吴中区销售双频激光干涉仪产品介绍

激光干涉测量仪是一种基于激光干涉原理的高精度计量仪器，广泛应用于工程与技术科学领域 [1-2]。该仪器通过测量激光波长变化实现几何量的检测，具备抗干扰能力强、精度高等特点。主要应用场景包括数控机床校准、三坐标机校准、光学平台校准等，通过与不同光学组件结合，可检测线性位移、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度等参数 [2]截至2020年11月，激光干涉测量仪的技术参数包括 [1]：标准量程：0-40米测量精度：±0.5 ppm分辨率：1纳米比较大速率：240米/分钟角度测量精度：0.2%测量精度不受空气湍流的影响，无需预热时间。吴中区销售双频激光干涉仪产品介绍

光源：提供相干光，通常是激光，因为激光具有高度的相干性，能够产生稳定的干涉条纹。分束器：将光束分成两部分，通常使用半透半反镜或分光棱镜。反射镜：调节光程差，确保两束光在干涉屏（或检测器）上相遇时具有合适的相位差。干涉屏（或检测器）：显示干涉结果，或将干涉后的光束转换为电信号进行进一步分析。三、分类干涉仪可以按照不同的分类原则进行分类，常见的分类方法包括：按结构区分：分为单路径干涉仪和多路径干涉仪。单路径干涉仪中，干涉的波通过同一路径传播，如Sagnac干涉仪、等倾干涉和等厚干涉等；而多路径干涉仪中，干涉的波通过不同的路径传播，如迈克尔逊干涉仪。吴中区销售双频激光干涉仪产品介绍激光的出现在世界计量史上具有重大的意义。

这种无规则的变化较难通过触发电平的自动调整来补偿，因而限制了单频干涉仪的应用范围，只有设法用交流测量系统代替直流测量系统才能从根本上克服单频激光干涉仪的这一弱点。而双频激光干涉仪正好克服了这一弱点，它是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。和单频激光干涉仪一样，双频激光干涉仪也是一种以波长作为标准对被测长度进行度量的仪器，所不同者，一方面是当可动棱镜不动时，前者的干涉信号是介于**亮和**暗之间的某个直流光平，而后者的干涉信号是一个频率约为1.5MHz的交流信号；

常见的干涉仪包括：迈克尔逊干涉仪：由阿尔伯特·迈克尔逊发明，主要用于测量光的波长、干涉条纹的变化等。它通过将光束分成两部分，分别经过不同的路径后再合并，形成干涉图样。法布里-佩**涉仪：由查尔斯·法布里和阿尔弗雷德·佩罗发明，主要用于高精度的光谱分析。它通过多次反射在两个平面镜之间形成干涉。光纤干涉仪：利用光纤中的光波干涉现象，广泛应用于传感器、通信等领域。干涉仪的应用包括测量微小位移、折射率、波长、材料的光学特性等。在科学研究和工业检测中，干涉仪是一种非常重要的工具。当两束不同频率的激光光束经过分束器分开后，经过被测物体的反射或透射后再合并，形成干涉条纹。

分类激光干涉仪主要分为单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种：单频激光干涉仪：在20世纪60年代中期出现，**初用于检定基准线纹尺，后用于在计量室中精密测长。它对环境要求较高，周围大气需处于稳定状态，以避免空气湍流对测量结果的影响。双频激光干涉仪：出现于1970年，适宜在车间中使用。它应用频率变化来测量位移，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，因此抗干扰能力强。双频激光干涉仪常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。三、应用光程传播：参考光束和测量光束分别经过不同的路径，可能会经过被测物体或介质。吴中区购买双频激光干涉仪选择

用稳频的氦氖激光器作为光源，由于它的相干长度很大，干涉仪的测量范围可以扩展；吴中区销售双频激光干涉仪产品介绍

（1）几何精度检测 可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。（2）位置精度的检测及其自动补偿 可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用雷尼绍ML10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差，而且还能通过RS232接口自动对其线性误差进行补偿，比通常的补偿方法节省了大量时间，并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差，同时可比较大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到比较好精度，另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。吴中区销售双频激光干涉仪产品介绍

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