超精密气体流量阀

超精密加工的机理研究：包括微细加工机理研究；微观表面完整性研究；在超精密范畴内的对各种材料（包括被加工材料和刀具磨具材料）的加工过程、现象、性能以及工艺参数进行提示性研究1。超精密加工的设备制造技术研究：如纳米级超精密车床工程化研究；超精密磨床研究；关键基础件，像轴系、导轨副、数控伺服系统、微位移装置等研究；超精密机床总成制造技术研究1。超精密加工工具及刃磨技术研究：例如金刚石刀具及刃磨技术、金刚石微粉砂轮及其修整技术研究1。超精密测量技术和误差补偿技术研究：包含纳米级基准与传递系统建立；纳米级测量仪器研究；空间误差补偿技术研究；测量集成技术研究1超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。超精密气体流量阀

超精密加工技术当前是指被加工零件的尺寸和形状精度高于0.1μm，表面粗糙度Ra小于0.025μm，以及机床定位精度的分辨率和重复性高于0.01μm的加工技术，亦称之为亚微米级加工技术，目前正在向纳米级加工技术发展。超精密加工技术在国际上处于前地位的国家是美国、英国和日本。美国是开展超精密加工技术研究很早的国家，也是迄今处于前方地位的国家。英国的克兰菲尔德精密工程研究所(简称CUPE)享有较高声誉，是当今世界上精密工程的研究中心之一。日本的超精密加工技术的研究相对于英美来说起步较晚，但它是当今世界上超精密加工技术发展很快的国家。尤其在用于声、光、图像、办公设备中的小型、超小型电子和光学零件的超精密加工技术方面，甚至超过了美国。自动化超精密液体流量阀超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有要求，需要综合应用精密机械和其他先进技术。

通常，按加工精度划分，机械加工可分为一般加工、精密加工、超精密加工三个阶段。目前，精密加工是指加工精度为10~0.1µm，表面粗糙度为Ra0.1~0.01µm，公差等级在IT5以上的加工技术。但一般加工、精密加工和超精密加工只是一个相对概念，其间的界限将随着加工技术的进步不断变化，现在的精密加工可能就是明天的一般加工。凸起字样被缓慢地往下压进底部，变成平滑表面看似现代科技的超精密加工，其实在上个世纪早已出现超精密加工的发展经历了如下三个阶段：（1）20世纪50年代至80年代为技术开创期出于航天、大规模集成电路、激光等技术发展的需要，美国率先发展了超精密加工技术，开发了金刚石刀具超精密切削——单点金刚石切削(Singlepointdiamondturning，SPDT)技术，又称为“微英寸技术”，用于加工激光核聚变反射镜、战术导弹及载人飞船用球面、非球面大型零件等。（2）20世纪80年代至90年代为民间工业应用初期在相关机构的支持下，美国的摩尔公司、普瑞泰克公司开始超精密加工设备的商品化，而日本的东芝和日立以及欧洲Cranfield大学等也陆续推出产品，并开始用于民间工业光学组件的制造。但当时的超精密加工设备依然高贵而稀少，主要以特殊机的形式订作。

激光钻孔是一种非接触式孔加工工艺，使用高度集中的光束在从金属到非金属和聚合物等各种材料上钻孔。利用高功率激光脉冲或摆动钻孔技术，激光钻孔可以穿透较薄或较厚的材料。激光钻孔系统既能进行点射钻孔，也能进行即时钻孔，以减少对系统运动的干扰。激光钻孔具有高度精确性和可重复性，几乎能钻出任何形状和尺寸的孔，直径小至几微米，分辨率较高。作为一种非接触式工艺，激光钻孔是制造深度直径比超过10:1的低锥度、高剖面比孔的方法之一。根据材料特性，激光钻孔每秒可钻数百甚至数千个孔。超精密激光切割的切缝小、变形小、切割面光滑、平整、美观，无须后序处理。

精密加工技术能辅助的产业很广，举凡机械、汽车、半导体、航太等，只要想提升产品的精致度与品质，就需仰赖精密加工的辅助，其精细的品质，能大幅提升许多高科技工业的「设计」与「技术」，进而提升产品的竞争力。像与我们长期合作的半导体产业，也因为拥有了精细的零件，所以能大量生产出品质优良的晶圆。到底精密加工是什么呢？与一般加工方式有何差异？除了高规格工业外还能应用在哪呢？精密加工定义是什么？与粗加工哪里不同？对于大件产品的加工，大件产品的模具制造费用很高，激光超精密加工不需任何模具制造。微米级超精密机器人零件

超精密激光加工是可以高速制造精密零件的加工技术，它可以减少工业废物，同时将有害物质的排放量降低。超精密气体流量阀

在过去相当长一段时期，由于受到西方国家的禁运限制，我国进口国外超精密机床严重受限。但当1998年我国自己的数控超精密机床研制成功后，西方国家马上对我国开禁，我国现在已经进口了多台超精密机床。我国北京机床研究所、航空精密机械研究所（航空303）、哈尔滨工业大学、科技大学等单位现在已能生产若干种超精密数控金刚石机床。北京机床研究所是国内进行超精密加工技术研究的主要单位之一，研制出了多种不同类型的超精密机床、部件和相关的高精度测试仪器等，如精度达0.025μm的精密轴承、JCS—027超精密车床、JCS—031超精密铣床、JCS—035超精密车床、超精密车床数控系统、复印机感光鼓加工机床、红外大功率激光反射镜、超精密振动－位移测微仪等，达到了国际先进水平。超精密气体流量阀