PCD超精密晶圆卡盘

现有物理打磨技术,接触式加工,磨损基石，需要切削油,加工后需要清洗，异形件打磨和局部打磨有难度。纳秒激光打磨有以下问题：产生细微裂纹，熔化-再凝固产生热变形，表面物性发生变化，周围会产生多个颗粒。飞秒激光打磨：改善现有打磨技术的问题-热影响极小，可以局部打磨，异形件打磨，不需要化学药剂-细微裂纹极少化表面物理特性变化少，在不改变物性值的情况下，提高表面粗糙度。高功率激光打磨：测量高度→获取高度数据→转换成面数据→去除表面凸起中等功率，利用中等功率激光可以刻画低功率时具有，清洗效果；抛光效果（也有去除微孔边缘毛刺的效果）抛光后，[AOI（自动光学检查）]对孔不良进行检测（手动或自动）（光学相机扫描仪）材料的边缘测量和修正材料位置误差。非常适合异形件打磨、抛光。局部打磨抛光。陶瓷轴承的超精密加工需兼顾硬度与韧性，保证高速运转下的可靠性。PCD超精密晶圆卡盘

微泰半导体流量计精密元件半导体流量计的精密组件，可精确测量半导体制造过程中使用的各种气体和液体的流量，并提供实时数据来严格控制该过程。由主体（Body）、叶片(impeller)、钨轴和钎焊轴组成。铝、不锈钢（SUS304、SUS316）、聚甲醛（POM）、可采用聚醚醚酮(PEEK)材料加工，提供1/2"、3/4"、1"、11/4"尺寸。模组型产品尺寸：1/2英寸、9/4英寸、1英寸、11/4英寸材料:AL6061,SUS304,SUS316,POM,PEEK零件包括：主体、叶片、钨轴和钎焊轴。半导体流量计适用于半导体设备的流量计，具有高精度的流量检测功能，能够承受从低到高的温度变化，并能将传感器和转换器等部件降到比较低，从而提高空间利用率。微加工超精密超精密加工环境的湿度控制可防止材料吸湿变形，保证加工稳定性。

精密零件的加工生产离不开精密切削技术，半导体/LCD、MLCC、二次电池等领域尤其使用精密零件。一般磨削技术的问题是，磨削后要根据叶轮磨损量继续进行修整，修整后叶轮表面会发生细微变化，因此很难保持相同的质量。相反，ELID研磨技术可以解决这些问题，因为无需研磨即可连续工作。微泰的ELID（在线砂轮修正）技术和经验为基础，实现高精度的切削加工技术，由此生产的产品具有一般难以生产的高精度平坦度和质量。提高真空板（VACUUM板）表面粗糙度，改善刀片的表面粗糙度，减少研磨时的Burr，无需手动调整可以连续稳定作业。刀片可以做到，材料：碳化钨、氧化锆等。刀片厚度（t1）：100㎛叶片。边缘厚度（t2）：低于0.2㎛。刀刃线性度：低于5㎛。刀刃对称性：低于3㎛。刀片边缘粗糙度：Ra0.02㎛。角度（θ）精度：±0.3°

超精密加工的特点包括：1.高精度：能够实现极高的加工精度，通常在微米甚至纳米级别。2.高表面质量：加工表面具有极低的粗糙度，接近镜面效果。3.材料适应性广：适用于各种金属、非金属材料，包括硬脆材料如陶瓷、玻璃等。4.复杂形状加工：能够加工形状复杂、结构精细的零件。5.高效率：通过优化的工艺参数和先进的设备，实现高效率的生产。6.高成本：由于设备、刀具和工艺的特殊性，超精密加工的成本相对较高。微泰超精密加工承接各类精密加工需求。超精密加工能改善零件的摩擦性能，延长机械系统的使用寿命。

微泰利用先进的飞秒激光螺旋钻孔系统和独有ELID（电解在线砂轮修正技术），飞秒激光抛光技术，生产各种超精密零部件。用于半导体加工真空板薄膜真空板倒装芯片工艺真空块MLCC贴合用真空板薄膜芯片粘接工具，镜头模组组装治具。用自主自主技术，飞秒激光螺旋钻孔系统，加工出来的微孔不同于连续波激光，纳秒激光，皮秒激光加工出来的微孔，平整，热变形和物理变形很小，可以做到，1.孔径至少为20微米2.能够加工MIN0.3微米孔距3.MLCC贴合真空板4.在一块真空板上，能够处理多达八十万个孔5.各种形状的孔6.同一截面的不规则孔7.可混合加工不规则尺寸的孔有问题请联系，上海安宇泰环保科技有限公司超精密加工设备的导轨精度需达到纳米级，确保进给运动的直线度。PCD超精密晶圆卡盘

超精密研磨中的磨料粒度需精确控制，直接影响加工表面的光洁度。PCD超精密晶圆卡盘

美国是早期研制开发超精密加工技术的国家。早在1962年，美国就开发出以单点金刚石车刀镜面切削铝合金和无氧铜的超精密半球车床，其主轴回转精度为 0.125µm，加工直径为Ø100mm的半球，尺寸精度为±0.6µm，粗糙度为Ra0.025µm。1984年又研制成功大型光学金刚石车床，可加工重1350kg，Ø1625mm的大型零件，工件的圆度和平面度达0.025µm，表面粗糙度为Ra0.042µm。在该机床上采用多项新技术，如多光路激光测量反馈控制，用静电电容测微仪测量工件变形，32位机的CNC系统，用摩擦式驱动进给和热交换器控制温度等。美国利用自己已有的成熟单元技术，只用两周的时间便组装成了一台小型的超精密加工车床(BODTM型)，用刀尖半径为5～10nm的单晶金刚石刀具，实现切削厚度为1nm (纳米)的加工。尽管如此，美国还是继续把微米级和纳米级的加工技术作为国家的关键技术之一，这足以说明美国对这一技术的重视。PCD超精密晶圆卡盘