新型磁控溅射镀膜机具有靶角度可调、溅射距离可调、射频/直流兼容、多靶自动控制、离子束预清洗、离子束辅助沉积等特点。设备的极限真空可达到6.6×10-5Pa,工作真空控制在0.05Pa-10Pa之间,稳定性良好。实验数据表明,该镀膜机可对4-6寸基片进行镀膜,薄膜均匀性在5%以内,较优均匀性可达2.67%。磁控溅射镀膜设备,可以在陶瓷、玻璃、石英、硅片等基底材料上溅镀金属、非金属、氧化物、介质等材料的薄膜。溅镀膜层均匀、致密、附着力强,可应用到新型电子材料制备及光学、太阳能、半导体等领域。整机采用立式柜体结构设计安装使用方便,插电即用。台州磁控镀膜机种类
真空系统设计是一个相对成熟的设计部分,主要包括下面四个部分: (1)室体结构——由系统工作方式设定其设计形式。真空室可设计为单室,多室和生产线等形式,并可以选择诸如连续、半连续等生产方式。对于生产平板基片的室体来说,应该进行强度、刚度、稳定性等优化设计,同时考虑加工工艺的可行性和简易性。 (2)材料选择——按照真空工艺要求,选择满足饱和蒸气压低,热稳定性和化学稳定性好,易除气,透气率小等要求的材料21。例如,奥氏体不锈钢,铝合金,无氧铜等。对于大尺寸设备,为降低设备整体或移动部件的重量,可以优先选取铝合金等轻质金属材料。 (3)真空元件的设计——真空密封,电极引入,管路和阀门等。不同的工艺条件所选用的真空元件不同。 (4)真空泵和真空计的选择——一般可按照常见的工程要求进行设计。精确的设计需要定量的计算真空室内的工艺气体密度分布。不同种类的气体和不同的真空室清洁程度的要求需要选用不同的真空泵和真空计。真空泵的返油会对基片造成污染,氧气等反应气体会氧化泵油,因此,常选用干式无油真空泵作为真空抽气系统。 常州磁控镀膜机直销磁控溅射所利用的环状磁场迫使二次电子跳栏式地沿着环状磁场转圈。
主要用于汽车、火车、轮船等前挡及玻璃门窗的贴膜,建筑门窗及幕墙贴膜,防静电和电磁贴膜,装饰贴膜和包装膜、太阳能暖房贴膜,电加热器膜,防霜雾透明膜,FPD平板显示用透明电极膜,在金属带上镀光学多层膜做薄膜太阳能电池等。如ITO透明导电膜可以作为冷发光材料,在棉布表面镀上SiO2可制成防电磁辐射的防护服,镀Ni的海绵绕制后可做镍氢电池,镀上多种材料的基材可做电子书、柔性显示器件等。磁控溅射卷绕镀膜技术由于覆盖领域普遍,虽然比蒸发卷绕镀膜技术起步晚,但发展极为迅速,在未来的高科技领域和环保节能领域将大有可为。
为了解决缺陷,人们在20世纪70年代替开发出了直流磁控溅射技术,它有效地克服了阴极溅射速率低和电子使基片温度升高的弱点,因而获得了迅速发展和普遍应用。 其原理是:在磁控溅射中,由于运动电子在磁场中受到洛仑兹力,它们的运动轨迹会发生弯曲甚至产生螺旋运动,其运动路径变长,因而增加了与工作气体分子碰撞的次数,使等离子体密度增大,从而磁控溅射速率得到很大的提高,而且可以在较低的溅射电压和气压下工作,降低薄膜污染的倾向;另一方面也提高了入射到衬底表面的原子的能量,因而可以在很大程度上改善薄膜的质量。同时,经过多次碰撞而丧失能量的电子到达阳极时,已变成低能电子,从而不会使基片过热。因此磁控溅射法具有“高速”、“低温”的优点。该方法的缺点是不能制备绝缘体膜,而且磁控电极中采用的不均匀磁场会使靶材产生明显的不均匀刻蚀,导致靶材利用率低,一般只为20%-30%。低能电子会沿着磁力线来回振荡,直至电子能量快耗尽的时候,受电场影响而终会沉积于基材上。
真空磁控溅射镀膜特别适用于反应沉积镀膜,实际上,这种工艺可以沉积任何氧化物、碳化物以及氮化物材料的薄膜。此外,该工艺也特别适合用于多层膜结构的沉积,包括了光学设计、彩色膜、耐磨涂层、纳米层压板、超晶格镀膜、绝缘膜等。早在1970年,已经有了高质量的光学薄膜沉积案例,开发了多种光学膜层材料。这些材料包括有透明导电材料、半导体、聚合物、氧化物、碳化物以及氮化物等,至于氟化物则多是用在蒸发镀膜等工艺当中。磁控溅射镀膜设备采用中频磁控溅射及多弧离子相结合技术,适用于塑胶、玻璃、陶瓷、五金等产品,如眼镜、手表、手机配件、电子产品、水晶玻璃等。膜层的附着力、重复性、致密度、均匀性好,具有产量大,产品良率高等特点。相应地,环状磁场控制的区域是等离子体密度较高的部位。台州磁控镀膜机种类
磁控光学镀膜机,配备公自转旋转系统,在线监测膜厚。台州磁控镀膜机种类
磁控溅射镀膜的适用范围: 1、建材及民用工业中 2、在铝合金制品装饰中的应用 3、优良产品零/部件表面的装饰镀中的应用 4、在不锈钢刀片涂层技术中的应用 5、在玻璃深加工产业中的应用 磁控溅射镀膜注意事项: 1、辐射:有些镀膜要用到射频电源,如功率大,需做好屏蔽处理。另外,欧洲标准在单室镀膜机门框四周嵌装金属线屏蔽辐射; 2、金属污染:镀膜材料有些(如铬、铟、铝)是对人体有害的,特别要注意真空室清理过程中出现的粉尘污染; 3、噪音污染:如特别是一些大的镀膜设备,机械真空泵噪音很大,可以把泵隔离在墙外; 4、光污染:离子镀膜过程中,气体电离发出强光,不宜透过观察窗久看。台州磁控镀膜机种类
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