离子源
(英文名称:Ion source)是使中性原子或分子电离,并从中引出离子束流的装置。它是各种类型的离子加速器、质谱仪、电磁同位素分离器、离子注入机、离子束刻蚀装置、离子推进器以及受控聚变装置中的中性束注入器等设备的不可缺少的部件。
气体放电、电子束对气体原子(或分子)的碰撞,带电粒子束使工作物质溅射以及表面电离过程都能产生离子,并被引出成束。根据不同的使用条件和用途,已研制出多种类型的离子源。使用较广的有弧放电离子源、PIG离子源、双等离子体离子源和双彭源这些源都是以气体放电过程为基础的,常被笼统地称为弧源。高频离子源则是由气体中的高频放电来产生离子的,也有很广的用途。新型重离子源的出现,使重离子的电荷态明显提高,其中较成熟的有电子回旋共振离子源(ECR)和电子束离子源(EBIS)。负离子源性能较好的有转荷型和溅射型两种。在一定条件下,基于气体放电过程的各种离子源,都能提供一定的负离子束流。离子源是一门具有较广应用领域的学科,在许多基础研究领域如原子物理、等离子化学、核物理等研究中,离子源都是十分重要不可缺少的设备。 浙江真空镀膜机厂家,哪家好?湖南**真空镀膜机生产
真空镀膜的运作原理:相沉积(Physical Vapor Deposition,PVD)技术表示在真空条件下,采用物理方法,将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子,并通过低压气体(或等离子体)过程,在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术。
真空镀膜方法
真空镀膜常用的方法有真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜和离子镀膜3种。图1为3种常见真空镀膜法的原理示意图。
真空蒸发镀膜在真空环境下加热镀膜材料,使它在极短时间内蒸发,蒸发了的镀膜材料分子沉积在塑料表面上形成镀膜层。此法简单便利、操作容易、成膜速度快、效率高,是薄膜真空制备中较为广使用的技术,但薄膜与基体结合较差,工艺重复性不好,只能蒸发铝这样的低熔点金属。
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弧放电离子源
在均匀磁场中,由阴极热发射电子维持气体放电的离子源。为了减少气耗,放电区域往往是封闭的。阳极做成筒形,轴线和磁场方向平行。磁场能很好地约束阴极所发射的电子流,在阳极腔中使气体的原子(或分子)电离,形成等离子体密度很高的弧柱。离子束可以垂直于轴线方向的侧向引出,也可以顺着轴线方向引出。
阳极层离子源
若是镀工具耐磨层,一般厚度较大而对膜厚均匀性要求不高,可采用离子电流较大能级也较高的离子源,如霍尔离子源或阳极层离子源。阳极层离子源,与霍尔离子源原理近似。在一条环形(长方形或圆形)窄缝中施加强磁场,在阳极作用下使工作气体离子化并在射向工件。阳极层离子源可以做得很大很长,特别适合镀大工件,如建筑玻璃。阳极层离子源离子电流也较大。但其离子流较发散,且能级分布太宽。一般适用于大型工件,玻璃,磨损,装饰工件。但应用于光学镀膜并不太多。
不同领域对于真空镀膜设备的需求都是不同的,所以真空镀膜设备厂家需要着重观察市场,这对于真空镀膜设备的发展是有着很大的帮助的。
1.冶炼及冶金行业 我国炉外脱气精炼今后要增加50%以上(根据不同品种)。真空脱气机组的需求约为10~15亿<BR>元/年。其次是真空冶金炉,如真空感应炉、真空电弧炉和真空电阻炉等冶炼合金钢的基本设备。
2.真空热处理行业 我国真空热处理行业提出2010年基本完成以少氧化热处理为中心的技术改造,预计至少需要5000~8000 台先进设备。
3.电工行业今后我国电机制造业的目标是上品种、上档次、降低能耗和物耗,扩大出口。
4.电子信息行业预测2010年我国将成为世界上第二大半导体集成电路市场。总需求量为1000多亿块,达到1000亿以上的总金额。
5.食品工业 用于食品工业中的主要真空设备有真空冷冻干燥机、真空包装机、真空封罐机、真空浸渍和真空保鲜装置等。食品保鲜与加工设备,拥有巨大的市场潜力。
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不同的真空镀膜设备厂家的实力都是不同的,所以我们需要学会相应的判断方法,下面一起来看看真空镀膜设备厂家的实力判断方法。
1.经验。真空镀膜设备的维护保养等许多技能都是一样的,有着丰富的经验来应对各种情况,保证良好的效果。
2.成功的故事。真空镀膜设备的维修案例是直接的强度见证之一。真空镀膜设备的维护需要实际操作,不仅包括真空镀膜设备本身,还包括真空镀膜设备等专业配置。毕竟,配置是真空镀膜设备维护的重要前提。
3.售后服务。售后服务是真空镀膜设备维修的重要保证之一。完善的售后服务是真空镀膜设备维护保养的一部分。
4.必须保证维修零件。每个企业很难在每个行业都有一个高水平,这就是为什么分工越来越细。
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真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。真空镀膜设备若有灰尘,将会影响真空镀膜的效果和质量。首先,被镀膜材料表面肯定是有灰尘的,在尽量减小材料表面灰尘的前提下,我们还应当注意以下几点:
1、真空镀膜设备使用一段时间后,必须要对设备进行清洁维护;
2、规范操作人员及操作要求,包括穿戴专业的服装、手套、脚套等;
3、严格处理衬底材料,做到清洁干净,合乎工艺要求;
4、源材料符合必要的纯度要求;
5、保证设施设备及操作环境清洁。如材料、样品放置地环境要求,环境温度湿度要求等;
6、降低真空镀膜设备室内空气流动性低、尽量减小室外灰尘侵入。 湖南**真空镀膜机生产
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