰振动电镀以溅射的方法进行真空镀膜。泰州真空镀膜设备教程
真空镀膜设备应用在半导体电路、LED屏、触摸屏，刀具超硬膜、纳米材料功能性薄膜的生产。泰州真空镀膜设备教程
真空镀膜机镀膜为什么要用到高纯气体？ 在真空离子镀膜中，所选用不同气体所生产出来的，液态气体色泽也会不一样，氩气一般用作创造镀膜的环境镀钛和铬时，工业气体充入氮气可生产出银色和黄色的产品而想要生产出黑色或灰色的产品，则需要加入乙炔气体加入氧气则生产蓝色的产品。除了气体外所生产出的产品颜色还受压力、温度、时间等条件影响。在高真空度的条件下，高纯度的镀层金属（如铝）在高温下蒸发后会自由地飞散开并沉降在工件表面，形成镀层。氩气为保护性气体，防止氧化反应影响镀层质量。氩气不参与反应，只是增加气压，改善镀膜时靶的放电条件，氩气不是用于镀膜，主要用于创造镀膜的环境。氮气和氩气都是惰性气体,冲进去以后,一 可以排除氧气,防止氧化,二更具氮气和氩气在扩散泵内的含量比例不同,可以镀膜出不同的颜色.主要是为了改变镀膜出来产品的色彩。泰州真空镀膜设备教程
