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磁控镀膜机基本参数
  • 品牌
  • 无锡光润真空科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 包装材料
  • 其他
  • 包装类型
  • 其他
磁控镀膜机企业商机

磁控溅射靶表面不均匀刻蚀。磁控溅射靶表面刻蚀不均是由靶磁场不均所导致,靶的局部位置刻蚀速率较大,使靶材有效利用率较低(只20%-30%的利用率)。因此,想要提高靶材利用率,需要通过一定手段将磁场分布改变,或者利用磁铁在阴极中移动,也可提高靶材利用率。磁控溅射工艺可制作复合靶镀合金膜,目前,采用复合磁控靶溅射工艺已成功镀上了Ta-Ti合金、(Tb-Dy)-Fe以及Gb-Co合金膜。复合靶的结构有四种,分别是圆块镶嵌靶、方块镶嵌靶、小方块镶嵌靶以及扇形镶嵌靶,其中以扇形镶嵌靶结构的使用效果为佳。磁控靶电压施加较低,磁场将等离子体约束在阴极附近,可防止较高能量的带电粒子入射到基材上。湖州磁控镀膜机生产商

真空磁控溅射镀膜技术是通过真空磁控溅射镀膜机实现的,镀膜机内由不同级别的真空泵抽气,在系统内营造出一个镀膜所需的真空环境,真空度要达到镀膜所需的本底真空,一般在(1~5)×10-8 Pa。在真空环境中向靶材(阴极)下充入工艺气体氩气(Ar),氩气在外加电场(由直流或交流电源产生)作用下发生电离生成氩离子(Ar+),同时在电场E的作用下,氩离子加速飞向阴极靶并以高能量轰击靶表面,使靶材产生溅射。在溅射粒子中,中性的靶原子(或分子)沉积在PET基片上形成薄膜。同时被溅射出的二次电子在阴极暗区被加速,在飞向基片的过程中,落入设定的正交电磁场的电子阱中,直接被磁场的洛伦兹力束缚,使其在磁场B的洛伦兹力作用下,以旋轮线和螺旋线的复合形式在靶表面附近作回旋运动。电子e的运动被电磁场束缚在靠近靶表面的等离子区域内,使其到达阳极前的行程大幅度增长,大幅度增加碰撞电离几率,使得该区域内气体原子的离化率增加,轰击靶材的高能Ar+离子增多,从而实现了磁控溅射高速沉积的特点。杭州磁控镀膜机出售随着全球制造业高速发展,真空镀膜技术应用越来越普遍。

窗膜用磁控溅射镀膜设备与离线LOW-E磁控镀膜设备的生产原理是一样的,且都是在70年代开始投入应用的。差别是一种镀在薄膜上,一种镀在玻璃上。一种是卷对卷式镀膜,一种是平板是镀膜,甚至所镀的原料都是一样的。早期的平板镀膜设备是多腔室单独控制的,一个腔室镀完,再到下个腔室。每经过一种镀层都要抽真空,充氩气的过程,效率极低。而窗膜用磁控溅射镀膜设备是是在一个真空腔体中通过卷对卷的方式完成所有镀层。效率想对较高。在早期,卷式镀膜比平板镀膜还是有效率上的优势的。后来由于玻璃行业的快速发展,连续式平板磁控镀膜设备开始出现,效率大幅度提高。也随着玻璃行业的大规模应用,各种配套、技术也相需成熟,生产成本也大幅降低。在PET薄膜上能做到的隔热性能、参数在玻璃上也都可以做到。因为窗膜终应用还是在玻璃上,目前卷式镀膜对比平板式镀膜已失去价格优势。

磁控溅射工艺可沉积元素有很多,常见的有:Ag、Au、C、Co、Cu、Fe、Ge、Mo、Nb、Ni、Os、Cr、Pd、Pt、Re、Rh、Si、Ta、Ti、Zr、SiO、AlO、GaAs、U、W、SnO等。磁控溅射是众多获得高质量的薄膜技术当中使用较普遍的一种镀膜工艺,采用新型阴极使其拥有很高的靶材利用率和高沉积速率,真空磁控溅射镀膜工艺现已普遍用于大面积基材的镀膜当中。该工艺不只用于单层膜的沉积,还可镀制多层的薄膜,此外,还用于卷绕工艺中用于包装膜、光学膜、贴膜等膜层镀制。磁控光学镀膜设备,配备公自转旋转系统,在线监测膜厚。完美解决了膜层附着力、硬度、耐脏污、耐摩擦性、耐溶剂性、耐老化、耐水泡及水煮等性能问题。磁控溅射工艺可沉积元素有很多。

镀制好的基片从真空室内输送到大气中后, 一般还要经过清洗及检测。清洗的要求没有前处理那么严格。目的是使膜层的缺陷更容易暴露出来, 以便在后续的检测中被发现。较简单的检测就是目测, 为便于观察, 基片的底部分布有光源, 可以发现针洞的存在和数量, 有无放电的痕迹。出线端的透过率检测仪可以指出膜层之后的透过率。也可以在基片范围内布置多道探头, 采集数据由计算机处理来评估膜层的纵向和横向的均匀性及有无异常。对于特殊用途的光学薄膜出线后即进入净化室, 覆上一层保护用的带胶薄膜后存放。磁控溅射工艺可制作复合靶镀合金膜。丽水磁控镀膜机企业

溅射产额随入射离子能量变化的简单示意图,简称溅射曲线。湖州磁控镀膜机生产商

大多数塑料在真空镀膜之前,一般先要涂覆底涂层,主要原因是有以下几点: 一:塑料在成型后,表面肯定有的粗糙度,比如有0.5um的粗糙度。 真空镀膜层很薄,很难掩盖基材表面的凹凸不平,如果采用底涂技术,光固化涂层厚度约10~20um,涂层自身粗糙度在0.1um以下,因此可大幅度提高镀层的光亮度。 二:塑料中含有水分、残留溶剂、单体、低聚合物、增塑剂等,挥发性小分子会在真空或升温环境下逸出表面,严重影响真空镀层对基材的附着力,而采用底涂技术就可阻碍这些小分子的逸出,提高真空镀层对基材的附着力。 三:塑料基材与真空镀层通常为金属)两者热膨胀系数相差很大,在真空镀膜升温、降温过程中膜层容易破裂,膜层越厚,破裂的可能性越大,因此选用合适的涂层作为过渡层,可以减少内应力的积累和破裂的发生。湖州磁控镀膜机生产商

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