双频激光干涉仪是一种利用两种不同频率的激光光源进行干涉测量的仪器。它通常用于高精度的位移、振动、形变等物理量的测量。双频激光干涉仪的工作原理基于光的干涉现象,即当两束相干光相遇时,会产生干涉条纹,条纹的变化可以用来精确测量物体的位移或其他物理量。主要特点和应用:高精度:双频激光干涉仪能够实现亚纳米级别的测量精度,适用于微小位移的检测。抗干扰能力强:由于使用了两种不同频率的激光,干涉仪对环境噪声和振动的抗干扰能力较强。光束合并:两束光在分束器后重新合并,形成干涉图样。工业园区销售双频激光干涉仪设备厂家

双频激光干涉仪激光干涉仪在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应, 激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为*含有f1的光束,另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。吴中区附近双频激光干涉仪维保接受信号为交流信号,前置放大器为高倍数的交流放大器,不用直流放大,故没有零点漂移等问题。

这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的,这种位移信息载于f1和f2的频差上,对由光强变化引起的直流电平变化不敏感,所以抗干扰能力强。它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度,也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。利用相应附件,还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。
5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件,应当保持良好的润滑。因此必要时要使用精密仪表油润滑。6、在使用时应避免强旋、硬扳等情况,合理恰当的调整部件。7、避免划伤或腐蚀导轨面丝杆,保持其不失油。1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内,防止振动,仪器搬动 时,应托住底座,以防导轨变形。 2、光学零件不用时,应存放在清洁的干燥盆内,以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭,必要擦拭时,须先用备件毛刷小心掸去灰尘,再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和**混合液轻拭。3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分,应用T5精密仪表油润滑。法布里-干涉仪:由查尔斯·法布里和阿尔弗雷德·佩罗发明,主要用于高精度的光谱分析。

反射光和透射光分别垂直入射到全反射镜M1和M2,它们经反射后回到G1(左)的半透半反射膜处,再分别经过透射和反射后,来到观察区域E。G2(右)为补偿板,它与G1为相同材料,有相同的厚度,且平行安装,目的是要使参加干涉的两光束经过玻璃板的次数相等,两束光在到达观察区域E时没有因玻璃介质而引入额外的光程差。当M2和M1'严格平行时,表现为等倾干涉的圆环形条纹,移动M2时,会不断从干涉的圆环中心“吐出”或向中心“吞进”圆环。两平面镜之间的“空气间隙”距离增大时,中心就会“吐出”一个个条纹;反之则“吞进”。M2和M1'不严格平行时,则表现为等厚干涉条纹,移动M2时,条纹不断移过视场中某一标记位置,M2平移距离 d 与条纹移动数 N 的关系满足:d=Nλ/2,λ为入射光波长。光电探测器将光信号转为电信号,经电路处理提取差频变化量,然后通过相位比较或脉冲计数来计算位移。吴江区销售双频激光干涉仪五星服务
其原因在于它是一种直流测量系统,必然具有直流光平和电平零漂的弊端。工业园区销售双频激光干涉仪设备厂家
激光干涉测量仪通过双频激光技术实现高精度线性位移测量,适用于车间生产环境下的数控机床校准、三坐标机校准及光学平台校准。其测量镜组可扩展功能,支持直线度、垂直度等几何量检测 [2]。该仪器的系统包括 [2]:1.双频激光头及附件2.环境补偿单元3.测量软件、分析软件4.各类测量镜组激光干涉测量仪的优势包括紧凑设计、自动环境补偿及符合测校国家标准的测量分析软件。截至2023年8月,典型型号LH3000的测量速度可达2米/秒,频差为7±0.5MHz [2]。工业园区销售双频激光干涉仪设备厂家
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