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三角运算给出其中叠加后的振幅为可以看到， 叠加后的振幅与两列波的初始相位差有关。 由于幅度变化依赖于相位差的余弦函数， 这种幅度的变化有时候在空间表现为周期性的条纹。 这种条纹有时候叫做干涉条纹， 由于相位差变化引起的幅度变化有时也称为条纹移动。分类干涉仪的分类有不同分法按照结构区分干涉仪可以分为单路径干涉仪和多路径干涉仪两类， 其差异在于干涉的波是否通过同一路径传播。 例如迈克尔逊干涉仪就是常见的多路径干涉仪， 而Sagnac干涉仪， 等倾干涉和等厚干涉等即为单路径干涉仪（钟锡华， 陈熙谋， 2002） [3]。光束分割：通过分束器将激光束分成两部分，通常称为参考光束和测量光束。虎丘区定制双频激光干涉仪量大从优

干涉仪是一种使用干涉测量技术的光学计量仪器，其思想在于利用波的叠加性来获取波的相位信息，从而获得实验所关心的物理量。以下是对干涉仪的详细介绍：一、基本原理具有固定相位差的两列准单色波的叠加将导致振幅发生变化，从而可以通过测量较容易测量的振幅来获取波的相位信息。由于幅度变化依赖于相位差的余弦函数，这种幅度的变化有时候在空间表现为周期性的条纹，即干涉条纹。基本构成干涉仪一般由光源、分束器、反射镜、干涉屏（或检测器）等组成。光源发出的光经过分束器被分成两束，分别经由反射镜反射回来，并在干涉屏（或检测器）上产生干涉图样。其中，各元件的功能如下：虎丘区定制双频激光干涉仪量大从优它通常用于高精度的位移、振动、形变等物理量的测量。

激光干涉测量仪是一种基于激光干涉原理的高精度计量仪器，广泛应用于工程与技术科学领域 [1-2]。该仪器通过测量激光波长变化实现几何量的检测，具备抗干扰能力强、精度高等特点。主要应用场景包括数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准等，通过与不同光学组件结合，可检测线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数 [2]截至2020年11月，激光干涉测量仪的技术参数包括 [1]：标准量程：0-40米测量精度：±0.5 ppm分辨率：1纳米比较大速率：240米/分钟角度测量精度：0.2%

双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器。双频激光干涉仪可以在恒温，恒湿，防震的计量室内检定量块，量杆，刻尺和坐标测量机等。它既可以对几十米的大量程进行精密测量，也可以对手表零件等微小运动进行精密测量，既可以对几何量如长度、角度．直线度、平行度、平面度、垂直度等进行测量，也可以用于特殊场合，诸如半导体光刻技术的微定位和计算机存储器上记录槽间距的测量等等。光束合并：两束光在分束器后重新合并，形成干涉图样。

基于菲索干涉仪的等厚干涉原理设计，通过对比被测平面与标准参照镜的干涉条纹变化，实现光学元件表面形状误差和材料均匀性的非接触式测量 [1] [3-4]。标准参照镜面形精度通常达到p-v:λ/20 [3-4]。测量口径：Φ60mm（典型型号） [3-4]对准方式：两点对准系统 [3-4]结构特性：小型化设计、防尘性能优异 [3-4]精度范围：根据型号不同覆盖1/10-1/100波长梯度 [11.光学制造：检测平面镜、棱镜等光学元件表面面型2.质量检测：评估光学材料均匀性与透镜波前像差 [1]3.科研实验：实验室环境下进行精密光学计量分析它通过多次反射在两个平面镜之间形成干涉。姑苏区购买双频激光干涉仪设备厂家

现代的双频激光干涉仪测速普遍达到1m/s，有的甚至于十几m/s，适于高速动态测量。虎丘区定制双频激光干涉仪量大从优

（3）数控转台分度精度的检测及其自动补偿 现在，利用ML10激光干涉仪加上RX10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置，以任意角度间隔进行全自动测量，其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间，而且还得到完整的回转轴精度曲线，知晓其精度的每一细节，并给出按相关标准处理的统计结果。（4）双轴定位精度的检测及其自动补偿 雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。虎丘区定制双频激光干涉仪量大从优

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