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减薄机基本参数
  • 产地
  • 上海
  • 品牌
  • 坂口
  • 型号
  • 单双面研磨抛光
  • 是否定制
减薄机企业商机

立式减薄机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精度由高分辨率光柵尺检测。采用先进的中国品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸,可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。横向减薄机可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎。浙江减薄机

立式减薄机采用高精密丝杆及导轨组件,驱动方式是伺服驱动,可根据不同材质的工件及工艺要求由PLC控制的驱动模式而相应的改变丝杆的转速,也就是砂轮的进刀速度,速度0.001-5mm/min可调,控制进给精度由高分辨率光柵尺检测。采用先进的中国台湾品牌PLC和触摸屏,自动化程度高,实现人机对话,操作简单一目了然。设备可检测磨削扭力、自动调节工件磨削速度,从而防止工件磨削过程中因压力过大产生变形及破损,自动补偿砂轮磨损厚度尺寸,可使直径150晶片厚度减薄到0.08mm厚而不会破碎。横向减薄机为精密磨削设备,由真空主轴吸附工件与金刚石磨轮作相反方向高速磨削,金刚石磨轮前后摆动。小型减薄机售价横向减薄机磨削阻力小、工件不会破损。

蓝宝石减薄机是一款用于加工蓝宝石、光学玻璃、硅片、石英等晶体材料进行研磨和减横的机器。该减薄机由吸盘、砂轮、砂轮主轴及驱动组件、丝杆进给组件等组成。吸盘可分为电磁吸盘和真空吸盘,其直径大小一般为320-600mm。砂轮的大小事根据蓝宝石减薄机直径大小来定,一般有150-170-210mm的规格,砂轮的颗粒度是根据客户对工艺的要求定制。砂轮主轴采用精密的高速旋转电主轴,驱动方式为变频调速转速,可根据蓝宝石减薄机不同的工艺要求由PLC控制系统支持的驱动模式而相应改变转速3000-8000转可调。

减薄机研磨垫图形大体的功能先是研磨垫之孔隙度可以协助研磨液于研磨过程输送到不同的一些区域。还有另外的功能是协助将芯片表面的研磨产物移去。研磨垫的机械性质影响到薄膜表面的平坦度以及均匀度,所以控制结构及机械性质是非常重要的。 我们通过减薄研磨的方式对晶片衬底进行减薄,从而改善芯片散热效果,但是由于减薄后的衬底背后还存在表面损害层,残余应力会导致减薄后的外延片弯曲且容易在后续工序中碎裂,从而影响成品率。因此在减薄后应对衬底背光进行抛光。半自动双轴减薄机两个砂轮轴,无需更换砂轮即可完成粗磨+精磨加工。

多工位减薄机自定位工件座,多工位打磨提高了生产效率和打磨效果,公转平台运行过程中,对接驱动机构能够和工件轴完成自动对接,同时驱动工件轴自动旋转,提高了工位切换的流畅性。它包括公转平台,公转平台上包含多个工位,其中包括至少一个材料取放工位和多个打磨工位,每个工位上均设置有工件轴,打磨工位上安装有用于对工件轴进行自动对接并驱动工件轴进行旋转的对接驱动机构;工件轴包括负压吸盘、负压吸盘驱动轴和固定连接驱动轴上的工件轴齿轮,负压吸盘底部设置有气管旋转接头;减薄机尽量减少洁净间的占地面积;小型减薄机售价

在减薄机使用前我们应该检查真空压力值,砂轮环使用一段时间后应该及时做修锐工作。浙江减薄机

硅片减薄技术主要应用于6500V高压系列的可控硅、整流二极管、高密度二极管的生产工艺方面,单面减薄的作用是提高硅片单面的表面毫伏数,以便于下一步磷扩散工序的顺利完成。目前,国内其他企业都采用常规减薄工艺,即用磨床减薄,其存在如下问题:减薄的均匀性差,减去的厚度难以精确控制,容易碎片,而且经过金刚砂研磨,又引入杂质,造成硅片表面态难以控制。在磨削工件与吸盘之间设置了由铝、不锈钢或铝箔制成的散热工作台的新型的减薄机吸盘装置,其解决了脆性材料难磨削的问题,使用方便、安全。浙江减薄机

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