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离子镀蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面,称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。一种离子镀系统如图4[离子镀系...
磁控溅射卷绕镀膜机磁控溅射的构成例(W35系列)对树脂基膜等基材以卷到卷方式采用磁控溅射方法形成透明导电膜(ITO,ZnO等)・光学膜(SiO2,SiOx,NbOx等)镀膜的磁控溅...